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南�陝〕Χd��、株式会社��原��作所　営業統括�陬沺璽吋謄�ンググループ長

半導�����]����に使うポンプや排ガス処理����、CMP����などを���]する��原��作所。これまでの実績から、��て省エネや低消�J電��などを�{求してきた。その最新の�eをセミコンジャパンで見せた。同社の狙いを聞いた。(動画あり)。