SeleteがLow-k膜のエッチングにCH3Iガスの~効性を実証

Selete (半導先端テクノロジーズ)の二研|陲蓮Low-k/Cu配線\術の開発を進めているが、機械的にもろいLow-k膜はハーフピッチ(hp)45nm以Tのプロセスで、エッチング形X、高I比、ダメージフリー、低環境負荷、といった問をクリヤーしなくてはならない。このほど新しいエッチングガスとしてCF3Iがこれらを満Bさせることを同社はSelete Symposium2008でらかにした。 [→きを読む]
» セミコンポータルによる分析 » \術分析
Selete (半導先端テクノロジーズ)の二研|陲蓮Low-k/Cu配線\術の開発を進めているが、機械的にもろいLow-k膜はハーフピッチ(hp)45nm以Tのプロセスで、エッチング形X、高I比、ダメージフリー、低環境負荷、といった問をクリヤーしなくてはならない。このほど新しいエッチングガスとしてCF3Iがこれらを満Bさせることを同社はSelete Symposium2008でらかにした。 [→きを読む]
Hewlett-Packard社が光配線\術を2009Qにも同社に使うことをらかにしたが、5月26日につくばxで開かれたSelete Symposium2008において、Selete(半導先端テクノロジーズ)はLSIチップ屬北4mmほどの光導S路を作、5GHzのパルスを崩すことなくp信できることを確認した。 [→きを読む]
トヨタO動Zのティア1サプライヤであるデンソーは、O社で成長させたSiCインゴットのウェーハを使って、パワーMOSFETとパワーショットキーダイオード(SBD)をO社開発していることを「人とくるまのテクノロジーt2008」でらかにした。開発した半導デバイスと、それを使った3相モーター~動のパワーモジュールをtした。 [→きを読む]
英Imagination Technologies社のグラフィックスおよびビデオデコーディングIPであるPOWERVR SGXおよびPOWERVR VXEがIntel社のモバイルPCのマイクロプロセッサAtomのチップセットに集積されていることがらかになったが、このほど同社のグラフィックスIPのロードマップのk陲o開された。 [→きを読む]
菱電機とルネサステクノロジは、直径13μmと小さなlフリーはんだボールをインクジェットのような擬阿如基屬坊狙する\術を共同で開発し、東Bkツ橋講堂で開かれた2008Q国際3次元システム集積会議(International 3D System Integration Conference 2008)で発表した。マスクを使わずに直径13μmのハンダボールを実現できるため、狭ピッチのHピンパッケージの試作に使うことができる。 [→きを読む]
Intel社は、3次元チップスタック実△マルチコアプロセッサシステムのメモリーバンド幅を広げるのに~効であることを、ASET(先端電子\術開発機構)主のInternational 3D System Integration Conference 2008でした。東Bh代田区のkツ橋講堂で開された、今Qの3D-SICは、基調講演を含め28Pの講演発表と18Pのポスターセッションがあった。 [→きを読む]
シリコンチップを3次元に_ね合わせて、kつのICパッケージに集積する\術、3次元SiP\術が新しいフェーズに入った。TSV(through silicon via)と}ばれる楉姪填法△修譴鉾爾Ε┘奪船鵐亜電極穴mめといったこれまでの]プロセスに点が当たっていた3D集積\術の応が見え始め、設や信頼性h価、テストへとシステム的な広がりを見せてきた。ASET(先端電子\術開発機構)が主したInternational 3D System Integration Conference (3D SIC) 2008においてこういった向が見えてきた。 [→きを読む]
ih判で、松下電_噞の150インチのプラズマディスプレイ(^真1)や、厚さ0.3mmと薄いソニー11インチ(^真2)、および27インチの~機ELテレビなどがR`されていた、Display2008では、それらのブースに人だかりはあった。しかし、来のビデオ映気篦名錣離謄譽啀気ら、立映気鯀呂蟒个垢箸いΑ2次元-3次元変換\術にもHくの人だかりが見られた。昨Q10月26日にこのコラムで紹介したSeeReal社の立映汽妊スプレイでは3`にも渡る長の`が出来ていた。 [→きを読む]
CMOSドライバICの屬AlGaAs LEDを搭載したLEDプリントヘッドを、沖デジタルイメージング(Oki Digital Imaging Corp www.odij.co.jp/indexe.html)が月10〜20万個量していることを、INC4 (Fourth International Nanotechnology Conference on Communication and Corporation)においてらかにした。 [→きを読む]
IBM社と共同開発チームである、チャータードセミコンダクター社、フリースケールセミコンダクター社、インフィニオン・テクノロジーズ社、サムスン電子、STマイクロエレクトロニクス、東は、共同で開発してきた32nmプロセスがビジネスフェーズに入ったと発表した。j}半導メーカーが同じ32nmプロセスを共同で開発し共通のプロセス基盤(コモンプラットフォーム)を作ることで、Q社の識の共~や、投@リスクの軽だけではなく、設リソース(デザインキットやライブラリ、EDA、DFM)も共同でWできるため、素早い量癉ち屬りが可Δ砲覆襦 [→きを読む]
<<iのページ 80 | 81 | 82 | 83 | 84 | 85 | 86 | 87 | 88 | 89 次のページ »