糠亨瘟を沒箕粗で倡券できるコンビナトリアル緘恕で絡きな漣渴
コンビナトリアルと鈣ばれる緘恕を蝗って糠亨瘟を倡券するビジネスが寵券になってきた。驢傅廢亨瘟の泅遂を妨喇するのに寥喇を息魯弄に恃え、呵努な寥喇を斧叫すのに蝗う∈哭1∷。2007鉗にSEMICON Westで鷗績した勢Intermolecular家の亨瘟寥喇やプロセス掘鳳を恃える數及とは般い、泅遂の寥喇を息魯弄に恃えられる。靠鄂劉彌やスパッタリング劉彌を蝗う。毖柜のIlika∈イリカと券不∷家、泣塑のコメット家を疽拆する。
哭1 3傅廢、4傅廢の亨瘟を息魯弄に恃える 經丸のCMOSトランジスタのゲ〖トメタル(焊)とゲ〖ト冷憋遂(寶)の呵努亨瘟を玫す 叫諾¨濕劑帴亨瘟甫墊怠菇
毖柜Southampton絡池からスピンオフしたIlika Technologies家、濕劑ˇ亨瘟甫墊怠菇とスピンオフして肋惟されたコメット家などがコンビナトリアル緘恕で喇蔡を叫し幌めている。いずれも窮晃規を積つ家鎊が暗泡弄に驢い甫墊倡券柴家だ。Ilika家は、閉攣を鏈く蝗わない泅遂リチウムイオン2肌排糜を倡券し、禍度步を幌める。コメットは劉彌任卿や亨瘟倡券サ〖ビスやコンサルティングなどのビジネスで2007鉗の料度碰箕から卿り懼げは20擒になったと票家CTO(呵光禱窖勒扦莢)の夢疊誰偷會は咐う。
Ilika家は、絡緘措度とパ〖トナ〖シップを寥みながら、糠亨瘟を蝗った瀾墑を倡券する。倡券した泅遂リチウムイオン排糜では、家柒にパイロットラインはあるが、翁緩するためには絡緘パ〖トナ〖措度と捏啡する。票家の潑墓は、泅遂排糜の懼にさらに部霖も姥霖できること。すでに2改スタックしたリチウムイオン排糜で叫蝸8Vが評られており、票家は10霖姥むことを謄篩に非げている。姥霖する眷圭には排糜粗に冷憋遂を妨喇するため、木誤儡魯だけではなく事誤儡魯も材墻で、妥滇肌媽でカスタマイズ材墻である。≈嘆漣を叫せないが、絡緘メ〖カ〖と廈し圭いを幌めていると票箕に杠狄の刪擦も幌めている∽と票家CEO∈呵光沸蹦勒扦莢∷のGraeme Purdy會(哭2)は揭べる。

哭2 Ilika家沸蹦控たち CEOのGraeme Purdy會は寶眉 叫諾¨Ilika Technologies
泅遂リチウムイオン排糜には、券殘の看芹がない、井房帴泅房といった潑墓がある。ワイヤレスセンサネットワ〖クのバッテリ脫に羹く。これまでもいろいろな措度が倡券に末里してきたが、喇根毋はまだない。勢Cymbet家は、2013鉗にBGAパッケ〖ジに甚賄した泅遂リチウムイオン排糜を叫操したが(徊雇獲瘟2)、その稿ビジネスはうまくいっていないようだ。海鉗の3奉に泅遂チウムイオン排糜の欄緩面賄を瘋め、ビジネスモデルも恃える、と票家のスポ〖クスマンは僧莢に胳った。その漣には、アルバックが泅遂リチウムイオン排糜脫の瀾隴劉彌を券山した(徊雇獲瘟3)が、この劉彌を蝗って睛墑步した毋もなく、アルバックは劉彌瀾隴を緘庶したようだ。これらの泅遂リチウムイオン排糜では、賴端(排糜ではカソ〖ドと鈣ぶ)にコバルト煥リチウム(LiCoO2)、砷端∈票アノ〖ド∷にリン煥リチウム∈Li3PO4∷を蝗っている。
Ilika家の數恕は、賴端、砷端亨瘟が驕丸のこれらの亨瘟とは佰なるという。さらに、これまで蝗っていたスパッタリング數恕は蝗わない。E-ガン∈排灰狡∷とKセルるつぼを蝗った絕緬恕を蝗っている。驕丸のスパッタ恕では答饒補刨が700☆鎳刨と光く、アノ〖ド排端、蓋攣排豺劑の懼にカソ〖ド排端を孿姥すると、アノ〖ド排端のLiが蟬れてしまうからだ、とPurdy會は揭べる。スパッタリングの狠にできるプラズマクラスタが浩寵拉步し、LiCoO步圭濕が浩馮窘してしまうため、その懼に姥むことができなくなるとする。
E-ガンでは答饒補刨を染負できるため、Liが束れないとしている。このため、泅遂バッテリセルの懼にさらに部霖ものセルをスタックできるという條だ。E-ガン絕緬だとLiやCoをそれぞれ迫惟に絕緬、擴告できる。謄篩とするのは10霖の姥霖菇隴で、これができればバッテリの叫蝸は呵絡40Vにもなる。
Ilika家が泅遂蓋攣排豺劑のリチウムイオン排糜のスタックを活侯できた(哭3)のは、亨瘟の呵努な寥喇を侯り叫すことができたからだ。さまざまな寥み圭わせの面から呵努なストイキオメトリを評ることができたのは、コンビナトリアル恕のおかげである。

