Imec、脱炭素のためのリソとエッチング工のh価}法を開発

半導工場の脱炭素化が求められるようになってきたが、ベルギーの研|開発会社であるimecは、リソグラフィとエッチング工における環境負荷を定量的にh価するシミュレーションを発表した。半導プロセスの環境h価によりCO2削への敢を]つことができる。まずはリソとエッチング工でEUVの優位性がされた。 [→きを読む]
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半導工場の脱炭素化が求められるようになってきたが、ベルギーの研|開発会社であるimecは、リソグラフィとエッチング工における環境負荷を定量的にh価するシミュレーションを発表した。半導プロセスの環境h価によりCO2削への敢を]つことができる。まずはリソとエッチング工でEUVの優位性がされた。 [→きを読む]
高耐圧のパワー半導には、性としてSiよりも絶縁耐圧の高いSiCやGaNの気~Wだ。しかしながらSiCでは1200Vの耐圧をuられるが、高価でなかなか普及しない。GaNの横型HEMTトランジスタは650V度しか耐圧がuられない。こんな常識がSi、SiC、GaNのパワー半導でこれまでまかり通っていた。 [→きを読む]
先端パッケージ\術が次世代の高集積化\術としてR`されている。チップレットや3次元ICのパッケージングでは、これまでとは異なる\術が求められる。研|開発向け半導チップのパッケージングを}Xけるコネクテックジャパンがインプリント法で10µmピッチの電極を形成する\術や、80°Cで半田バンプをチップ接する\術でpRを耀uしけている(図1)。 [→きを読む]
STMicroelectronicsがO動Z仕様にPCM(相変化メモリ)を集積したマイクロコントローラ(MCU)Stellarファミリを東Bビッグサイトで開されたオートモーティブワールド2023でtした。Intel/Micron連合がPCMをWしたX-Point Memoryの業を念したのとは款氾だ。STの狙うのはあくまでも160°Cのような高aでも使えるPCMを開発、Z載コンピュータへの応だ。なぜか。 [→きを読む]
セミコンジャパン2022では、半導パッケージングのブースがの半分Zくをめ、プロセスのi工だけではなく、後工との間にあるに先端パッケージング\術にR`が集まった。12月15日に開されたAPCS(Advanced Packaging and Chiplet Summit)2022では、Intel、TSMC、AMDなどの先端パッケージへのDり組みが`を引いた。 [→きを読む]
ムーアの法А△垢覆錣曽γの半導に集積されるトランジスタの数は2Qごとに倍\する、という経済法Г蓮里泙襪海箸瑤蕕覆ぁH細化はVまっているもののDTCOによって3次元化で集積度を高める\術はいているからだ。ベルギーの半導研|所imecは、来に△STCO(System Technology Co-Optimization)を提唱し、CMOSのスケーリングがさらにくO筋をした。 [→きを読む]
Mott,扉}ばれる、金錣叛箟との変化をWしたメモリであるCeRAM(参考@料1)のデバイス研|がk歩進んだ。このメモリは、ゞ┣颪性を擇し、高B^か低B^かのXを作り出し、1と0に官させている。300mmウェーハ屬縫瓮皀螢札襪鮑遒蟒个掘△修瞭虻遒魍稜Г靴拭 [→きを読む]
TSMCが8月30日に湾でTechnology Symposiumを開した後、今vは3Qぶりに日本に立ち寄りそのSを紹介、N2プロセスノードまでのロードマップをした。ただ、1次元的な微細化∨,呂發呂篩T味がなく、TSMCは1次元的なスケーリングから2次元的なC積スケーリングへとシフトしてきている。同社ビジネス開発のシニアVP、Kevin Zhang(図1)に同社の戦Sを聞く。なお、9月28日に開予定のセミコンポータル会^限定Free Webinarは「TSMC研|」がテーマである。 [→きを読む]
Micron Technologyがこれまで最Hのセル層数である232層の3D-NANDフラッシュメモリを開発(図1)、それを搭載したCrucialブランドのSSDのサンプル出荷を限定ユーザー向けに始めた(参考@料1)。量は2022Qになる見込みだ。232層と3ビット/セル\術でNANDフラッシュは1Tビットのチップと2Tバイトのパッケージ容量を実現できるという。 [→きを読む]
3nmプロセスを巡ってTSMCとSamsungが\術をっている。TSMCは、6月に盜颪燃いたTechnology Symposiumで3nmプロセスノードのN3およびN3EのFinFET\術と、2nmノードのN2プロセスを発表した。SamsungはGAA(ゲートオールアラウンド)構]の3nmプロセスノードでチップ攵を始めたと発表した。 [→きを読む]