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SeleteがLow-k膜のエッチングにCH3Iガスの~効性を実証

SeleteがLow-k膜のエッチングにCH3Iガスの~効性を実証

Selete (半導先端テクノロジーズ)の二研|陲蓮Low-k/Cu配線\術の開発を進めているが、機械的にもろいLow-k膜はハーフピッチ(hp)45nm以Tのプロセスで、エッチング形X、高I比、ダメージフリー、低環境負荷、といった問をクリヤーしなくてはならない。このほど新しいエッチングガスとしてCF3Iがこれらを満Bさせることを同社はSelete Symposium2008でらかにした。 [→きを読む]

デンソーがO社SiCウェーハに1200V/30AのMOSFETを試作

デンソーがO社SiCウェーハに1200V/30AのMOSFETを試作

トヨタO動Zのティア1サプライヤであるデンソーは、O社で成長させたSiCインゴットのウェーハを使って、パワーMOSFETとパワーショットキーダイオード(SBD)をO社開発していることを「人とくるまのテクノロジーt2008」でらかにした。開発した半導デバイスと、それを使った3相モーター~動のパワーモジュールをtした。 [→きを読む]

直径13μm、ピッチ30μmのハンダボール形成\術を菱/ルネサスのチームが開発

直径13μm、ピッチ30μmのハンダボール形成\術を菱/ルネサスのチームが開発

菱電機とルネサステクノロジは、直径13μmと小さなlフリーはんだボールをインクジェットのような擬阿如基屬坊狙する\術を共同で開発し、東Bkツ橋講堂で開かれた2008Q国際3次元システム集積会議(International 3D System Integration Conference 2008)で発表した。マスクを使わずに直径13μmのハンダボールを実現できるため、狭ピッチのHピンパッケージの試作に使うことができる。 [→きを読む]

IntelがマルチコアプロセッサとコアごとのメモリーをTSVでつなぐシステムを発表

IntelがマルチコアプロセッサとコアごとのメモリーをTSVでつなぐシステムを発表

Intel社は、3次元チップスタック実△マルチコアプロセッサシステムのメモリーバンド幅を広げるのに~効であることを、ASET(先端電子\術開発機構)主のInternational 3D System Integration Conference 2008でした。東Bh代田区のkツ橋講堂で開された、今Qの3D-SICは、基調講演を含め28Pの講演発表と18Pのポスターセッションがあった。 [→きを読む]

3次元SiP集積化\術がシステム問Dり組みに向かい始めた

3次元SiP集積化\術がシステム問Dり組みに向かい始めた

シリコンチップを3次元に_ね合わせて、kつのICパッケージに集積する\術、3次元SiP\術が新しいフェーズに入った。TSV(through silicon via)と}ばれる楉姪填法△修譴鉾爾Ε┘奪船鵐亜電極穴mめといったこれまでの]プロセスに点が当たっていた3D集積\術の応が見え始め、設や信頼性h価、テストへとシステム的な広がりを見せてきた。ASET(先端電子\術開発機構)が主したInternational 3D System Integration Conference (3D SIC) 2008においてこういった向が見えてきた。 [→きを読む]

通常の2次元映気ら3次元映気鯀呂蟒个肯テレビ

通常の2次元映気ら3次元映気鯀呂蟒个肯テレビ

ih判で、松下電_噞の150インチのプラズマディスプレイ(^真1)や、厚さ0.3mmと薄いソニー11インチ(^真2)、および27インチの~機ELテレビなどがR`されていた、Display2008では、それらのブースに人だかりはあった。しかし、来のビデオ映気篦名錣離謄譽啀気ら、立映気鯀呂蟒个垢箸いΑ2次元-3次元変換\術にもHくの人だかりが見られた。昨Q10月26日にこのコラムで紹介したSeeReal社の立映汽妊スプレイでは3`にも渡る長の`が出来ていた。 [→きを読む]

IBM+7社の共同プロセス開発がビジネスとして始まった

IBM+7社の共同プロセス開発がビジネスとして始まった

IBM社と共同開発チームである、チャータードセミコンダクター社、フリースケールセミコンダクター社、インフィニオン・テクノロジーズ社、サムスン電子、STマイクロエレクトロニクス、東は、共同で開発してきた32nmプロセスがビジネスフェーズに入ったと発表した。j}半導メーカーが同じ32nmプロセスを共同で開発し共通のプロセス基盤(コモンプラットフォーム)を作ることで、Q社の識の共~や、投@リスクの軽だけではなく、設リソース(デザインキットやライブラリ、EDA、DFM)も共同でWできるため、素早い量癉ち屬りが可Δ砲覆襦 [→きを読む]

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