図1　高�@度・高信頼の�x場を狙うMEMSクロック発�昊_　出�Z：SiTime

SiTimeは、もともとBoschからスピンオフしたMEMSメーカーであるが、2014�Qに日本のファブレスであるメガチップスが�A収、66.8%の株式を�eっていた。20�Q6月にはSiTimeの保�~株式の�k�陲鮠}放し、連�T子会社から�eち分適��会社に�々圓靴拭�その時でさえ、46.7%の株式を保�~していた。メガチップスはさらに株式を�}放し、現在では21%に��少した。とはいえそれでも最�jの株主だという。SiTimeは2022�Q、東�Bの��川に日本オフィスを開設、日本法人サイタイムジャパン合同会社を設立した。

MEMSを使った振動子に、周�S数を変えられるPLL（位相ロックループ）などの�v路、さらに�a度��償�v路などシリコンのCMOSチップを1パッケージに集積したMEMSクロック発�昊_をSiTimeは長�Q、開発、販売してきた。出荷したMEMS発振�_は����で30億個にも達するという。

Bosch時代に、アスペクト比の高い深い溝をまっすぐに�EることのできるBoschプロセスを開発してきたSiTimeだが、今ではMEMS設��とパッケージ設��を行うファブレス半導��メーカーとなっている。わずかな振動でも性�Δ暴jきな影�xを与えるMEMS振動子では、パッケージング�\術を確立していなければビジネスできない。SiTimeはCMOSプロセスとMEMSプロセスはファウンドリに、パッケージはOSATに、それぞれ���]を依頼している。ただし、MEMS独��のパッケージ設��はSiTimeがOSATに仕様を出しているようだ。

このほど発表した新型のMEMSクロック発�昊_は、さまざまなデジタル�v路を動かすためのクロック（人間でいえば心臓の鼓動に当たる）は、水晶では�a度依�T性が�咾�、小型���a��と�a度��償�v路は��須だった。MEMSでももちろん���a��と�a度��償�v路は�Lかせないが、パッケージ����を小型化したため、��小型���a��のための消�J電��は、420mWと��来水晶での1.5Wよりも削��した。周�S数を���IできるPLLなどの�v路も集積している。SiTimeが狙うのは、あくまでも��高�@度で��高信頼の分野（図2）。

図2　高�@度・高信頼分野にも使えるMEMSクロック発�昊_　出�Z：SiTime

もともとシリコンのMEMSデバイスは、完���T晶という��性を�W��して機械的にたわませるため、信頼性が金�錣笋修梁召虜猯舛茲蠅盥發ぁＮ磴┐亢��鑛劼浪薪戮眄泙蟠覆欧魴�り返すとクリープと�}ばれる疲労現��が現れる。「シリコンの機械的な�單戮�これほど高いとは思わなかった」という言��をある�O動�Zメーカーのエンジニア聞いた。シリコンのMEMSデバイスは完���T晶で何度たわませてもビクともしない。

新開発のEpoch Platformは、周�S数を10MHz〜220MHzで変えられ、�a度変化に�瓦垢觴��S数�W定性は、最�jの����でさえ±5ppbと極めて小さい。Part per Billion (ppb)はppmの1/1000の誤差。信頼性も含めppb単位の優れた�W定度である（図3）。

図3　新MEMSクロック発�昊_の主な��性　出�Z：SiTime

ここでホールドオーバーとは、ある時間（例えば8〜12時間）連��して�莟Rしなければならないような�X況でどれだけ長い時間に�@度を保てるかという指�Yである。このEpoch Platformは、8時間環境ストレスがかかった�X��でもクロック時間の�@度は±5μs以内だとしている。

これまでの水晶やMEMS発振�_の弱点だった、�jきな消�J電��に�瓦靴討蓮▲僖奪院璽犬�9.0mm×7.0mm×4mm（厚さ）と小型化することで��来1.5W（水晶）だった消�J電��を420mWまで下げることができた。

通信基地局やデータセンターでは、�Y��時間を��すクロック発�昊_が�H数��要である。��に5Gや6Gなどは地�屐�ﾅ星、とどこにいても時刻の同期を図らなければならない。例えばV2V（�Z�Z間通信）ではクルマ同士の時刻を揃えなくては��故につながる恐れがあるため、5Gのリリース16から同期性はマストになっている。��にホールドオーバーの�@度は不可�Lであり、長期信頼性と共に�_要な性�Ε僖薀瓠璽燭砲覆襦