染瞥攣の腮嘿步はいつ賄まるのか、罷急拇漢を坤腸面で悸卉∈2∷
染瞥攣デバイスの腮嘿步はいったいいつまで魯くのか、墓鉑禱窖彩池絡(luò)池の膨欠懼未狄鎊兜鑒は、泣塑を若び叫し、坤腸面の染瞥攣甫墊莢やリソグラフィ漓嚏の甫墊莢を面看にアンケ〖ト拇漢を1鉗笆懼かけて乖った。このレポ〖トはわずか1鉗粗の粗に悸卉箕袋によって甫墊莢の罷急が絡(luò)きく恃わっていることを帕えている。
媽企肌拇漢數(shù)恕
甫墊テ〖マ≈LSIの腮嘿步はいつ賄まるのか々∽と、坤腸のリソˇキ〖パ〖ソンのリストを啡えて、僧莢は、2007鉗7奉16泣から、坤腸辦件拇漢喂乖に叫券した。鏈乖鎳48泣粗、泣塑を叫券した稿、カナダⅹ?jiǎng)莨瘼芝楗弗擘Βぅ螗散炱睽ⅴ弗ⅱ婀瘼樝绚饶礉hを魯け、9奉2泣に耽柜した∈哭7∷。この粗、13カ柜で、圭紛40家を爽啼し、ヒアリングを魯乖した。
媽企肌拇漢馮蔡
哭8×11に績(jī)す劑啼について、2007鉗2奉SPIEから坤腸辦件姜位の9奉まで、ヒアリングで評(píng)た攙批を箕廢誤弄にグラフ步して斧た。哭8の玻即は、ある辦客のリソˇキ〖パソン∈辦嬸、デバイス禱窖莢も崔まれる∷が攙批した泣燒を績(jī)す。また、樂(lè)いバ〖が勢(shì)柜客、濫いバ〖が泣塑客、搏咖いバ〖が菠劍客、渦咖のバ〖がアジア客を績(jī)す。
2007鉗2奉のSPIE箕爬に灤して、そこから染鉗沸冊(cè)した2007鉗7≥9奉箕爬では腮嘿步の嘎腸が絡(luò)きく凱鷗していることがわかる。ロジックLSIの嘎腸は、2007鉗2奉箕爬で45【32nmだったが、2007鉗7-9奉箕爬では22【10nmになった。
メモリ〖LSIの嘎腸∈哭9∷も票屯に、2007鉗2奉のSPIE箕爬で32【22nmだったが、2007鉗7≥9奉箕爬では22【10nmになった。哭8と9の企つに劑啼に灤して、潑僧すべき攙批としては、ファンドリ〖の呵絡(luò)緘メ〖カ〖で、≈貸にhp22nmの禱窖倡券は貉んでいる。附哼h(yuǎn)p16nmを倡券している。嘎腸はhp10nmぐらいになるのではないか々∽と券咐した禱窖莢茫がいた。また、揉霹に、媽辦肌拇漢馮蔡の哭1および哭2を斧せると、≈LSIの嘎腸が45nmとか32nmとか、どこの茂が、そんな∈粗卻けな∷批えをしているのか々∽と絡(luò)拘いされた。
このコメントからもわかるように、このファンドリ〖の腮嘿裁供禱窖は、戮柜および戮家と孺秤しても、潤(rùn)撅に渴んでいるように炊じられた。また、ファンドリ〖禱窖莢茫の、≈22nm×16nmの腮嘿裁供禱窖を倡券している∽という券咐は、罷蹋考墓であり、腳い。なぜなら、揉らファンドリ〖は、ファブレスからの巴完がなければ扒崩に腮嘿裁供禱窖を渴める澀妥がないからである。その揉らが、22nmを窗位し、海や16nmに艱り寥んでいるという。つまり、16nmの腮嘿裁供を澀妥とするLSIのビジネスが、貸に賂哼している材墻拉があるということだ。
では、揉らファンドリ〖は、22nm×16nmの腮嘿裁供を乖うための溪各劉彌としては、部を鱗年しているのだろうか々
2007鉗2奉のSPIE箕爬では、リソˇキ〖パ〖ソン茫の罷斧は充れていた。そこから染鉗沸冊(cè)した2007鉗7≥9奉箕爬では、ほとんどの罷斧がOtherになった。惡攣弄には、≈禱窖弄にできるかもしれないが、タイミングが粗に圭わない∽、または、≈できたとしても、1坤洛しか蝗えない。そんな劉彌や禱窖を倡券する罷蹋がない∽と咐うコメントであった。
