エッチングなどのインサイチュモニタ〖材墻な劑翁尸老達をAtonarpが券卿
澎疊に塑家を彌き、シリコンバレ〖に寵瓢の凋爬を彌くスタ〖トアップのAtonarp家が染瞥攣瀾隴劉彌のインサイチュˇモニタリング羹けの井房劑翁尸老達をリリ〖スした。染瞥攣瀾隴劉彌のチャンバ柒でエッチングやデポジション箕のプロセスガスの尸老ができると鼎にリアルタイムで尸老攫鼠をフィ〖ドバックできる。いわばスマ〖ト瀾隴の答塑禱窖の辦つになりうる。
哭1 Atonarp家の井房劑翁尸老紛Aston 叫諾¨Atonarp家
スマ〖ト瀾隴、あるいは瀾隴におけるデジタルトランスフォメ〗ション∈DX∷がさまざまな瀾隴附眷で滇められている。欄緩跟唯を光めるためだ。染瞥攣瀾隴でもDXによる瀾隴の殊偽まりや欄緩跟唯の羹懼は、コスト猴負の銅蝸な緘檬になりうる。その辦つが、瀾隴劉彌の附箕爬での覺斗∈劉彌の夫汞殼們∷の悄愛による瀾隴掘鳳の呵努步である。
毋えば、エッチングや孿姥するための瀾隴劉彌では、プラズマで券欄した濕劑がチャンバの噬に燒緬したり猴られたりすることで、ウェ〖ハ粗のバラつきが欄じてしまうロ〖ディング跟蔡をリアルタイムで松ぐことができるようになる。ウェ〖ハ粗のバラつきやロット∈Foupボックス∷粗のバラつきを負らすことができるようになる。そのためには劉彌柒の≈夫汞覺輪∽をインサイチュで夢る澀妥がある。
染瞥攣プロセスは、潑にFinFETやGAA∈ゲ〖トオ〖ルアラウンド∷菇隴、3D-NANDでの光アスペクト孺など剩花になってきていると鼎に腮嘿步が渴むため、井さなばらつきは絡きなプロセス恃瓢となりやすい覺斗にある。そこで呵奪ではEPCO∈Equipment and Process Co-Optimization¨劉彌とプロセスの定拇呵努步∷が滇められ、より籃泰な盧年ツ〖ルとインサイチュˇモニタリングが腳妥になっているという。
そのためには、AI∈怠常池漿∷を蝗って悸狠のデ〖タと怠常池漿モデルの掐叫蝸デ〖タとの陵簇を滇める澀妥がある。悸デ〖タはインサイチュで艱評し、AIによる尸老はクラウドベ〖スで乖うことでこれからのDXを蝗った染瞥攣プロセスの呵努步を哭れるという。
海攙、Atonarp家の井房劑翁尸老達Aston∈哭2∷は、瀾隴劉彌柒のチャンバ柒で券欄している濕劑をインサイチュで浮叫ˇ尸老する劉彌である。濕劑を尸老することで、毋えばエッチングでの姜爬浮叫やチャンバ柒のリ〖クの浮叫、翁緩漣の拇臘などができるようになる。劑翁尸老の答塑は、煌腳端アナライザ數及だが、庶排裁供禱窖を蝗って列妒俐の妒燙を灑えた排端を蝗い、イオンを艱り叫すことに吭きる。
哭2 劑翁尸老達Astonのカギは、プラズマイオン步禱窖と極甘クリ〖ニング禱窖 叫諾¨Atonarp
驕丸の劑翁尸老達だと、エッチング供鎳では浮叫達のチャンバ柒のフィラメントが瓤炳拉の光いエッチングガス(NF3やCF4、Cl2など)によって昔步し檻炭が沒くなるが、Astonでは、プラズマを網脫してイオン步する禱窖を倡券、フィラメントを蝗わずに貉ませた。ここでは、浮叫すべき濕劑をRF攙烯で慷瓢させ、尸灰慷瓢と鼎棠させることでイオン步させたとしている。
さらに、ReGenと鈣ぶ極咳でクリ〖ニングする禱窖も瞥掐した。ReGenは、チャンバ柒に孿姥した瓤炳濕を艱り近くためのプラズマイオンを券欄する。これら企つの禱窖を蝗って、センサの炊刨をMTBC∈Mean Time Between Cleans∷で眶紗箕粗も皖とさずに瓢侯させることに喇根したという。
票家には、シリコンバレ〖のVC∈ベンチャ〖キャピタル∷だけでなく、泣塑のINCJ∈緩度匙糠怠菇∷やライフサイエンスのニプロ、垛突のSBIホ〖ルディングス、概蠶排供なども叫獲している。廟蝸する瀾墑は、この染瞥攣瀾隴羹け劑翁尸老達と、ライフサイエンス羹けの各池及尸各尸老達の企つである。このほど5000它ドルの獲垛拇茫シリ〖ズD懲評に喇根し、圭紛1帛1000它ドルの叫獲になった。料度莢であり家墓敷CEOのPrakash Murthy會は澎疊哼交というユニ〖クなスタ〖トアップ措度である。
