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半導の]拠点はアジア諒人里縫轡侫、だから日本とアジアにR

Scott Kramer、SEMATECHインターナショナルオペレーションズ担当VP

昨Qまで450mmウェーハの]・プロセスなど立ち屬欧Rしてきた殀焼コンソーシアムSEMATECHのISMI責任vのScott Kramerが今度は、アジア諒人涼篭茲寮嫻でvに任した。SEMATECHがアジア諒人里卜を入れる狙いは何か。同に聞いた。

図 SEMATECH International Operations担当VP Scott Kramer

図 SEMATECH International Operations担当VP Scott Kramer


Q1(セミコンポータル): これまでISMI(International SEMATECH Manufacturing Initiative) SEMATECHのリーダーとして、450mmウェーハの立ち屬欧寮萋を立ってこられましたが、このほどSEMATECHのアジア諒人涼楼茲寮嫻でvに任されました。その経緯について教えてください。
A1(SEMATECHインターナショナルオペレーションズ担当VP Scott Kramer): SEMATECHに関してビジネスニーズを内陲乃bし、そのニーズのプライオリテ(優先順M)をけました。そのT果、最優先課はアジア諒人里世蹐Δ箸いΔ海箸砲覆蠅泙靴拭そして、International Operations靆腓鯲ち屬欧泙靴。SEMATECHはアジアでは、日本のセミコンポータルにオフィスがあり、湾の新腓砲皀フィスがあります。f国はレップオフィスです。
SEMATECHは半導の]をメインテーマとする半導コンソーシアムです。最Zの]拠点のHくはアジア諒人里砲△蠅泙。だからISMIの成長とアジア諒人涼篭茲糧tと同期しています。7Qiに設立したISMIには日本のパナソニックが最初に参加し、いてルネサステクノロジ、NECエレクトロニクスが加わりました。アジアではTSMCやサムスンも参加しました。

Q2: 450mmウェーハ普及のための仕はもうやめてしまうのですか?
A2: いえ、アドバイザとしてけます。ISMIを設立したのもO分ですから、ISMIのコンサルタントとして450mmウェーハ普及のサポートもいたします。

Q3: 今はどこを動拠点とされていますか?
A3: テキサスΕースチンZ郊にあるO瓩鬟曄璽爛フィスとして使い、週の50%をここで仕をし、ニューヨークΕ▲襯丱法爾25%、アジア諒人里悗僚伉イ25%、という仕の割合です。

Q4: 東日本j震uによって盜饐噞cはどのような影xをpけていますか?
A4: 震uはとても悲しい出来でした。盜饅j統襪脇本とアメリカは甘な立場の同盟国であることを日本の菅総理とBし、すぐさま兵を送り協しました。しかし、盜颪離瓮妊アはして確に伝えていませんでした。この震uが噞cに及ぼす影xを理解するにはもっと時間がかかると思います。
半導業cにとって当Cの課はサプライチェーンです震u後の3月17日にf国を訪問していましたが、f国企業はシリコンの供給ξについてMに聞いてきました。世cのサプライチェーンの中で日本はとても_要な役割を果たしています。複雑な世cのサプライチェーンの中で日本のも材料も_要です。
ウォールストリートジャーナル(WSJ)Lによると、トヨタやフォード、GMなど盜颪O動Z噞とサプライヤとの関係について解説していましたが、その中でサプライヤとしてのルネサスエレクトロニクスの@iが出てきました。k般的な盜饋佑魯襯優汽垢@iを瑤蠅泙擦鵑里、@度向屬砲呂覆辰燭隼廚い泙。盜饋佑隆屬任脇本のメーカーとして東のブランドは~@ですが、c攀×_で瑤蕕譴討い襪世韻、半導企業の@iなどは瑤蠅泙擦。インテルだけはパソコンのx伝を通して瑤蕕譴討い泙垢、TIやフリースケールさえ瑤蕕譴討い泙擦鵝

Q5: 震u後には日本の供給がMしくなってきたため、盜颪脇本をパスしてアジアや中国に直接行くのではないかという心配している経営vもいます。
A5: 盜颪ら見ると日本は、f国や湾、中国にZい位にいます。盜颪離妊丱ぅ好瓠璽ーは日本のv復を高くh価しており、顧客との信頼関係を尊wしています。日本バイパスbはあまりにも悲菘な見気任。現実には日本の噞ではクルマは咾い掘も咾い任。日本は、顧客との長期的な関係を構築していますので、~単に別の供給ルートを見つけるのはMしいでしょう。今vの震uからの復興には魔法はありません。地Oに顧客との関係にRするだけです。
Mたちは日本のv復を称賛しています。例えば、日本にはボランティア100万人のネットワークがあり、日ごろから地震やu害にあった時のための訓aを日本では行っているとWSJLは報じています。そのおかげで常にDった仕組みになっています。盜颪任蝋佑┐蕕譴泙擦。みんなでk緒にこういった訓aはありませんし、}びかける人もいません。

