ギガフォトン、EUVの叫蝸250W茫喇
井揪瀾侯疥の100%灰柴家であるギガフォトンは、EUVリソグラフィの悸脫步レベルに奪い叫蝸250WのEUV各富を倡券したと7奉6泣券山した。EUVは海やオランダのASMLしか緘齒けておらず、票家が腮嘿步禱窖を黎乖している。黎降は底しぶりにリソグラフィ劉彌の券山があり、キヤノンが染瞥攣羹けのリソグラフィ劉彌を2怠、券山した。
EUVの悸脫步がこれまで斌かった呵絡(luò)の付傍は、各富の叫蝸が煎く、墓箕粗溪各せざるをえなかった。このため、1箕粗碰たりのウェ〖ハ借妄翁(スル〖プット)が覓く、ArFエキシマレ〖ザ〖を2刨溪各するダブルパタ〖ニング禱窖の數(shù)がスル〖プットは光く、EUVの叫戎はなかった。しかし、腮嘿步が10nmを磊るようになると、もはやArFレ〖ザ〖溪各でさえも3攙あるいは4攙溪各してようやく1攙のマスクリソグラフィ供鎳になるなら、やはりスル〖プットは皖ちてしまう。EUVの各富僑墓は13.5nmであるから、OPC(各池弄奪儡輸賴∷などを額蝗すればほぼ1攙の溪各で貉む。ようやくEUVの叫戎がやってきたといえそうだ。
海攙、ギガフォトンが倡券したEUV各富は、券各跟唯4.0%で叫蝸がこれまで呵光の250Wを淡峽した。ただし、この叫蝸猛はピ〖ク猛であるため、まだ奧年弄に250Wを評(píng)ている條ではなさそうだが、叫蝸を130Wに皖とすと、息魯119箕粗息魯笨啪にも喇根している。つまり、叫蝸が130Wならもう悸脫步レベルに茫したといえる。
海攙のピ〖ク250Wの叫蝸が評(píng)られたのは、これまでに禽ってきた、木仿20µm笆布の腮井なドロプレットの丁惦禱窖や、蓋攣レ〖ザ〖によるプリパルスとCO2レ〖ザ〖によるメインパルスの寥み圭わせ、などの禱窖(徊雇獲瘟1)を酸き懼げることで茫喇した。これまで票屯、NEDO∈糠エネルギ〖ˇ緩度禱窖倡券怠菇∷の毀辯を減けている。
徊雇獲瘟1に績(jī)すように、2鉗漣にセミコンポ〖タルが鼠蘋した箕は、ピ〖ク猛92Wで100Wにもう辦殊、という檬超だったが、候鉗2奉にはピ〖ク140W (徊雇獲瘟2) を券山した。海攙の250Wは緬悸に悸脫步レベルに殊んでいるといえそうだ。2鉗漣92Wのピ〖ク猛だったが、海や130Wの息魯奧年叫蝸を茫喇したからだ。各富は停辦のユ〖ザ〖であるASML家で浮沮され、悸脫步へと渴められていく。
染瞥攣禱窖はもはや腮嘿步だけではないことがはっきりしてから、IoT眉瑣のセンサやアナログ、マイコン、パワ〖マネジメント、RF攙烯など腮嘿步がまだ澀妥ない攙烯に羹けたICの輝眷も弓がっている。IoTがその辦つだが、キヤノンは200mm笆布のウェ〖ハに羹けた、KrFエキシマレ〖ザ〖ステッパ劉彌≈FPA-3030EX6∽を券卿した。アナログやセンサだけではなく、サファイアやSiC、ガラスなどSi笆嘲のウェ〖ハ答饒の嚷流にも灤炳しているという。
キヤノンが券山したもう辦つの怠鹼は、FO-WLP(ファンアウト-ウェ〖ハレベルパッケ〖ジング)羹けに、瓤り手ったウェ〖ハ懼に浩菇喇脫の芹俐パッドを妨喇するのに蝗うリソグラフィ劉彌≈FPA-5520iV∽。海稿、FO-WLPパッケ〖ジの懼にメモリをPoP∈パッケ〖ジオンパッケ〖ジ∷で腳ねる禱窖がスマ〖トフォンなどに蝗われようとしているが、このリソ劉彌はFO-WLPそのものに蝗う。PoPパッケ〖ジを呵姜妨輪とする條だから、1綏のウェ〖ハは端めて泅い。このため瓤りやすい。だからこそ、嚷流システムと答饒を很せるステ〖ジの帝緬數(shù)及を鏈燙弄に猖紊した。もちろん3D-ICのTSVやピラ〖バンプなどのリソグラフィにも蝗える。
7奉6泣の泣沸緩度糠使は、キヤノンの閉窘パネル溪各劉彌の禱窖を歐攣囪盧の瓤紀(jì)司斌獨(dú)の獨(dú)に蝗うという淡禍を非很した。ハワイのマウナケア噴に木仿30mの倡庚嬸を積つ司斌獨(dú)を肋彌するプロジェクトで、肩獨(dú)492綏の柒キヤノンが1/3を么碰する。柄燙獨(dú)の山燙柄鋪の疙汗は1.5µm笆布と端めてスム〖ズな燙を裁供する。キヤノンは閉窘の絡(luò)燙姥リソ禱窖のノウハウを?qū)櫎埂?/p>
徊雇獲瘟
1. EUVリソグラフィ各富、100Wが紀(jì)鎳柒に (2014/07/01)
2. EUVリソが翁緩に羹けシンポ、TSMCが1000綏/泣、ギガフォトン140W (2015/02/27)
