嬸亨がこれからの腮嘿プロセスのカギを愛る
コバレントマテリアル 洛山艱涅舔家墓 貫懷扛會
澎記セラミックスが澎記の簇息柴家から迫惟し、家嘆もコバレントマテリアルと恃えて染鉗が沸冊した。コバレントを苞っ磨るリ〖ダ〖の貫懷扛會は、かつて澎記染瞥攣グル〖プのエリ〖トエンジニアであった。澎記の染瞥攣グル〖プから澎記セラミックスへ2004鉗6奉に啪叫した票會が、澎記へ侍れを桂げ、コバレントになって塑碰の罷蹋での迫惟を蔡たした。この稿、コバレントをどのようにして苞っ磨っていくのか。その緘嫌が活される。輩面の貫懷扛洛山艱涅舔家墓にそのかじ艱りについて使いた。
Q∈吶拍氟企 セミコンポ〖タル試礁墓∷¨貫懷さんは澎記の懼朗撅壇から澎記セラミックスの家墓になりました。澎記グル〖プにいる蘋を嘉て、澎記から迫惟する蘋を聯んだ妄統はなぜでしょうか。
A∈貫懷扛 コバレントマテリアル洛山艱涅舔家墓∷¨まず、コバレントの度烙を斧ていただきたい。驕度鎊の眶を籠さないまま、4鉗謄にして卿り懼げは2擒、網弊は10擒に籠えました。1鉗謄はほとんど樂機に奪い覺輪でした。海や網弊唯は10%奪くにまで茫しました。
この度烙を茫喇するために茂かが鏈く糠しい禱窖や瀾墑を倡券したわけではありません。もともと家鎊が積っていたエネルギ〖や禱窖をベ〖スにして、柴家の數羹を年めただけなのです。やるべきことをみんなで瘋めました。
さらにもう辦殊黎に僻み叫そうとすると、どうしてもぶつかる噬がありました。つまり、極尸たちの瀾墑や禱窖撾拌をもっと極統に絡美に瘋めるのに擴腆がありました。客禍や寥駿の侯り數、擴刨懼ˇ衡壇懼の啼瑪です。另圭排怠のような絡措度では、グル〖プ鏈攣を呵努步するために件收の簇息柴家が稻婪になることがあります。コバレントは憚滔を納滇する柴家ではありませんが、極尸たちが極尸たちで瘋めて喇墓したいという丹積ちが動いのです。
Q¨では、どのような尸填で喇墓していくのですか。
A¨もともと泣塑は燎亨が動いのですが、アセンブリや燎亨ビジネスではエントリレベルのバリヤ〖が你いです。バリヤ〖の你い瀾墑は面柜などの券鷗龐懼柜が侯ります。諱たちが緘齒けるのはアドバンストセラミックスです。ここは徊掐バリヤ〖が光いため、諱たちの潑魔を欄かせます。セラミック亨瘟を蝕攣にしてバインダを寒ぜ、喇妨、酒喇、山燙借妄、崔炕、瓤炳、付灰レベルでの磨り圭わせなどさまざまな禱窖プロセスを奶ります。
染瞥攣羹けのセラミックなら姐步という侯度が掐ります。光補で借妄したり光腔刨ガスを蝗ったり、あるいは錯副なガスを胺ったり、そのための劉彌も繞脫のものは警ないです。ないないづくしの寥み圭わせとして、黎眉燎亨緩度が喇り惟っています。錄拍瀾侯疥やTDKなどの黎眉嬸墑メ〖カ〖も票じです。
コバレントは染瞥攣瀾隴劉彌の面に蝗う嬸亨を胺います。この嬸亨こそがブラックボックスで、ノウハウが澀妥なのです。ウェ〖ハ懼に萎すガスの鹼梧や萎翁、ウェ〖ハを毀えるサセプタの濕拉などをいろいろ寥み圭わせて侯ります。シリコンを喇墓させるための惜は驕丸佬毖で侯っていましたが、牢CMOSのウエル妨喇脫に1200☆という光補でSiウェ〖ハを橙歡借妄しようとすると、佬毖チュ〖ブがもはや卵えられなくなりました。そこで突爬の光いSiC瀾のチュ〖ブを侯ることにしました。しかし、ウエルの妨喇で墓箕粗橙歡していくとSiウェ〖ハには姥霖風促ができました。SiCの姐刨が礙かったからです。そこで賓煥パ〖ジや山燙コ〖ティングなど、SiCの姐刨を懼げたり、稍姐濕を庶叫したりしないように廟蝸しました。
碰箕の澎記セラミックスのエンジニアは絡恃な鵝汐をしたと蛔いますが、SiCを侯るようになり介めて絡庚仿步や光補借妄などボ〖トのノウハウが眠姥してきました。墑劑の庭れたボ〖トを侯ることが墑劑の庭れたSiウェ〖ハを侯ることにつながります。ウェ〖ハの怠常弄動刨や山燙の馮窘拉は、ボ〖ト極咳の錢四磨犯眶のほんのわずかな般いによっても燼が掐るなどウェ〖ハが恃步します。サセプタも票屯です。嘿かい山燙の妨覺やセラミックの緯刨の呵努步に豈しさがあります。山燙がつるつるしているとウェ〖ハがくっつきます。もちろん、ざらざらしすぎてもウェ〖ハに燼が掐ります。どの鎳刨の緯刨が呵努なのか、斧端めることが潤撅に豈しいのです。嬸亨1改1改がノウハウの摻になっています。
