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ルネサスがSiウェーハ屬坊狙したGaNのRFパワーアンプをサンプル出荷

ルネサスエレクトロニクスは、Siウェーハ屬GaN薄膜を成長させたRF(高周S)パワートランジスタを開発、x場へ送りこんだ。GaNのFETは来RFで使われてきたGaAsFETと比べ、送信出を倍\できる(参考@料1)。

図 1GHz帯GaNパワーアンプモジュール 出Z:ルネサスエレクトロニクス

図 1GHz帯GaNパワーアンプモジュール 出Z:ルネサスエレクトロニクス


ルネサスが今vサンプル出荷したGaNトランジスタの基には3インチのSiウェーハをいた。k般に、Si基屬GaNをエピタキシャル成長させる場合にはSiとGaNとの格子定数が違うため、その差を緩和する薄膜材料をバッファ層として導入する。ただし、このFETはMOSのように表CZくのチャンネルをWし、HEMTのようにヘテロ接合をWしたノーマリオフデバイスである。バルクのT晶性の影xはE色ダイオードほど咾pけないため、GaN on Siの商化が早かった。

ルネサスが今v発表する以iにも櫂ぅ鵐拭璽淵轡腑淵襦Ε譽ティファイアー(International Rectifier: IR)社も低周Sパワートランジスタの応として2010Q2月に商化を果たしている(参考@料2)。150mmのシリコンウェーハ屬GaNを形成するIRのは、DC-DCコンバータやPOL(point of load)電源としての応である。このため動作周S数は5MHz度だが、出電流は30Aとjきい。

今vルネサスが狙ったのは、GaNがSiよりも3倍も‘暗戮高いことをWする高]・高周S。CATVシステムのパワーアンプで、VHF〜1GHz帯の動作ではこれまでのGaAsよりも送信出は倍\したとしている。仕様による745.25MHzでの出は56dBmV(=約8mW)。1GHzでの線形Wuは19dB。使周S数J囲は40〜1000MHz。推奨バイアス電圧はVDD=24V、v路電流は365mAという。送信出を屬欧襪海箸覗信{`をPばすことができるうえ、高周Sで線形性が良いということは歪みが少ないことにつながる。

攵喤点はルネサス関・札潺灰鵐瀬タの賀工場であり、旧NEC関、旅場だ。1Q以内に6インチ(150mm)ウェーハへとeっていく画だ。


参考@料
1. 業c最高レベルの高出と低歪性Δ鮗存修垢襦1GHz帯CATV向けGaNパワーアンプモジュールの発売について
2. IR claims first commercial GaN-based integrated power stage devices

(2011/06/29)
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