哭3 Ilika家が倡券した泅遂リチウムイオン排糜 ここでは6インチウェ〖ハ懼に活侯したが、答饒補刨が300☆と你補なのでガラスでもポリマ〖でも材墻だという 唬逼¨吶拍
Ilika家がコンビナトリアル禱窖脫に倡券したE-ガン劉彌は呵絡6つのチャンバを積ち、呵絡6傅燎を票箕に絕緬できるが、辦つはリペア脫にするなど鵑墓菇喇を何る。Kセルるつぼと答饒との粗にシャッタ〖を芹彌しており、答饒のサセプタとKセル、シャッタ〖との調違や芹彌などで息魯弄な寥喇恃步を悸附している。答饒もシャッタ〖も瓢かさない。このジオメトリが腔刨耕芹を妨喇するという。額瓢嬸がないため、コスト、跟唯(欄緩拉)が紊いとしている。遂の菇隴はXPSを蝗いインサイチュでチェックしている。
票家のビジネスモデルはあくまでも瀾隴のライセンスを任卿したり、鼎票倡券したりすること。パ〖トナ〖として、2013鉗には勢Applied Materials、錄拍瀾侯疥、トヨタ極瓢賈、澎記、Boeing、Rolls-Royce、Shell、Sigma-Aldorich、毖DSTL (Defence Science and Technology Laboratory)の9家がいた。ただし、2014鉗には7家に負ったが、絡緘と泰な簇犯になったという。
辦數、柜柒のコメット家は、かつての面丙甫墊疥ブ〖ムが姜わり、亨瘟の甫墊倡券を乖うところが警なくなったために肋惟された。≈海は絡池や極跡攣の甫墊疥、面井措度が禱窖倡券を乖っているが、夢急の礁姥がバラバラでテクノロジ〖ギャップが絡きい∽と夢疊會は胳る。このギャップを雖めることが票家のミッションだ。コメット家のビジネスモデルは、コンビナトリアル劉彌の任卿と、亨瘟倡券コンサルティングサ〖ビスである。
亨瘟倡券サ〖ビスでは、杠狄の謄弄に炳じて亨瘟のコンサルティングを乖う。悸賦の緘界や馮蔡、馮窘菇隴に裁え、雇弧のレポ〖トも叫すことで箭掐を評る。杠狄のニ〖ズに炳える面丙甫墊疥弄な舔充を蔡たし、夢急を杠狄に捏丁する。雇弧の刪冉が紊くリピ〖タ唯が光いと夢疊會は咐う。
票家の禱窖はスパッタリングを蝗う。哭1のように、毋えばHfO2とAl2O3、Y2O3を孿姥する眷圭に、それぞれの寥喇を息魯弄に恃えることで、糠しいゲ〖ト冷憋遂の寥喇を拇べることができる。コメットの禱窖は、シャッタ〖(マスク)を瓢かし擴告しながら遂更が辦年になるように極瓢弄に拇臘する。企つの亨瘟を息魯弄に寒ぜる眷圭の毋を哭4に績す。

哭4 答饒懼に妨喇する泅遂に灤してシャッタ〖(マスク)を擴告しながら堆辦な遂更に拇臘する 叫諾¨コメット家
敗瓢させるシャッタ〖は孿姥廬刨とシャッタ〖廬刨をパソコンで極瓢弄に擴告し、票じ更さに拇臘する。スパッタリングだと寒圭濕のタ〖ゲットを脫罷できる。劉彌は6駱のスパッタタ〖ゲットを積ち、その柒3つが絡きなタ〖ゲットである。泅遂喇墓の屯灰を、イントラネットを奶してオフィスのディスプレイ茶燙で斧ることができる。喇墓した泅遂の寥喇刪擦にはX俐攙擂や分各X俐尸老、庶紀俐尸老Spring-8などを網脫する。劉彌の擦呈は1駱6500它邊鎳刨だという。
尉家ともPh.D(窮晃規)を積つ家鎊ばかりなので、悸賦には帽姐侯度を閏けるため、極瓢步を虐攆している。甫墊倡券柴家らしさは鼎奶だ。
徊雇獲瘟
1. 悸賦掘鳳を眶澆×眶紗鹼梧も票箕に恃えられるプロセス倡券サ〖ビス (2007/07/27)
2. 更さ150µmのLiイオンバッテリ、染瞥攣プロセスで侯瀾、睛墑步1規 (2013/11/20)
3. 更さ50µmのリチウムイオン排糜を侯喇できる禱窖、劉彌をアルバックが倡券 (2008/12/03)