劉彌柒を靠鄂覺輪から撅暗に提すときに蝗うブレ〖クフィルタにもノウハウが低まっています。靠鄂を撬る箕にガスの彌垂が乖われています。そのたびに約が神うわけです。ゆっくり靠鄂を撬ればホコリは券欄しにくいでしょうが、スル〖プットは皖ちます。嘲からダストを掐れずに堆辦にリ〖クさせる澀妥があります。そこで、フィルタとして蝗う驢功劑セラミックの逢の絡きさや泰刨などを呵努步するわけです。
Q:いろいろな瀾墑を侯られているようですが、コアコンピタンスともいうべき撾拌をどこに滇めていますか。
A¨染瞥攣に即顱を彌き、件收を弓げていきます。染瞥攣ウェ〖ハのステ〖ジに蝗っている嬸亨を緩度脫にも弓げていけます。板聞脫の客供裹などもポ〖ラスな菇隴は染瞥攣脫のセラミックとよく擊ています。
ただし、面看はやはり染瞥攣羹けです。染瞥攣の輝眷の凱びよりも諱たちの措度は凱びています。糠しい供眷ができれば糠しい劉彌や嬸亨が掐ります。さらに肥丹さえよければ、糠供眷ができなくてもどんどん久套嬸亨が攙ります。裁えて、染瞥攣メ〖カ〖がクリティカルな瀾隴をやればやるほど、絡禍をとって嬸亨を裳人に艱り垂えます。だから、染瞥攣輝眷の凱びよりも嬸亨の凱びのほうが絡きくなるのです。
裁えて、貸賂の惜の面が渴步しないとウェ〖ハの腮嘿步灤炳ができなくなります。SiCのボ〖トは300mmの貸賂のラインで佬毖からどんどん彌き垂えられています。200mmも票屯な飯羹がありますが、200mmでは猛檬の啼瑪になります。200mmだと佬毖でも灤炳できますが、300mmはSiCがマストです。
Q¨300mmウェ〖ハの黎にある300mmプライムに灤してはどのように灤炳されていきますか。
A¨JEITAの捏咐は、塑劑をついているものがあります。4超霖からなる超霖弄なファブのコントロ〖ルで雇えてみようとしています。
呵懼の超霖は、琵圭プロセスであり、毋えば煥步遂更の盧年に簇犯します。これは劉彌粗にまたがって辦年のパラメ〖タをコントロ〖ルしていけばよいので灤炳できます。
2戎謄の超霖は、毋えばエッチングレ〖トは劉彌柒の叫丸鄙えによるという山附をしています。エッチレ〖トの面看猛だけではなく、バラつきも崔むため、モデル步することが豈しいのです。エッチングレ〖トをコントロ〖ルし、その浩附拉を雇えると、嬸亨の覺輪は恃步していないか、を雇胃する澀妥があります。
3戎謄の超霖は、劉彌を瓢かすためのパラメ〖タです。ガスの萎翁や浩附拉ですので、パラメトリックな瓷妄をすればいいわけです。ただし、インタ〖フェ〖スの啼瑪は荒ります。
4戎謄の超霖は、劉彌を瓢かすパラメ〖タが籃刨よく瓷妄されているかどうかをチェックします。しかし、萎翁紛のような紛達が慨完できるかどうか、劉彌のメンテナンスに簇わります。
この面で諱たちにとって呵も恬拆なのは2戎謄の劉彌柒の叫丸鄙え瓷妄です。劉彌やデバイス、嬸亨のメ〖カ〖3家が定蝸しなければ豺瘋できません。劉彌メ〖カ〖とデバイスメ〖カ〖だけでは、プレ〖トやボ〖トなどの嬸亨について廈が卻けてしまいます。毋えばサセプタは劉彌粗でバラついてはいけません。悸狠にプロセスを寥み惟てていく眷圭には劉彌と劉彌の掘鳳を圍廬するのが嬸亨ではないでしょうか。もしサセプタの錢弄な堆辦拉を瘦てという妥滇がきたとしましょう。錢帕瞥唯に簇しては、サセプタの錢はどこから氓われ、錢はどこから丁惦され、錢はどこへ屁げるのか、など悸狠のプロセス掘鳳を痰渾しては胳れません。裁えて、怠常弄な籃刨や圭喇、各の瓤紀などの潑拉妥滇も丸ます。部よりもダストの欄喇は氦ります。それもウェ〖ハと護れ圭うのではなく、柒嬸の怠菇嬸墑票晃が券欄させることもあります。錢やガス、補刨など嬸亨のパラメ〖タがからんできます。ボ〖トでは、ほんのわずかな錢四磨犯眶の般いなのに、懼に很っているウェ〖ハにホコリが慣りかかり、わずかの燼が掐り、ついた燼がウェ〖ハに風促を掐れるということも彈きます。 ですから3莢のコラボレ〖ションが澀妥なのです。
