半導��の���]拠点はアジア�諒人里縫轡侫函△世�ら日本とアジアに�R��
Scott Kramer��、SEMATECHインターナショナルオペレーションズ担当VP
昨�Qまで450mmウェーハの���]����・プロセスなど立ち�屬欧��R��してきた�殀焼���コンソーシアムSEMATECHのISMI責任�vのScott Kramer��が今度は、アジア�諒人涼篭茲寮嫻でvに��任した。SEMATECHがアジア�諒人里卜�を入れる狙いは何か。同��に聞いた。
図 SEMATECH International Operations担当VP Scott Kramer��
Q1（セミコンポータル）: これまでISMI（International SEMATECH Manufacturing Initiative） SEMATECHのリーダーとして、450mmウェーハの立ち�屬欧寮萋�を立ってこられましたが、このほどSEMATECHのアジア�諒人涼楼茲寮嫻でvに��任されました。その経緯について教えてください。
A1（SEMATECHインターナショナルオペレーションズ担当VP Scott Kramer��）: SEMATECH����に関してビジネスニーズを内�陲乃��bし、そのニーズのプライオリティ（優先順�M）を��けました。その�T果、最優先課��はアジア�諒人里世蹐Δ箸いΔ海箸砲覆蠅泙靴�。そして、International Operations�靆腓鯲�ち�屬欧泙靴�。SEMATECHはアジアでは、日本のセミコンポータルにオフィスがあり、��湾の新�腓砲皀�フィスがあります。�f国はレップオフィスです。
SEMATECHは半導��の���]をメインテーマとする半導��コンソーシアムです。最�Zの���]拠点の�Hくはアジア�諒人里砲△蠅泙�。だからISMIの成長とアジア�諒人涼篭茲糧��tと同期しています。7�Q�iに設立したISMIには日本のパナソニックが最初に参加し、��いてルネサステクノロジ、NECエレクトロニクスが加わりました。アジアではTSMCやサムスンも参加しました。
Q2: 450mmウェーハ普及のための仕��はもうやめてしまうのですか？
A2: いえ、アドバイザとして��けます。ISMIを設立したのも�O分ですから、ISMIのコンサルタントとして450mmウェーハ普及のサポートもいたします。
Q3: 今はどこを��動拠点とされていますか？
A3: テキサス�Ε�ースチン�Z郊にある�O�瓩鬟曄璽爛�フィスとして使い、週の50%をここで仕��をし、ニューヨーク�Ε▲襯丱法爾�25%、アジア�諒人里悗僚伉イ�25%、という仕��の割合です。
Q4: 東日本�j震�uによって�盜饐噞�cはどのような影�xを�pけていますか？
A4: 震�uはとても悲しい出来��でした。�盜饅j統�襪脇�本とアメリカは�甘�な立場の同盟国であることを日本の菅総理と�Bし、すぐさま兵を送り協��しました。しかし、�盜颪離瓮妊�アは��して��確に伝えていませんでした。この震�uが�噞�cに及ぼす影�xを理解するにはもっと時間がかかると思います。
半導��業�cにとって当�Cの課��はサプライチェーンです��震�u後の3月17日に�f国を訪問していましたが、�f国企業はシリコンの供給�ξ�について�Mに聞いてきました。世�cのサプライチェーンの中で日本����はとても�_要な役割を果たしています。複雑な世�cのサプライチェーンの中で日本��の����も材料も�_要です。
ウォールストリートジャーナル（WSJ）�Lによると、トヨタやフォード、GMなど�盜颪��O動�Z�噞と����サプライヤとの関係について解説していましたが、その中でサプライヤとしてのルネサスエレクトロニクスの�@�iが出てきました。�k般的な�盜饋佑魯襯優汽垢��@�iを�瑤蠅泙擦鵑里�、���@度向�屬砲呂覆辰燭隼廚い泙后��盜饋佑隆屬任脇�本のメーカーとして東��のブランドは�~�@ですが、�c�攀×_で�瑤蕕譴討い襪世韻�、半導��企業の�@�iなどは�瑤蠅泙擦�。インテルだけはパソコンの�x伝を通して�瑤蕕譴討い泙垢�、TIやフリースケールさえ�瑤蕕譴討い泙擦�。
Q5: 震�u後には日本の����供給が�Mしくなってきたため、�盜颪脇�本をパスしてアジアや中国に直接行くのではないかという心配している経営�vもいます。
A5: �盜颪�ら見ると日本は、�f国や��湾、中国に�Zい位��にいます。�盜颪離妊丱ぅ好瓠璽�ーは日本の�v復��を高く�h価しており、顧客との信頼関係を尊�wしています。日本バイパス�bはあまりにも悲�菘�な見�気任后８充造砲脇�本の�噞ではクルマは�咾い掘�����も�咾い任后Ｆ�本は、顧客との長期的な関係を構築していますので、�~単に別の供給ルートを見つけるのは�Mしいでしょう。今�vの震�uからの復興には魔法はありません。地�Oに顧客との関係に�R��するだけです。