2007鉗2奉のSPIE箕爬では、リソˇキ〖パ〖ソン茫の罷斧は柔囪弄(Impossible)であった。そこから染鉗沸冊(cè)した2007鉗7≥9奉箕爬では、ほとんどの罷斧が∩できる∈Possible∷∪に恃わった。哭8および哭9に績(jī)したように、わずか染鉗粗で、ロジックLSIとメモリ〖LSIの嘎腸が凱鷗したのは、EUVLの翁緩材墻拉に袋略が積てるようになったからだと夸盧できる。この染鉗粗に部が彈きたのだろうか々
漣叫の鉑宏會(huì)によれば、肌の話つのトピックスがあったとのことである。
1)2007鉗7奉、泣塑で倡號(hào)されたEUVLの柜狠シンポジウムで、サイマ〖が、LPP(Laser Produced Plasma)數(shù)及の各富で、悸脫步レベルに奪い100Wの叫蝸を茫喇した(廟1) 。
2)勢(shì)柜AMDが、勢(shì)柜AlbanyのCNSE(College of Nanoscale Science and Engineering)に肋彌してあるASMLのEUVL溪各劉彌∈ADT¨アルファˇデモˇツ〖ル∷を蝗って、LSIの活侯に喇根した(廟2)。
3)泣塑のコンソ〖シアムである染瞥攣黎眉テクノロジ〖ズ(Selete)が、ニコンのEUVL溪各劉彌EUV1を蝗って、hp30nm笆布のパタ〖ンを悸附した。
これらのトピックスから、EUVLの翁緩努脫に灤する袋略炊が四らみ、腮嘿步の嘎腸が辦刁に渴鷗した。その馮蔡、坤腸のリソˇキ〖パ〖ソン茫の礁圭罷急が、EUVLの拉墻嘎腸まで∈hp10nm收りか々∷腮嘿步できるというものに恃步しつつある。
沸貉弄な嘎腸は々
禱窖弄なブレ〖クスル〖が息魯弄に券山されるようになり、湯るい鷗司が斧えてきたEUVLであるが、沸貉弄な啼瑪が賂哼する。EUVLの翁緩怠が悸附したとしても、その擦呈は100帛邊奪くなると苯されている。蔡たして、100帛邊の溪各劉彌をずらりと事べたLSI供眷で、ビジネスの何換が圭うのだろうか々禱窖弄に材墻になったが、擦呈が光すぎて蝗えない、つまり、沸貉弄な啼瑪が、腮嘿步の嘎腸を瘋年することにはならないのだろうか々
この啼瑪の批えの辦つは、漣叫の坤腸呵絡(luò)緘のファンドリ〖の禱窖莢が績(jī)してくれた。≈EUVLが1駱100帛邊々 啼瑪ない。その批えはギガファブだよ。奉緩眶10它綏のギガファブならば、1駱100帛邊のEUVLであっても、ノ〖プロブレムだ∽。
こうして、坤腸の染瞥攣緩度は、EUVL &ギガファブの箕洛に仆掐するのであろうか々泣塑染瞥攣緩度はどう灤炳するのか々染瞥攣黎眉テクノロジ〖ズ(Selete)およびニコンが倡券しているEUVL溪各劉彌を、悸狠に瞥掐して、LSIを翁緩する泣塑染瞥攣メ〖カ〖は、塑碰に賂哼するのだろうか々海稿も、腮嘿步の乖數(shù)から謄が違せない。
廟1¨悸狠には、Cymerのデ〖タは、バ〖ストモ〖ドと鈣ばれる沒(méi)箕粗(1ms)の馮蔡であった。笨啪箕粗に貍める券各箕粗の充圭は斷か5%であり、驕って、士堆叫蝸に垂換すると5Wにしかならなかった。しかし、それでも、絡(luò)きな渴鷗であった。
廟2¨hp45nmで肋紛されたLSIのメタル媽辦霖∈M1∷を、EUVLで溪各しただけであるが、∪悸狠に蝗った∩ことが絡(luò)きなインパクトとなった。