Q¨Siウェ〖ハビジネスそのものは、どのような里維で慨臂染瞥攣やSUMCOなどの絡緘と頂凌していくつもりですか。
A¨コバレントの動みはアニ〖ルウェ〖ハです。ウェ〖ハ馮窘絡緘は、毋えばニアパ〖フェクト馮窘と疚している瀾墑に灤して、アニ〖ルウェ〖ハはゲッタリング霖を積つ、スル〖プットが光い、などの潑墓を積っています。アニ〖ルウェ〖ハは、士酬な山燙妨覺、窗鏈馮窘の寵拉霖、稍姐濕を梳らえて委め哈むゲッタリング霖、そして怠常弄な動刨を瘦つための答饒拜積霖からなります。
叫券亨瘟としての欄のウェ〖ハがどんなに窗鏈な馮窘だとしても、染瞥攣瀾隴プロセスではさまざまな錢供鎳を奶冊します。これによって山燙霖が恃步したり、痰風促霖∈denuded zone∷が恃わったりします。諱たちはシミュレ〖ションによってその屯灰をユ〖ザ〖に潦えています。錢旺悟を呵介から呵努步したアニ〖ルウェ〖ハは悸狠のプロセスには銅網だと斧ています。
辦數、エピタキシャルウェ〖ハは、これまでCMOSのラッチアップを攙閏する緘檬として脫いられてきましたが、肋紛禱窖が渴んできたため肋紛でラッチアップを攙閏できるようになって丸ました。もともとエピウェ〖ハは擦呈が光いため、ラッチアップ灤忽でエピウェ〖ハを蝗うのならもはやそのメリットはないと雇えています。それでも妥滇があれば、エピウェ〖ハを丁惦します。
コバレントは、絡緘とは般い、錢旺悟を雇胃して呵努步したアニ〖ルウェ〖ハを20×30綏欄緩するビジネスを乖っております。
悸はこのアニ〖ルウェ〖ハビジネスに裁え、アニ〖ル惜に蝗う惜磕瓷やボ〖トなどもビジネスにしているため、アニ〖ルウェ〖ハのすべてを夢っているという動みがあります。コバレントにはセラミック禱窖莢、帽馮窘禱窖莢、デバイス禱窖莢などの禱窖莢礁媚ですから、それぞれのノウハウを積ち大っているという動みがあります。
Q¨パワ〖エレクトロニクスや潑檢茨董デバイス脫のウェ〖ハとして廟謄されているSiCウェ〖ハにはどのようにアプロ〖チしていますか々
A¨呵奪、糠泣糯が100mmのSiC帽馮窘ウェ〖ハを倡券したと券山しましたが、諱たちはヘテロエピタキシャル喇墓によるSiC帽馮窘を捏丁しています。Si答饒懼にSiCやGaNなどの馮窘を喇墓させています。濫咖LEDやレ〖ザ〖などの各デバイスや、光卵暗パワ〖デバイス、光件僑デバイスなどの脫龐がありますが、諱たちはパワ〖と光件僑に羹けています。
澎記が券山しているSiCデバイスはコバレントのウェ〖ハを蝗っています。SiCビジネスはスル〖プットを懼げて、コストを布げなければ喇り惟ちません。海はMOCVD∈銅怠垛擄を蝗った步池弄丹陵喇墓禱窖∷で馮窘喇墓させている覺輪ですからコストはまだ光いです。リ〖ク排萎や卵暗のレベルもまだ濕顱りない覺輪です。
Q¨シリコンウェ〖ハやポリシリコンを侯るためには排蝸コストがかかります。なぜ排蝸コストの光い泣塑で侯るのですか々
A¨セラミックやウェ〖ハの瀾隴には四絡な排蝸を蝗いますが、そのほかに垮や賓燎ガスも澀妥です。排蝸がただ票臉の面澎で侯るとしても、これらのインフラが郊悸しているかどうかが啼瑪でしょう。
排蝸コストを布げるためには毋えば、シリコンプロセス脫の光刨なセラミック瀾墑を侯っている、懷妨俯の井柜禍度疥では極尸たちの垮蝸券排疥を積ち、券排怠で排蝸を嚇っています。諱たちでダムを瓷妄して、2答の券排怠を灑えています。ただし、戮の禍度疥では殘蝸とコジェネを蝗っているため付聽コストの懼競は讀きます。
Q¨コバレント∈covalent∷はシリコンなど4擦の染瞥攣を據魔する鼎銅馮圭∈コバレントˇボンド∷からきています。シリコンやSiCなどはまさに鼎銅馮圭です。馮窘池弄に奧年な鼎銅馮圭を網脫する染瞥攣の撥蘋を乖く措度だというイメ〖ジがありますが、どうやってこの嘆漣を燒けたのですか。
A¨鏈家弄に淑礁し、みんなで瘋めました。みんなで定蝸してビジネスを渴めていくという罷蹋もコバレントには崔まれています。まさにコバレントです。
