図1　MEMS ICをワイヤレスセンサネットワークに応��

このICは��電容量型の3軸MEMS加�]度センサにアンプ、12ビットA-Dコンバータ、インタフェース�v路などを内�鼎掘�SPIバスからデジタル信�､鮟侘�する。MEMSセンサはくし型構�]の��電容量を�W��する。容量を電圧に変換し、A-D変換してデジタル信�､箸靴動靴Α２��]度の�R定�J囲は、±2g、±4g、±8gである。分解�Δ蓮�2gレンジの場合、1mg/LSBである。

このICをデータレート100Hzでセンサ信�､鮟侘�させた時の動作電流が2μAと小さく、スリープモードでは10nAと小さい。さらにスリープ�X��から衝撃などの加�]度信�､��pけ�Dりウェークアップする時の電流でさえ、6Hzのサンプリングで300nA（0.3μA）と小さく、電源の電池��命を�Pばすことができる。このため、振動や����の動きを連��的にモニターするという応��に使える。

アナデバの試�Qでは、10μA以�屬歴�来のセンサICだと数カ月から1�Qくらいしか電池��命はもたず、間�L動作が��要になるが、動作時で2μAだとデューティ比の設定にもよるが、10�Qくらいもつ。となるとバッテリを使わないエネルギーハーベスティングの応��をカバーできることになる。しかもバッテリ単価はエネルギーハーベスティングシステムの電源に比べると、�Wい。

��に無線�v路と�k緒に����に入れて組めば応��は広がる。代表的な例として、広�jな敷地に張り巡らされたワイヤレスセンサネットワークや、�L�屬砲�かる橋、�e険な高所での建設現場での�單戰皀縫織螢鵐阿覆錨澱啗魎垢篥展散ゝ襪�ほぼ不可�Δ幣貊蠅任両W��がある。さらには、徘徊�鮨佑簍鳥�の迷子防�V・発見にも使える。��に�Oに倒れたり、誘拐などで無理やりクルマに連れ込まれたりするときなどの衝撃を検出、データを遠隔地に送ることができる。畜�噞では、牛や�[の放牧�X��を管理し、��に倒れたり何か身��に異変が�擇犬篤阿韻覆�なったりすると遠くにいても検出できる。��������では、爆風にさらされた兵士の衝撃の��度をモニターし、�f�Xを����性のあるものかどうかを医�vがいない場所でも判��できる。

図2　割り込み�U御で動きをキャッチする�v路

こういった応��には、�v路�屬任靴�い値を予め設定しておき、そのしきい値を��えたら異常と判��する、といった�W��法がある。例えば図2はその例である。割り込み端子をしきい値�U御に使えば、割り込みがかかると電源をオンするといった�W��である。割り込み信�､��k定期間来なければ、電源をオフにするといった設定もできる。このようにして、何か衝撃を感じたら電源が入るといったシステムを省エネにすることができる。

このADXL362には、�a度センサも内�鼎靴討�り、衝撃と�a度を常にモニタリングできる。加えて、最�j512サンプルのFIFO（First In First Out）メモリも集積されているため、加�]度と�a度のデータを蓄積しておいてある��度たまってから�k度に送り出すことができる。データを送りだすとき以外は停�Vさせておくことができるため、システムの消�J電��を下げられる。

図3　MEMSから信�ｽ萢�までの実績で差別化する

アナデバはMEMSセンサに20�Q以�屬亮太咾魴eち、��に初期の加�]度センサを使ったエアバッグでは�Z載����で認められてきた。最�Zではジェスチャー動作の入��デバイスなどでも使われている。微弱なMEMS信�､鮓―个掘�A-D変換、デジタル信�ｽ萢�と�k連の�v路応��において�咾�(図3)。