AIを寵脫して染瞥攣瀾隴匙糠を謄回すキオクシア/澎記/ロ〖ム/ソニ〖
粗もなく倡號されるISSCC2025のテ〖マは、≈AI 匙炭を夸渴するシリコン エンジン∽である。染瞥攣禱窖がAIを夸渴し、そのAIがすべての瀾墑やアプリで寵脫され∈哭1徊救∷、坤の面を辦恃しようとしている。緩度尸填へのAI瞥掐も毋嘲ではなく、AIにより瀾隴を跟唯步し欄緩拉を羹懼させようという瓢きが菠勢面看に渴乖している。泣塑の染瞥攣メ〖カ〖でもそのような瓢きが覆螟になってきた。
殿る12奉に澎疊で倡號された柜狠染瞥攣瀾隴シンポジウムISSM2024でも、AIを寵脫して染瞥攣瀾隴を匙糠しようという券山が陵肌いだ∈徊雇獲瘟1∷。≈ノウハウをサイエンスに∽を答塑スタンスとするISSM2024で廟謄されたAIによる染瞥攣瀾隴匙糠に簇する泣塑の染瞥攣メ〖カ〖∈キオクシア、澎記、ロ〖ム、ソニ〖∷の券山を疽拆して、泣塑の染瞥攣瀾隴附眷でのAI寵脫の屯灰をレポ〖トしよう。ほかにも督蹋ある券山が驢眶あったので、督蹋なる數は徊雇獲瘟1を徊救いただきたい。なお、 塑矢面にAI脫胳がいくつも叫てくるが、わからない數はChatGPTのような欄喇AIに懇ねて妄豺を考めていただきたい。
哭1 AIはすべての瀾墑やアプリで寵脫されAI匙炭を彈こす 叫諾¨TSMC Mii懼朗甥家墓のIEDM 2024答拇怪遍より
ベイズ呵努步を脫いて警ない悸賦攙眶でプロセス肋紛呵努步 -キオクシア
キオクシアからは、≈3D NAND フラッシュメモリのための驢謄弄ベイズ呵努步を脫いたウェットエッチング肋紛呵努步∽ が券山された。ベイズ呵努步とは、澄唯弄夸俠に答づいて呵努なパラメ〖タや掘鳳を玫る、マシンラ〖ニング∈怠常池漿∷の緘恕の辦つである。
奪鉗、染瞥攣瀾隴プロセスの剩花步に燃い、デバイス菇隴を光籃刨に呵努步する澀妥拉が光まっている。毋えば、バッチ及のウェットエッチング劉彌では、プロセス鈴柒の挑閉の萎れの稍堆辦拉によりウェ〖ハのエッチング覺輪にばらつきが欄じることがある。この啼瑪に灤しては、悸ウェ〗ハを脫いたエッチング悸賦の馮蔡に答づいて劉彌菇隴を呵努步することにより、さらに堆辦なエッチング覺輪を悸附することができる。しかし、この數恕では、驢眶の活乖悸賦と漓嚏弄な夢急が澀妥となり、潤跟唯である。
3Dフラッシュメモリでは、ワ〖ド俐妨喇箕のSiNの聯買弄なエッチングにおいて、懼揭の啼瑪が覆哼步している。塑甫墊では、驢謄弄ベイズ呵努步を網脫した匙糠弄な緘恕を瞥掐し、エッチング閉の萎廬、簍ちエッチング閉面のシリコン腔刨を籃泰に擴告材墻な呵努なウェットエッチング鈴肋紛パラメ〖タを瞥叫した。この緘恕では、萎攣シミュレ〖ションから評られた眶猛攫鼠だけでなく、萎攣シミュレ〖ション茶嚨を脫いてベイズ呵努步を悸卉し、エッチング鈴デザインを呵努步している。その馮蔡、悸ウェ〗ハ悸賦を乖うことなく、沒袋粗でエッチング鈴デザインを呵努步できるようになったという。
このように、キオクシアではプロセス掘鳳を警ない悸賦攙眶で呵努步するため、ベイズ呵努步を寵脫しているが、ベイズ呵努步での活乖攙眶をさらに猴負するため、票家は糠たな介袋悸賦紛茶恕の券山も乖った。この介袋悸賦紛茶恕では、剩眶の悸賦パラメ〖タからなる光肌傅鄂粗柒に、警翁の悸賦爬を辦屯に芹彌する。
キオクシアは、300mmウェ〗ハでの光アスペクトホ〖ルˇドライエッチングプロセスを毋にこの緘恕の努脫を惡攣弄に績した∈哭2徊救∷。エッチング燙柒堆辦拉に逼讀を涂える材墻拉のある剩眶の悸賦パラメ〖タを脫いて、この介袋悸賦紛茶恕で瞥叫した掘鳳で介袋悸賦を乖った。さらにベイズ呵努步で掘鳳玫瑚を乖うことで、エッチング燙柒堆辦拉が呵努步されるまでの悸賦活乖攙眶が、絡升に猴負材墻となることを績した。
哭2 ベイズ呵努步のためのドライエッチング劉彌におけるプロセスパラメ〖タ藐叫 叫諾¨KIOXIA
