アプライドマテリアルズ、22/20nmノ〖ドに圭わせた瀾隴ˇ浮漢劉彌を券山
勢アプライドマテリアルズ家は、22nm/20nmノ〖ド笆慣の腮嘿步プロセスに灤炳した糠しい瀾隴劉彌OptivaおよびOnyxと浮漢劉彌1怠鹼を券山した。Optivaはチップ票晃を腳ねる3肌傅IC羹けのTSV禱窖の婁噬煥步遂の孿姥にも蝗える劉彌。ウェ〖ハプロセスメ〖カ〖、アセンブリメ〖カ〖、どちらにも丁惦できる。
哭1 Low-k亨瘟の怠常弄動步と投排唯你負を哭る劉彌Onyxの耙蝸
22/20nm箕洛の久銳排蝸は≈トランジスタが2/3、芹俐が1/3と咐われている∽∈アプライドマテリアルズジャパン 洛山艱涅舔家墓 畔收虐會∷が、芹俐覓變を負らす跟蝸のあるlow-k亨瘟とCu芹俐とTSV芹俐禱窖。アプライドはまずlow-k泅遂を猖簾するための借妄劉彌Onyxを券山した。アプライドは、笆漣からlow-k亨瘟としてBlackdiamondと疚する投排攣亨瘟を倡券してきた。辦忍にlow-k亨瘟は付妄弄に遂をスカスカの你い泰刨にすれば投排唯は布がる。しかし、怠常弄な動刨も布がってしまう。このためプラスチックモ〖ルド踐婚を萎す稿供鎳で遂にダメ〖ジを涂えたり箕には撬蟬してしまう恫れがあり、投排唯の澆尸你いlow-k亨瘟を蝗うのには澩戇してきた。
海攙アプライドが倡券した劉彌Onyxは、孿姥させた遂にある鹼の借妄を卉すことで遂の怠常弄動刨を懼げようというもの。怠常弄動刨は8×10%動步されるとしている。この借妄は山燙借妄ではなく、付灰レベルの步池借妄であり、10×20nmの考さに付灰や尸灰を炕譬させることで遂を動步するという。カ〖ボンの面にSiを鳴め哈む、という咐い數をしているが拒嘿はつかめない。馮蔡弄に怠常動刨は籠すうえに投排唯も布がる(哭1)、と辦佬企幕の跟蔡があるとしている。
もう辦つの劉彌Optivaは、コンフォ〖マリティが庭れた你補∈200刨笆布∷CVD劉彌であり、イメ〖ジセンサのマイクロレンズの瘦割遂妨喇や、TSVのようなアスペクト孺の光い孤の婁燙を勝うのに努している。潑に礁各跟蔡が光いとして呵奪廟謄を礁めている微燙救紀房のCMOSイメ〖ジセンサのマイクロレンズの瘦割遂に跟蝸を券帶する。瘦割遂が稍澆尸だと布のレンズを燼つけてしまう恫れがあった。レンズ妨覺でのコンフォ〖マリティは95%笆懼だとしている(哭2)
哭2 コンフォ〖マリティの光い你補CVD劉彌Optivaの跟蔡
Optivaはコンフォ〖マリティの光さを網脫してTSVの婁燙瘦割遂の妨喇にも耙蝸を券帶する。驕丸の辦忍弄なCVDと孺べビアのコンフォ〖マリティは15擒も光いとしている。
3つ謄の糠瀾墑G5は、風促浮漢を極瓢步した劉彌である。これまで、まず絡きなスケ〖ルで鏈攣をグロ〖バルに謄渾浮漢し、肌に嘿かい嬸尸をSEMで疤彌圭わせし、囪弧、圭容冉年してきた。これをグロ〖バル浮漢からSEM浮漢、尸梧までを極瓢步した。毋えば、山燙パタ〖ンの風促を浮漢する眷圭、山燙の布に斧える塑丸の風促ではないもの∈ニュ〖サンス風促¨Nuisance defectと鈣ぶ∷までも風促と冉年しないように、より尸けるアルゴリズムを倡券した。SEM稿のフィルタをかけると靠の風促だけを艱り叫すことができる(哭3)。
哭3 刀の風促をよりわけるアルゴリズムを倡券
この風促浮漢劉彌は20nm駱のノ〖ドに蝗える劉彌だとして、10nmの風促を浮叫する。蝗脫する茶燎は1nmに陵碰するという。
アプライドは、これらの劉彌によって、これからの3肌傅トランジスタや、ダマシンプロセスのCu芹俐、ダブルパタ〖ニング、TSVなどに羹けた禱窖に灤炳していく。
