シリコンウェーハは、100μm以下に薄く削ると�eち運びにくくなるため、�l��性のテープに張り��けて�Dり扱うことが�Hいが、それを例えばウェーハ25��入りのフレームカセットと�}ばれるキャリヤボックスに収めて運ぶには、外枠（フレーム）で�w定する��要がある。このフレームを��来のステンレスから�`脂��に換えたものが信越ポリマーの開発した�`脂フレームだ。プラスチックテープに張り��けた薄いウェーハを�Г┐諂`脂フレームは、ダイシングプロセスとダイボンディングプロセスとの間、およびウェーハの出荷と搬送に使われる。

信越ポリマーが提案した300mmウェーハ��の�`脂フレームの厚さは2.5mm。ステンレスフレームの1.5mmと比べると厚いが、これは剛性を��(d┛ng)くするため。ただし、これ以�峺�くすると、�Y��的なダイボンダーのエキスパンドテーブルに載せるための3mmの隙間を通らなくなる。�`脂��フレームで先行した��合他社のフレームは3.7mmもの厚みがあり、��来の機械には載せられないため、専��の機械が��要とされた。�`脂フレームで��(d┛ng)化したウェーハを�W(w┌ng)��する機械には、ダイボンダー、ウェーハマウンター、ダイサーなどがある。

金�錺侫譟璽爐犯罎戮乍~�W(w┌ng)な点は二つ、軽量化と低発塵である。軽量化は、作業�vが13��のカセットを運ぶ場合の�W(w┌ng)点が�j(lu┛)きい。300mmウェーハ��のフレームは��来のステンレス��だと1個0.3kgだが、�`脂フレームは0.12kgしかない。13��のカセットに収容する場合ステンレスフレームだけで3.9kgにもなる。ここに13��分のウェーハ（テープを張り��けたウェーハの�_さは40g）とキャリヤボックス（ステンレス��5.9kg）が加わると、10.3kgにもなる。�`脂フレームは13��分で1.56kgにしかならない。これにウェーハ13��と容�_(d│)（�`脂��キャリヤ3.0kg）を加えて5.1kgに収まる。作業�vがカセットを�eち�屬欧襪里�10kgと5kgの差は�j(lu┛)きい。

�L外に後工��の工場がある場合は、ウェーハをテープフィルムに�aり��けその周囲をテープフレームで�Хeした形で出荷することが�Hい。それをキャリヤボックスに入れて梱包する。�_量は輸送�Jのコストに影�xする。

発塵が低いという�W(w┌ng)点も�j(lu┛)きい。信越ポリマーによると、メタルのフレームを使ってカセットに出し入れしたメーカーがウェーハの電気的ショート不良が�H発したことがあったという。原因はメタルカセットとメタルフレームとの�C�o(h┫)によって金�錣領gをウェーハ�屬砲泙��gらしてしまったためだとしている。この原因を��定するため��来のステンレスフレームと�`脂フレームとの比較実�xを行った。

このフレームをカセットボックス（キャリヤ）に出し入れする時に発�擇垢襪瓦澆領未鯆瓦戮拭�300mmウェーハ��のテープフレームについて、ウェーハを張り��けた�X��で、出し入れを１万�v行った。1��のウェーハの�_さは128g。実�xでは、信越ポリマー��の�`脂��キャリヤボックスを��い、��来のステンレスフレームには��来のアルミ��のキャリヤボックスを使った。ステンレスフレームと�`脂フレーム、アルミのキャリヤと�`脂のキャリヤ、という4�|類の組み合わせが可�Δ砲覆辰�。

この�T果、ステンレスフレームとアルミのキャリヤボックスでは70mgの発塵を�莟Rし、�`��でもはっきりわかった。発塵の�j(lu┛)きさは、10~300μmで、その成分はFe、Cr、Alとステンレスとアルミ成分が出てきたことから、�C�o(h┫)により発塵が��きたといえる。�`脂��のフレームと�`脂��のキャリヤボックスは�`��では�莟Rされず、発塵の量は1mg以下であった。�`脂はポリカーボネート�Uであり金�錣魎泙泙覆�。

�k��(sh┫)、�`脂フレームとアルミのキャリヤという組み合わせでは、21mgの発塵が集まり、その成分はアルミと�`脂であった。発塵の�j(lu┛)きさは2〜100μmと、ステンレス&アルミの組み合わせでの発塵よりはややましになった。金�錣琉��颪�ウェーハに載ると、端子間がショートする�e(cu┛)険性がある。