EUVリソグラフィ各富、100Wが紀(jì)鎳柒に
EUVリソグラフィ各富メ〖カ〖のギガフォトンは、呵絡(luò)叫蝸92WというLPP∈レ〖ザ〖欄喇プラズマ∷各富活侯怠を倡券した。驕丸のLPP各富は43Wだったため、2擒笆懼のパワ〖を評(píng)たことになる。
哭1 EUV溪各の車(chē)前哭 叫諾¨ギガフォトン/EUVA
EUVリソグラフィの呵絡(luò)の啼瑪は、各富の叫蝸が井さいことだった。叫蝸が井さければ、レジストを炊各させる箕粗がかかり、ウェ〖ハを溪各する箕粗もかかってしまうため、スル〖プットが懼がらない。このためArFレ〖ザ〖リソグラフィを2攙溪各あるいは1攙溪各≤セルフアラインメント裁供によるダブルパタ〖ニングが庭廓だった。緘粗をかけても、ArFリソの數(shù)がスル〖プット、すなわち欄緩拉の爬で庭れていた。
海攙、EUV各富の叫蝸が100Wに奪い92Wが評(píng)られたことは、EUVの欄緩拉羹懼の蘋(píng)が倡けたことになる。ギガフォトンは、≈∈リソグラフィメ〖カ〖の∷ASMLの鼠桂では、70Wで52綏/箕とあったので、92Wでは腆60綏/箕、驕丸の43Wだと腆40綏/箕に陵碰する∽とみている。
EUVの13.5nmというX俐各は肌のようにして券欄する。Snを光補(bǔ)裁錢(qián)して閉農(nóng)∈ドロプレット∷として庫(kù)らしながら、CO2レ〖ザ〖を救紀(jì)しプラズマを券欄させ、Snイオン覺(jué)輪になったSnがEUV各を券する(徊雇獲瘟1)。ドロプレットの木仿が井さいほどプラズマ補(bǔ)刨が光くなり、イオン步跟唯が光まるという。
92Wという叫蝸が評(píng)られたのは、まずSnのドロプレットの木仿を20µmと、驕丸の30µmよりも井さくした。ここにレ〖ザ〖を救紀(jì)するのに2檬超の數(shù)恕を蝗う。この數(shù)恕は2008鉗に倡券している。これは、叫蝸の你いYAGレ〖ザ〖をまずドロプレットに救紀(jì)して、嘿かいミスト覺(jué)に赫き、さらに絡(luò)叫蝸のCO2レ〖ザ〖で裁錢(qián)し絕券させ、EUV各を券欄する。裁えて、EUV各がウェ〖ハに毗茫するまでの龐面の瓤紀(jì)ミラ〖での昔步を松いだ。惡攣弄には、イオン步したSnを畝排瞥姬佬の姬蝸俐で梳陋し、怯叫することによってミラ〖へのSnの燒緬を娃擴(kuò)し、それでもミラ〖に燒緬したSnをH2ガスによりエッチングで近殿した。
ギガフォトンは翁緩脫EUVスキャナ〖の悸附に羹け、2014鉗瑣までに150Wの叫蝸、呵姜弄には250Wの叫蝸を謄回すとしている。倡券には糠エネルギ〖ˇ緩度禱窖另圭倡券怠菇∈NEDO∷の毀辯を減けている。
徊雇獲瘟
1. 孤庚紛≈染瞥攣溪各脫EUV各富倡券の渴鷗と呵糠瓢羹∽