ドメイン夢急の啪敗池漿による簿鱗紛盧 -澎記
澎記グル〖プは、ドメイン夢急の啪敗池漿による簿鱗紛盧∈VM∷について券山した。撾拌夢急の啪敗池漿とは、ある啼瑪を豺瘋する狠に評た漓嚏弄な夢急を侍の啼瑪の豺瘋に廄爬を碰てた怠常池漿∈マシンˇラ〖ニング∷の辦鹼である。
紛盧∈VM∷は染瞥攣瀾隴において、センサデ〖タを脫いてウェ〖ハの潑拉を徒盧するために稍材風である。ただし、光肌傅拉や潤年撅拉などの啼瑪により、賴澄な VM を菇蜜することは氦豈である。Lasso ∈Least Absolute Shrinkage and Selection Operator)
などの驕丸の數恕では、潑魔聯買とパラメ〖タ夸年を票箕に悸乖するが、ドメイン夢急と頂圭する材墻拉がある。そこで、澎記は、ドメイン夢急を攙耽モデルに寥み哈む糠しい數恕である Weighted Transfer Lasso を疽拆した。瓤炳拉イオン エッチング デ〖タを蝗脫した悸賦では、驕丸の數恕と孺秤して籃刨と辦從拉が羹懼していることが悸沮され、慨完拉の光い VM 構糠の材墻拉を澎記は動拇した。
殊偽まり你布妥傍豺老にAIを寵脫 -ロ〖ム
ロ〖ムは、≈絡憚滔咐胳モデルを寵脫した孔廬かつフレキシブルな殊偽まり尸老∽について券山し、ISSM2024呵庭建俠矢巨に當いた。
染瞥攣瀾隴には剩花な供鎳がたくさん崔まれるため、沸賦誰少な禱窖莢であっても瀾隴殊偽まり你布妥傍について豺老することは氦豈である。ロ〖ムは、≈あるパワ〖染瞥攣瀾墑の潑拉がある袋粗礙步した∽というような眷圭について、潑年の潑拉に逼讀を涂える妥傍を潑年するためのフレ〖ムワ〖クを捏捌した。このフレ〖ムワ〖クは、掐蝸、聯買、尸老、豺堅の4つのレイヤ〖で菇喇されており、聯買と豺堅のレイヤ〖においては、AIに答づき腳妥な匙糠がなされている。
聯買レイヤ〖では、絡憚滔咐胳モデル∈LLM∷が尸老山のメタデ〖タを網脫して誤の擄拉を夸盧し、乖のフィルタリングとタ〖ゲット恃眶の急侍のための誤の賴澄な瘋年を推白にしている。豺堅霖では、プロセス攫鼠と陵簇を琵圭し、悸乖材墻なプロセス猖簾やリスク刪擦を捏捌している。このアプロ〖チは、殊偽まり豺老を猖簾し、欄緩デ〖タを跟蔡弄に豺堅するために、LLMをドメイン蓋銅の緘恕と琵圭する材墻拉を績憾している。ロ〖ムは、染瞥攣瀾隴プロセスにおける殊偽まり猖簾咆蝸を圭妄步し、コスト猴負を哭り欄緩拉羹懼の材墻拉を動拇している。
哭3 殊偽まり你布妥傍を潑年するための聯買ˇ豺堅檬超でのLLM寵脫 叫諾¨ROHM
ディ〖プラ〖ニングを脫いたウェ〖ハ山燙風促浮叫の猖簾 -ソニ〖
ソニ〖セミコンダクタからは、≈ディ〖プラ〖ニングを脫いたChip-on- Wafer ∈CoW∷山燙風促浮叫の賴澄さの猖簾∽と瑪する券山が乖われた。CoWプロセスの墑劑を澄瘦するためには,光炊刨での山燙風促浮漢が稍材風であるが,ダイシングˇソ〖ティングされたチップ懼の腮井風促を光籃刨かつ跟唯弄に浮叫することは,潑年の刀風促の賂哼により,ウェ〖ハ鏈攣の風促浮漢よりも氦豈である.塑甫墊では、ディ〖プラ〖ニングを脫いた茶嚨極瓢尸梧を努脫することで、刀風促の浮叫唯を你負し、謄弄の風促のみを浮叫することに90%笆懼の賴澄さで喇根したという。
哭4 Chip-on-Wafer懼の風促浮叫へのディ≥プラ〖ニングの寵脫 叫諾¨SONY
泣塑を坤腸辦の染瞥攣絡柜に病し懼げた20坤氮の泣塑のモノ隴りは、較錫禱窖莢や侯度鎊のカンと沸賦に毀えられてきた。それが海や菠勢面看にAIに彌き垂わり、さらに賴澄な欄緩掘鳳の呵努步や瀾隴の跟唯步を孔廬に乖えるようになって欄緩拉が螟しく羹懼してきており、泣塑廓もうかうかしてはいられない。泣塑の染瞥攣メ〖カ〖は、さらにAIを寵脫して柜狠頂凌蝸をつけて浩び坤腸へ若迢することを袋略したい。
徊雇獲瘟
1. ISSM Website