�Mたちは日本の�v復��を称賛しています。例えば、日本にはボランティア100万人のネットワークがあり、日ごろから地震や�u害にあった時のための訓�aを日本では行っているとWSJ�Lは報じています。そのおかげで��常に�Dった仕組みになっています。�盜颪任蝋佑┐蕕譴泙擦�。みんなで�k緒にこういった訓�aはありませんし、�}びかける人もいません。
Q6: 中国にはインテルやSTマイクロエレクトロニクス、ハイニックスなどが進出していますが、SEMATECHとして中国の半導��業�cをどのように見ていますか？
A6: 中国は経済がこれからますます発�tしていく国ですね。中国は�\術的な�T味では���]するための国という位����けです。ただし、�\術という点では中国の�\術が�_要かとなると疑問があります。中国へ���]�\術を�‥召垢襪里砲魯▲瓮螢�国家として�U限（��集���R：かつてのココムに代わるワッセナール条約によって先端�\術を中国には出荷できない）があります。この�U約条�Pは東欧にもありました。
昨�Q、中国を訪問して実際に見ましたが、�帷Lの工業団地はとてつもなく広いです。半導��を���]する�屬妊瓮螢奪箸砲覆蠅泙垢�、工業団地で半導��ビジネスをしている中国人の中には�盜颪��粒悗靴�、そこで��職し�噞�cを経�xした経営�vがたくさんいました。
Q7: ところで、450mmウェーハのこの1�Q間の進捗�X況について教えてください。
A7: この1�Q間、ISMIは�Hくのサプライヤに勇気づけられてきました。1�Q�iはもっとネガティブな考えが�咾�ったと思います。6�Q�iからこの仕��にタッチしてきましたが、450mmへの動きは加�]していると思います。2011�Qに1000��の単�T晶シリコンを�P入します。日本からのシリコンです。
このテストウェーハ（��集室�R：SEMIで定�Iしているテストウェーハとは違い、�����h価��のウェーハとISMIでは定�Iしている）を最初のアルファ機としての450mm�官�CVD����やメトロロジー検�h����で�h価するために使います。今や450mmのサプライヤとして材料メーカーに加え、����メーカーも参加したことになります。
Q8: 誰が450mmの研�|開発コストを�eつのですか？
A8: それが問��の�kつです。業�cの共通認識となっている研�|開発を作り出すための問��点なのです。ただし、研�|開発を組�E化するためにプロジェクトに関心のある企業と�k緒に�科�なリソースを使って研�|開発組�Eを作ることになります。
とはいってもコストが膨�jにかかるため、バランスが�j切でしょう。つまり、デバイスメーカーと����メーカー、行���Bが�k��となって研�|開発を進めるべきでしょうね。
Q9: これまで450mmウェーハを推進してきたメーカーは、インテル、サムスン、TSMCの3社です。メンバーは�\えますか？
A9: このプログラムにこの1�Q間で3社以�屬離妊丱ぅ好瓠璽�ーに加わるように薦める��画です。メーカーにとっては財���X況が厳しくなっていますから6ヵ月以�屬�けて�T�bを出すのだと思います。
300mmウェーハの最初の����は1994�Qでしたが、当時は��常に高価でした。ラーニングカーブによって価格は指数関数的に下がってきました。450mmウェーハはまだ高価ですが、�\術的なバリヤーはありません。300mmと同様に時間と共にコストは下がってくるでしょう。450mmウェーハの�\術は300mmの�\術をベースにします。
Q10: 450mmの量��はいつ頃になりそうですか？
A10: 最初に導入する企業は、ISMIのメンバーでしょう。おそらく2015�Qごろに量��されると思います。その�`�Yに向けて��実に進歩しています。
今は世�c�Q地にパイロットラインを�eっています。例えば、ニューヨーク�Ε▲襯丱法爾任蓮▲淵離好院璽襯┘鵐献縫▲螢鵐飴楡澆忘能蕕��h価��の����を設��しました。SEMATECHはプロセスのインテグレーションを行いません。また、プラズマCVDの����は日本にあります。����メーカーの研�|開発施設に��いています。ウェーハ��浄����は�盜颪���いています。
こういった連携では、ISMIがウェーハを�P入しバンクに管理しておき、そのウェーハをプラズマCVD処理したい場合は日本で行い、そのチェックも日本でし、��浄は�盜颪坊eってくる、という�lです。グローバルなパイロットラインが今、構築されているのです。その狙いは、ビル管理コストなどの�w定�Jの削��です。
Q11: 参加メンバーは、���]プロセス関係以外の企業らも募っていますね。昨�Qはファブレス半導��のクアルコム社がメンバーになりました。他のメンバーはいかがでしょうか？
A11: ��湾のASE社は3次元ICを開発しており、メンバーになるように努��してきましたが、今のところはまだ興味を�eっているだけにとどまっています。他のプログラムでは例えばEUVレジスト関係は参加企業がもっと�Hいです。SEMATECHとしては、もっと広くメンバーを募っていきたいと思っています。