Q6: 中国にはインテルやSTマイクロエレクトロニクス、ハイニックスなどが進出していますが、SEMATECHとして中国の半導業cをどのように見ていますか?
A6: 中国は経済がこれからますます発tしていく国ですね。中国は\術的なT味では]するための国という位けです。ただし、\術という点では中国の\術が_要かとなると疑問があります。中国へ]\術を‥召垢襪里砲魯▲瓮螢国家としてU限(集R:かつてのココムに代わるワッセナール条約によって先端\術を中国には出荷できない)があります。このU約条Pは東欧にもありました。
昨Q、中国を訪問して実際に見ましたが、帷Lの工業団地はとてつもなく広いです。半導を]する屬妊瓮螢奪箸砲覆蠅泙垢、工業団地で半導ビジネスをしている中国人の中には盜颪粒悗靴、そこで職し噞cを経xした経営vがたくさんいました。

Q7: ところで、450mmウェーハのこの1Q間の進捗X況について教えてください。
A7: この1Q間、ISMIはHくのサプライヤに勇気づけられてきました。1Qiはもっとネガティブな考えが咾ったと思います。6Qiからこの仕にタッチしてきましたが、450mmへの動きは加]していると思います。2011Qに1000の単T晶シリコンをP入します。日本からのシリコンです。
このテストウェーハ(集室R:SEMIで定Iしているテストウェーハとは違い、h価のウェーハとISMIでは定Iしている)を最初のアルファ機としての450mm官CVDやメトロロジー検hでh価するために使います。今や450mmのサプライヤとして材料メーカーに加え、メーカーも参加したことになります。

Q8: 誰が450mmの研|開発コストをeつのですか?
A8: それが問のkつです。業cの共通認識となっている研|開発を作り出すための問点なのです。ただし、研|開発を組E化するためにプロジェクトに関心のある企業とk緒に科なリソースを使って研|開発組Eを作ることになります。
とはいってもコストが膨jにかかるため、バランスがj切でしょう。つまり、デバイスメーカーとメーカー、行Bがkとなって研|開発を進めるべきでしょうね。

Q9: これまで450mmウェーハを推進してきたメーカーは、インテル、サムスン、TSMCの3社です。メンバーは\えますか?
A9: このプログラムにこの1Q間で3社以屬離妊丱ぅ好瓠璽ーに加わるように薦める画です。メーカーにとっては財X況が厳しくなっていますから6ヵ月以屬けてTbを出すのだと思います。
300mmウェーハの最初のは1994Qでしたが、当時は常に高価でした。ラーニングカーブによって価格は指数関数的に下がってきました。450mmウェーハはまだ高価ですが、\術的なバリヤーはありません。300mmと同様に時間と共にコストは下がってくるでしょう。450mmウェーハの\術は300mmの\術をベースにします。

Q10: 450mmの量はいつ頃になりそうですか?
A10: 最初に導入する企業は、ISMIのメンバーでしょう。おそらく2015Qごろに量されると思います。その`Yに向けて実に進歩しています。
今は世cQ地にパイロットラインをeっています。例えば、ニューヨークΕ▲襯丱法爾任、ナノスケールエンジニアリング施設に最初のh価のを設しました。SEMATECHはプロセスのインテグレーションを行いません。また、プラズマCVDのは日本にあります。メーカーの研|開発施設にいています。ウェーハ浄は盜颪いています。
こういった連携では、ISMIがウェーハをP入しバンクに管理しておき、そのウェーハをプラズマCVD処理したい場合は日本で行い、そのチェックも日本でし、浄は盜颪坊eってくる、というlです。グローバルなパイロットラインが今、構築されているのです。その狙いは、ビル管理コストなどのw定Jの削です。

Q11: 参加メンバーは、]プロセス関係以外の企業らも募っていますね。昨Qはファブレス半導のクアルコム社がメンバーになりました。他のメンバーはいかがでしょうか?
A11: 湾のASE社は3次元ICを開発しており、メンバーになるように努してきましたが、今のところはまだ興味をeっているだけにとどまっています。他のプログラムでは例えばEUVレジスト関係は参加企業がもっとHいです。SEMATECHとしては、もっと広くメンバーを募っていきたいと思っています。

(2011/04/18)
ごT見・ご感[
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