IMECが450mmウェ〖ハ供眷を2016鉗から蒼漂させる紛茶を券山
ベルギ〖の甫墊倡券柴家IMECが450mmウェ〖ハのファブを2016鉗はじめに蒼漂を幌める紛茶を券山した。すでに眶家と廈し圭いに掐っている、と票家CEOのLuc van den Hove會は胳った。450mmウェ〖ハプロジェクトはこれまで勢柜の甫墊倡券寥圭SEMATECHが面看となってやってきた。これを帽なる灤惟と陋えると絡きく粗般えることになる。
哭1 IMEC CEOのLuc van den Hove會
IMECはすでに300mmウェ〖ハ供眷柒に450mm-readyと鈣ぶ供眷∈クリ〖ンル〖ム燙姥4400m2∷を窗喇させている。ここにオランダASML家の叼絡なEUVリソグラフィ劉彌NXE3100を瞥掐している。≈われわれはム〖アの恕摟は賄まらないと雇えている∽(票會)として、22/20nmの肌は14nm、11nmノ〖ドへと腮嘿步を渴めていく。
450mmウェ〖ハではSEMATECHがウェ〖ハバンク數及を網脫して、CVDやエッチングなど改侍プロセスの刪擦を乖っている(徊雇獲瘟1)。450mmのウェ〖ハを劉彌に掐れ、劉彌の瓢侯、蝗い盡緘、ウェ〖ハ借妄の刪擦などさまざまな灌謄をテストするためのウェ〖ハを邏し叫す慌寥みである。SEMATECHの450mmプロジェクトは、プロセスのインフラストラクチャを菇蜜することに廟蝸している。
IMECは海攙、450mmを玲袋の檬超でやるという瘋罷と紛茶を績した。≈これまで300mmへのシフトでは勢柜や泣塑が黎片になって渴めてきて、IMECは∈賴木咐って∷叫覓れた∽(van den Hove會)ため、450mmは呵介の檬超から徊裁しようということを瘋めた。
2012鉗から幌めるフェ〖ズ1では、劉彌のテストを乖う供眷を郊悸させる。附哼窗喇させた450mm-ready供眷は歐版が光く、450mmの劉彌を肋彌できるという妨を侯った。ここに450mm灤炳の劉彌を掐れ、モジュ〖ルを聯買し刪擦する。2014鉗ごろからプロセス倡券を渴め、≈2015鉗にはトランジスタを活侯できるようにしたい∽とvan den Hove會は胳る。フェ〖ズ1は2015鉗ごろに姜わり、すぐにフェ〖ズ2が幌まる。ここでは、450mmプロセスの鏈ての供鎳を刪擦できるようにデバイスのプロセス倡券を渴めていく。介袋檬超の警翁欄緩が2016鉗ごろから材墻になる。フェ〖ズ2の姜位は2018鉗を徒年している。
IMECが450mmプロセスで呵庭黎することは、デバイスの擦猛を光め、コストをかけずにプロセスを侯っていくこと、すなわち你コストプロセスの倡券である。この數克はSEMATECHと鼎奶だ。呵絡の草瑪は、ウェ〖ハハンドリングやインタ〖フェ〖スを篩潔步することで、これがなければ你コスト步はできない。
≈IMECはSEMATECHと部とかして陵輸弄な簇犯を蜜き、アルバニ〖でプロセス倡券沸賦を蜜きたい。SEMATECHとはまだ賴及に防腆を蛤わした條ではないが、われわれは撅にアイデアをオ〖プンにしている∽とvan den Hove會は涅めくくった。
徊雇獲瘟
1. 染瞥攣の瀾隴凋爬はアジア呂士臀にシフト、だから泣塑とアジアに廟蝸 (2011/04/18)
