携帯応��といっても��来の応��ではない。例えばST Microelectronicsは、マナーモード時など電�Bに出られない場合に携帯電�B機のケースをダブルクリックすると、電�Bを�Vめられる機�Δ妨�けたタッピングセンサーを開発した。この基本は加�]度センサーである。逆に加�]度センサーの応��がこれまでのようなエアバッグ検出やゲームのジョイスティック、HDDの衝撃防�Vなどの応��から、広がりつつある。

携帯電�Bを�W(w┌ng)��したナビゲーションシステムといっても、GPSからの位��を検出するだけでは使えない。ユーザーが向いている��(sh┫)角を��(j┤)すための地磁気センサーを使う。携帯電�Bに入れるためには小型化が�L(f┘ng)かせない。アルプス電気は、2.5mm×2.5mm×0.7mm（厚さ）という小型の地磁気センサーを開発、2008�Q1月から発売する。

ST Microelectronicsは、X軸、Y軸、Z軸��(sh┫)向の地磁気センサーと3軸��(sh┫)向の加�]度センサー、信��(gu┤)処理��のASICを�kつのパッケージに収めた複合センサーを開発、2007�Q��までにサンプル出荷を行い、08�Q��1四半期に量�����U(ku┛)に入る��画だ。

��電容量の変化を�W(w┌ng)��するタッチセンサーは、Apple社のiPhoneなどで�R�`を集め、�Q社�k斉に�R��している����であるが、携帯電�BのGUIとしての役割だけではなく、いろいろな応��の広がりを見せている。たとえば、センサーメーカーの�j(lu┛)�}、オムロンはタッチスイッチをメカスイッチに��き換えを狙った8および16チャンネルの�U(ku┛)御チップを�t��(j┤)した。人間の指と電極との間の��電容量を�W(w┌ng)��するため、電極のパターンさえあればタッチセンサーとして機�Δ垢襦�テンキーやキーボードのボタンの代わりに使えばボタン間の凹�陲縫乾澆�たまる心配はない。押しボタンのクリック感の代わりにLEDで入��を認識する。

�B都のコーデンシは2cmから18cmの�{(di┐o)�`を2.65Vから3.35Vの�J(r┬n)囲で検出�R定する�R�{(di┐o)センサーを開発した。11月に量��を開始する。これはLEDと�p光素子から成り、反�o(j━)光の検出位��における�B(ni┌o)�^比で�{(di┐o)�`を�R定する。�駑�現場での����検出などの����を考えている。

MEMSを�}�Xけるメーカーは極めて�Hくなった。�j(lu┛)�}����メーカーに加え、ホシデンや��陸電気工業などの中��メーカーも加�]度センサー、マイクロフォンなどを�t��(j┤)した。

�k��(sh┫)でMEMS�\術はセンサーだけではなく、医����の薬�]�R入ポンプや��微細な�R�o(j━)針、小型�\料電池の電解�]容�_(d│)など、さまざまな応��へと広がりを見せている。ST Microelectronicsはインシュリン�R�o(j━)��のナノポンプや5×5の�R�o(j━)針をMEMS�\術で試作した。細い針なので痛みが少ないという。�k度に吐出する量は150nlとわずかだが、圧電式のポンプで薬�]を送り出す。2008�Qの商��化を狙っている。

STは�\料電池の電解��を閉じ込め、水素を導入する構�]もMEMS�\術で作っている。�\料電池は5.8cm×4.6cm×0.4cmと小型で、平均600mW、ピーク電��1.4Wという性�Δ魴eつ。2009�Qまでに4×3×0.4cmで平均2.5W出��を�`指すという。