10nmの閉炕劉彌からIoT灤炳怠まで×セミコンジャパン2015潑侍インタビュ〖
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呵黎眉腮嘿步溪各禱窖を緬悸に渴めているニコンは、附哼翁緩の呵黎眉の16/14nmノ〖ドから10nm、さらには7nmへ廄爬が敗ってきている。マルチパタ〖ニングにより茫喇する條だが、頂圭するEUVは瞥掐がのびのびになっている。ArF閉炕溪各劉彌を倡券してきたニコンは部を潦滇するのか、票家染瞥攣劉彌トップの竅惟撅壇に使いた。(瓢茶あり)
箕洛は、More than Mooreのように腮嘿步を納滇するだけではなく、IoTや200mmのような劉彌への妥滇も動(dòng)まっている。ニコンはIoTへの灤炳をどう裁えているのか、についても磺った。∈唬逼は2015鉗12奉∷
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- Dan Tracy SEMI Industry Research & Statistics嬸嚏シニアディレクタ
(2016/01/22)


