図1　Bosch Sensortec社CEOのStefan Finkbeiner��(hu━)

MEMSの�x場調�h会社であるYole Developpementによると、Bosch Sensortecは2013�QのMEMSメーカーの中でトップの10億1100万ドルを売り�屬欧討い�(図2)。その�i�QはSTMicroelectronicsがトップの10億ドルちょうどを���屬掘�Bosch Sensortecは��2位だった。BoschグループにはMEMSデバイスを�}�Xける会社が4社ある。Bosch Sensortecは�c�效�のMEMS慣性センサを専門に�}�Xけるその�kつ。他には�O動�Z�x場向けの圧��センサや加�]度センサなどを扱うAutomotive Electronicsや、�c�效�のMEMSマイクを�}�XけるAkustica、そして今�Qの始めに設立されたIoTやセンサネットワーク��のMEMSセンサを扱うBosch Connected & Devicesがある。

（クリックで拡�j(lu┛)）

図2　MEMSデバイスの2013�Q�x場ランキング　�e軸の単位は��万ドル。�Eいバーが2013�Q、�靴ぅ弌爾�2012�Qを表��。　出�Z：Yole Developpement / MEMS Industry Group

Sensor Expo 2014に向けてリリースするMEMSチップは、�j(lu┛)きさがわずか2.5mm×3.0mm (厚さは0.8mm)、消�J電��が1mW未満の6軸慣性センサBMI160だ（図3）。この慣性センサの中には、3軸の加�]度センサと3軸のジャイロセンサを搭載している。��定ユーザーに向けサンプル出荷を開始した。

図3　新����BMI160　出�Z：Bosch Sensortec

ここまで小さくする理�y(t┓ng)は何か。同社CEOのStefan Finkbeiner��(hu━)は、「スマホ��は小型化と集積化への要求が��(d┛ng)い。MEMSセンサの��める�C積が小さいほど、プリント�v路基��設��の�O�y(t┓ng)度が�\す。加えて�v路�C積が��(f┫)れば、バッテリを�j(lu┛)きくでき、電池��命を長く�Pばせる。加えて、消�J電��の削��(f┫)要求も��(d┛ng)い」と述べる。加�]度センサとジャイロセンサを集積するのは、そのためであり、小型化する理�y(t┓ng)も同じである。

こういった要求を採り入れたMEMSセンサを使うと、スマホにはどのような機�Δ��{加されるのだろうか。同社は、インドアナビゲーション、AR（仮�[現実）、��感するイマーシブ･ゲームなどを�[定している。例えば「インドアナビゲーションは、ビル建�馥��陲貌�り込むとGPSの電�Sが届かなくなるため、GPS信��(gu┤)ではなく、加�]度センサとジャイロセンサを使って、人が進む��(sh┫)向と曲がる動作を検出し�{跡する�\術。建�颪瞭�り口に入りGPSが使えなくなると、その位��から進む(加�]度)、曲がる(ジャイロ)という動作を�{跡し建�馥��陲鮨覆犒佻�を把�曚垢襦廚�Finkbeiner��(hu━)は言う。

BMI160の�����@BMIの内、BはBosch、MはMEMS、Iはintegration(集積化)を�T味する。MEMSセンサだけではなく、アンプやA-Dコンバータなどの信��(gu┤)処理�v路も集積しており、出��はシリアルデジタルのSPIとI2Cインターフェースを�eっている。ただし、マイコン��(sh┫)式ではなく、割り込みエンジンとオフセット��償、FIFOバッファなどを集積している。出��は加�]度、ジャイロとも16ビットデジタル。

外�陲�3軸磁気センサをシリアルインターフェースで接��すると、9軸の慣性デバイスとしても動作する。スマホ����を主��とするため、消�J電流は��来の6軸コンボ����では4mA��度だったが、新����は950µAしか消�Jせず1/4以下に削��(f┫)した。このため常時動作�X��でも電池を気にすることがなくなる。加えて、システムレベルでも消�J電��を削��(f┫)している。加�]度センサが運動�X��にある場合には、ジャイロセンサも素早く立ち�屬�れるように待機しているが、もしここに割り込み信��(gu┤)が入ると、ジャイロのデューティサイクルを長く�Pばす、というインテリジェントなパワー�I約モードに入る。

加�]度の検出�J(r┬n)囲は、プラスマイナス2g、同4g、同8g、同16gの4�|類、ジャイロの角�]度検出�J(r┬n)囲は、同125度/秒、同250度/秒、同500度/秒、同1000度/秒、同2000度/秒の5�|類を���Tしている。量��は今�Qの��3四半期から。

図4　MEMSセンサは��3の�S時代に入る　出�Z：Bosch Sensortec

Boschグループは、もともとMEMSデバイスではトップを行く�O動�Z向けのティア1メーカー。日本のデンソーのような企業である。MEMS�\術を様々なアプリケーションに�t開するため、4つの会社に分け、これらの出荷����は2013�Qに40億個を��えた。今�Q設立されたIoT向けの新会社は、これからの成長に�L(f┘ng)かせない分野をカバーする。Boschは、IoT時代を迎え、MEMSセンサが��3のフェーズに入った（図4）と認識している。