マスク浮漢箕粗の40%沒教をASETが券山
畝黎眉排灰禱窖倡券怠菇∈ASET∷のマスクD2I禱窖甫墊嬸は媽企攙喇蔡鼠桂柴を4奉11泣に澎疊で倡號した。リソグラフィ禱窖の面で、マスク肋紛や閃茶、浮漢禱窖といった倡券テ〖マを士喇18鉗刨から21鉗刨に畔り、甫墊しようというもの。海攙の鼠桂柴では、漣鉗刨すなわち、2008鉗3奉に姜位した士喇19鉗刨の慌禍について疽拆した。
士喇19鉗(2007鉗)刨の甫墊喇蔡として、マスク浮漢禱窖の浮漢箕粗沒教禱窖を倡券し、驕丸と孺べ40%浮漢箕粗を警なくできたとしている。浮漢箕粗は絡きく尸けてハ〖ドウエアの浮漢箕粗と風促を斧つけるレビュ〖箕粗がある。海攙はこのレビュ〖箕粗を絡升に沒教することで、ハ〖ドの浮漢箕粗が恃わらなくても、ト〖タルの浮漢箕粗を40%沒教した。
風促レビュ〖箕粗を沒教するため、話つの供勺を乖った。すなわち、帆り手しパタ〖ンを網脫、パタ〖ンに腳妥刨を肋け風促冉年を詞燎步、パタ〖ン啪繼シミュレ〖ションによる風促冉年、である。
帆り手しパタ〖ンの網脫に簇しては、1鹼梧のパタ〖ンで風促が斧つかったら、その奪くに票屯なパタ〖ンを玫す。そのためのソフトウエアを倡券した。これは擊たような鹼梧のパタ〖ンで券欄する風促は、剩眶票屯なパタ〖ンで券欄しているはずだという雇えに答づく。さらに、風促のあるパタ〖ンに肋紛パタ〖ンを腳ねる。1鹼梧のパタ〖ン柒だけで賴澄に圭わせこむと票屯なパタ〖ンにもそのまま蝗えるため、籃刨が懼がっている。さらに、マスクデ〖タが200Gバイトを畝すような叼絡な眷圭もあるため、16洛のパソコンクラスタを事誤瓢侯させる。これはビュ〖ワ〖の悸跟簇眶を事誤借妄することになり、これまでビュ〖ワ〖が山績されるまでにかかる箕粗を1箕粗笆柒という謄篩を肋年し、1綏105Gバイトを1綏叫すのに10尸で貉むようになった。これが2綏の200Gバイトでも20尸で貉む。
パタ〖ンの腳妥刨を肋年する漣に、まずマスクデ〖タとなるMDR∈マスクデ〖タランク∷ファイルから、浮漢ツ〖ルに圭うようなDMフォ〖マットとよばれる妨及にデ〖タ恃垂する供眶を負らした。驕丸はVSB∈variable shaped beam∷フォ〖マットへの恃垂や橙磨恃垂などを沸ていた。この檬超を臼維できることをチェック、澄千した。
パタ〖ンの腳妥刨は、パタ〖ン升の弓い眷疥と豆い眷疥で冉年のしきい猛を恃え、そのしきい猛の般いを咖で急侍した。パタ〖ンの升が弓く驢警風けても潑拉に鏈く逼讀を第ぼさないような眷疥の庭黎刨を布げた。パタ〖ンの嘿い眷疥は呵腳妥刨となる。
啪繼パタ〖ンシミュレ〖ションは、まず風促茶嚨を評、GDSファイルからパタ〖ン嗚吃嚨を侯り、風促茶嚨と腳ね圭わせウエ〖ハの茶嚨を侯喇する。このようにして刪擦マスクを侯り、風促冉年に網脫する。なお、この浮漢禱窖のプレゼンテ〖ションはニュ〖フレアテクノロジ〖が乖った。
