NJRはもともとローノイズアンプをはじめとするアナログに�咾と焼���メーカーであるが、これからも�Pびるスマートフォン/タブレットというモバイル端���x場に向け、MEMSマイクを量��している。モバイル端��は、低コスト化が�{求される分野であるが、��来のECM（エレクトレットコンデンサマイク）は耐�X性が低いため、リフローハンダに耐えられなかった。このため�}作業でハンダ��けせざるを�uない。�攵掚が�Kくコストアップ要因になっていた。これに�瓦靴�MEMSマイクはシリコン半導��をベースにしているため、230〜260℃のリフローにも耐えられる。プリント��への実�△和召糧焼���チップや�p動����とも同時にリフローハンダができるため、�攵掚は格段に�屬�る。

加えて、MEMSマイクはECMよりも小さいため、2個以�屮好泪曚謀觝椶任�る。マイクを複数搭載できれば、ノイズをキャンセルでき、通�Bが聞き�Dりやすくなる。最�ZではiPhoneのsiriに見られるように音�m認識�\術が�k般的に使われるようになってきているため、認識率を今よりも�屬欧燭い箸いν弋瓩��咾ぁ�周囲の雑音を�]ち消すことができれば音�mの認識率はさらに高まる。

図1　�攵��ξ�を月��2000万個に拡充　出�Z：新日本無線

NJRが�Q間1億個を達成したとしても、MEMSマイクの�邵烟x場は30億個/�Qと言われており、�x場シェアはたかだか3%にすぎない。同社は量�����Uを構築し、これからも�\��していく(図1)。昨�Qの3月に量��を始めた時は500万個/月���Uだった。同�Q7月にはラインを�\やして1000万個/月に�屬押△気蕕�10月にはUMCの8インチMEMSラインを使う契約を�Tび、2000万個/月の�攵��ξ�を構築した。ただし、MEMSチップの�攵捓量は�ξ�いっぱいには達していない。まだ1500万個/月だという。

図2　新日本無線�D締役執行役�^の��田隆����

同社は後発組なのになぜ�M負できるのか。スマホ�x場の拡�jは言うまでもないが、MEMSチップと後段のアナログアンプの��性を揃えることができるという��長があるからだ、と同社�D締役執行役�^の��田隆����（図2)は言う。例えば、MEMS感度をアンプのゲインを変えて調�Dできる。同社はMEMSチップ単��でも、その出��を�\幅するアンプICとセットでも販売する。直接の顧客はマイクロフォンメーカーであり、顧客がMEMSチップとアンプチップをCANなどのモジュールパッケージに実�△垢襦�新日本無線はチップを提供する。

提供するアンプには、�\幅機�Δ梁召法�MEMSマイクに印加する��圧�v路やレギュレータも集積している。図3の下�陲��v路は開発中のデジタル出��のICで、2014�Q度の早い時期に����化するという。センサ信�､鮖\幅した後、ΔΣコンバータでA-D変換しデジタルで出��する。アンプICはCMOSプロセスで���]するが、その理�yはこなれた�Bコストのプロセスだからだとしている。

図3　MEMSマイクとセットのアンプIC　出�Z：新日本無線

MEMSそのものも次の����を開発中で、現在の1.3mm角のMEMSチップをさらに1.1mm角に小型化する。小型化しても感度を確保するため、MEMSで作るメンブレンの振動のさせ�気帽�夫を凝らし、��電容量の変化分を�jきくしているという。これも2014�Q度に出荷する予定だ。小型にするのは、より低コストに�官�するため。