オランダのDENS、�T晶成長をリアルタイムで�荵，垢襯帖璽�
オランダと言えば、国営�j(lu┛)企業フィリップスがエレクトロニクスをけん引してきた国、というイメージが��(d┛ng)い。しかし、そのフィリップスから完��独立して�擇泙譴�ASMLの��(sh┫)が今や企業��模はフィリップスよりも�j(lu┛)きい。このほどナノテク訪問団がやってきた。ナノテクに�瓦垢誅��Bの�@金は、��GDP比で0.04%と他の国よりも�j(lu┛)きい。
図1 ナノテクでベンチャーを�擇濬个靴�NanoNextNLプロジェクト 出�Z：NanoNextNL
オランダは、NanoNextNLプロジェクトを2011�Qに立ち�屬押∈ｃQ終える(図1)。ナノテクを使う10のメインテーマに28プログラムがあり、114機関のパートナーシップを�Tんできた。エレクトロニクスでは、ムーアの法�Г寮茵▲淵虜猯繊▲丱ぅ�ナノ、ナノ���]、センサ&アクチュエータ、リスク分析＆�\術�h価などのテーマがあり、エレクトロニクス以外でも、エネルギーやナノ医��、クリーンな水、食料、というテーマがあった。水や食料はさすが食料�楾颯�ランダならではのテーマだ。
オランダにはTNO（応��科学研�|機構）という組�Eが古くからあり、科学�\術関係の�j(lu┛)学と�噞�cの間をつなぐという役割を�eつ。ナノテク材料���]�\術の�kつALD（Atomic Layer Deposition）����やX線分析����、リアルタイムTEM（透��(c┬)型電子顕微��(d┣)）、フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス、バイオコーティング、ナノインプリント、フォトニクス、�~機ELの3次元シミュレータ、単�k量子センサ、ナノコーティング、ナノパーティクルコーティングなどを扱う企業やHolst Centre研�|所などが今�v来日した。
例として、イノベーティブな�\術を�eつ企業の�kつDENS Solutionsを紹介しよう。この会社は、�~�@理�U�j(lu┛)学の�kつDelft�j(lu┛)学からスピンオフして2012�Qに設立されたベンチャー。リアルタイムで�T晶成長や薄膜の成長を�荵，任�るin-situ TEMを�莟Rするための冶�困�?y┐n)��]するメーカーだ。導入先の60%は�j(lu┛)学、30%が研�|所、残りの10%が企業という。TEMそのものは日本電子（JEOL）��を�W(w┌ng)��する。
DENS社の����は、薄く削った試料を加�X(qi│n)して微��的に何がどう変わっていくかをリアルタイムで�荵，垢襪燭瓩離帖璽諳k式である。金�錣箙膓癲▲札薀潺奪�スなどが�a(b┳)度と共に成長していく様を�荵，垢襦Ｎ磴┐弌�二つの材料が合成されていく��(c┬)��や、微��的構�]が�a(b┳)度と共に変化していく、あるいはフェーズが突��の変化を��こす、というような��(c┬)��をリアルタイムで�荵，垢襦�これによって�a(b┳)度と共に�T晶が�W定していく様子や、あるいはその逆に崩れていく様子を�荵，任�る。バイアスをかけることもできる。
同社は4つの����を開発してきた。加�X(qi│n)��冶�困�wildfire、バイアスをかけながらの加�X(qi│n)冶�困�lightning、ガスを流しながらの加�X(qi│n)冶�困�Climate、�]��の�莟R冶�困�Oceanというそれぞれの����を提供する。
図2 加�X(qi│n)��(c┬)��をリアルタイムで�荵，垢襪燭瓩量���wildfire
基本となるwildfireの冶�困砲弔い鴇匆陲垢襦�wildfireの基本構成(図2)は、(1)スタンド��に載せた試料ホルダー、(2)試料ホルダーに載せ試料を直接のせるナノチップ、(3)加�X(qi│n)�U(ku┛)御ボックス、そして(4)�a(b┳)度や内�陲��荵，垢襪燭瓩離愁侫�Digiheaterをインストールしたパソコンからなる。試料ホルダーをTEMに入れ、その先に試料を載せ、電子ビームを照�o(j━)しながらその透��(c┬)�気鮓�る。試料ホルダーの先端にMEMS�\術で形成したナノチップ(図3)と�}ばれる薄い試料��を載せ、バイアスをかけられるような電極を�eつ。
図3 小さな試料��ナノチップは数�懐|類ある
導入例として、英Cambridge�j(lu┛)学がソーラーセル��のペロブスカイト構�]の����が劣化育様子を�荵，靴討い襦�Wildwire S3冶�困鮖箸ぁ�50℃から200℃に渡り、暗��野TEMで�荵，靴討い襦�その�T果、ペロブスカイト層が劣化し、小さなPdI2の��子が形成されていく様子を見ることができた。
