図1　SiTimeマーケティング担当Executive VPの Piyush Sevalia��　�^真は2011�Qに筆�v撮影

セミコンポータルが2013�QにSiTimeを報�Oしたときは、ようやく水晶発振�_(d│)並みのMEMSオシレータ����ができたばかりだった（参考�@料1）。今や、MEMSタイミング�x場に数�臆�個の����を出荷し、90%の�x場シェアを�曚襪茲Δ砲覆辰拭△汎閏劵沺璽吋謄�ング担当Executive VPの Piyush Sevalia��(図1)は言う。MEMSタイミング�x場��模は60億ドル。2025�Qまでに180のビジネス分野の機会があるとみている。

これまではMEMSタイミングデバイスの改良が進み、昨�Qの����は10�Q�iのものに比べ、��牢性は20倍、�@度（確度）は30倍、信頼性は30倍と格段に�屬�った(図2)。ビデオで��された�a(b┳)度や機械的な�W定性は��来の水晶をはるかに凌ぐようになった。ビデオは、そのURLページの最後�霾�の「Watch our video」をクリックすると、その様子が��されている。

図2　MEMSタイミングデバイス����は���]に進歩　出�Z：SiTime

このビデオでは、��来の水晶発振�_(d│)と、最新のMEMSタイミング����「MEMS Super TCXO」とを比較し、その周�S数の変化�S形を��している。まずファンを使って空気の流れを��こし、それによって発振周�S数のわずかな影�xを調べている。��来の水晶はその微��な変化をまともに�pけているが、MEMS����の変動はほとんどない。ファンによる�W定性は��に高性�Ε優奪肇錙璽�機�_(d│)のようなインフラ機�_(d│)では��に�_要で、周�S数が�W定しなければ使えない。また発振周�S数の経時変化も少ないとしている。さらに�a(b┳)度変化に�瓦垢觴��S数の変化もヒートガンを使って調べている。これも水晶では周�S数のアンダーシュートとオーバーシュートが��こり、変動が��しい。これは�a(b┳)度��償�v路が応答するからオーバーシュートが��きるとしている。MEMSは同じシリコン�屬翻�償�v路が載っており応答が素早いため、アンダーシュート・オーバーシュートを��こさないようだ。また電圧変化や�l筆でたたくというタップ変動に�瓦靴討癲△笋呂蠑�さい。

同社のMEMSタイミング����の�咾澆蓮�何と言ってもMEMSデバイスとアナログCMOS ICを設��できる�ξ�を�eっていることで、CMOS ICの�屬�MEMS共振�_(d│)を搭載している(図3)。さらに�a(b┳)度センサもCMOS IC�屬謀觝椶靴討い襪燭瓠��a(b┳)度�U(ku┛)御性�Δ�優れている。 ���]プロセスは外�陲離侫．Ε鵐疋蠅鮖箸Α�MEMSはBosch、CMOS ICはTSMC、後工��組み立てはOSATを使っている。

図3　SiTimeはMEMSもアナログCMOS ICも�O社設��　出�Z：SiTime

同社は今後期待される�x場としては、5G通信、モバイルIoT、�O動�Zエレクトロニクス、とみており、これらの�x場にフォーカスしていく。これらの�x場は、MEMSに限らない��半導������をドライブする。5G通信�x場では、きわめて��確なクロックや�W定な周�S数発振�_(d│)が��要であるため、SiTimeは2017�Qからこのインフラ�x場に参入できた。

これからの�\術として、携帯電�B間の同期をとる5Gネットワークだけではなく、工業内のモータやサブシステムとEtherCATなどを使って同期をとる場合などには、TSN（Time Sensitive Network）プロトコルが工業��IoTなどの分野で要求される。このためMEMSタイミングデバイスの��要性は高まるとみられる。

メガチップによる�A収後、SiTimeはメガチップの子会社となったが、Sevalia��は独立に運営されているという。SiTimeはもともとBoschからスピンオフして�擇泙譴寝饉劼任△襪�、Boschの財��的な�мqはなく、もっぱらVC（ベンチャーキャピタル）からの�@金調達に頼っていた。しかし、�A収された後は、メガチップの経営陣から�咾ぅ汽檗璽箸�あり、以�iよりも�Hくの投�@ができるようになったと言う。このことは、ソフトバンクに�A収されたArmも同様なコメントを述べている。

SiTimeの売�幢Yは、その絶�潅佑���らかにできないが、2014�Q度から2017�Q度にかけてCAGR（�Q平均成長率）75%という驚異的な�]度で成長している。それ以�iは、MEMSタイミング����の差別化が�科�ではなく(参考�@料2)、2012〜2013�Qにようやく水晶と差別化できるレベルに到達し、それ以�Tの���]な発�tに変わった、とSevalia��は述べている。やはり小型・低消�J電��、�W定、高�@度というMEMSタイミング����の�咾気���確になったため、モバイルやIoT、ウェアラブルなどの����で�Pびたとしている。

さらに同じような成長率を求めて、5G通信、モバイルIoT、カーエレクトロニクスにフォーカスすることを��めたとしている。

参考�@料
1. SiTime、性�Δ盖��Δ眇緇戎尭飴劼��屬鮃圓�MEMS発振�_(d│)を?y┐n)����?/a> (2013/03/29)
2. MEMS��集：デジタルマイクICに徹するAkustica、水晶��き換え狙うSiTime (2011/05/19)