Infineonの完���O動化200mmラインとパワー半導����300mmラインを見た
ドイツのInfineon Technologiesは、パワー半導��向けに300mmウェーハラインをドレスデンに設��し�n働させている。パワー半導��は数量の点ではデジタルやアナログ����に劣るが、そのチップを�j口径化するメリットはやはり低コスト化にある。加えて、人�P�Jの高いドイツでもコスト的に見合う�攵�をするため200mmラインを完���O動化した。
図1 Infineonのドレスデン工場 左の建�颪�300mm、��の二つとその半分の�jきさの建�颪�200mmライン 出�Z：Infineon Technologies
Infineonの量��ラインがあるドレスデンは、オペラハウスや歴史的な建�]�颪列Hい古い莂世�、ハイテク分野ではシリコンザクソニーと�}ばれている。旧東ドイツに�錣靴討い織疋譽好妊鵑魯競�セン地�気砲△襪燭瓩澄�ここには半導��ファウンドリのGobalFoundriesがあり、���]����、���]に��要なガス���]などの�噞も揃っているからでもある。
Infineonはこのドレスデン工場に20�Q間で30億ユーロを投�@してきた。元はQimondaの工場だったが、それを�Aい�Dった。ここに働く社�^数は2000�@、内50%が交���U����だとしている。図1の左端の建屋が300mmラインで、��の��つ(��端は小さい)が200mmラインである。300mmウェーハで�攵�される����は、オン�B�^が低いCoolMOSと�}ばれる�e型パワーMOSFETやIGBTなどの����。CoolMOSは耐圧が600V以�屬塙發い覆�らオン�B�^が��来のMOSFETの1/4〜1/5と小さなパワー-MOSFET。コンピュータの電源やスマホや携帯機�_の電源にも使う。IGBTは、電流が数��A以�屬判jきな電源やインバータなどに使われ、再�擴��Ε┘優襯�ーや電気�O動�Z、工業��のモータドライブなどに組み込まれる。
図2 200mmの完���O動化ラインを走る搬送システム 出�Z：Infineon Technologies
200mmのラインにはほとんど人がいない。メトロロジー���Rのベイやモニターシステムの�iに数人いる��度で、搬送�Uからウェーハの出し入れ、����から����への搬送には人�}を��く介さない。このシステムはInfineonが独�Oに�}を加え実現したものだという。ウェーハはオープンカセットに25��入れられ、�W井の�O動搬送システム（図2）に載せられ、����から����へと�‘阿垢襦ｆ�てのカセットにはRFIDが搭載され、MCS（Material Control System）がそのIDを読み�Dり次の作業工��へと搬送する。搬送コンベアはリニアモーター�擬阿波汰�路の壁に設けられた磁石(図2の�靴��霾�)で動く。この搬送システムは��田機械が作ったモノで、Infineonによるとこの搬送システムの作��を数社に依頼すると、�Hくがしり込みし、��田機械が挑戦すると言ってくれて出来たものだという。搬送コンベアシステムの��長は5kmにも及ぶという。
さて、カセットが����の�Zくに到��すると、�W井からエレベータに載せられ、カセットが集まるカセットステーションに到��する。ロボットアームがカセットを�eち�屬押⊆，�����に行く�iにカセットを並べ��える (図3)。ここでも無人だ。並べ��えられたカセットを今度は、ローディングロボット「HERO�\」(図4)がカセットを�pけ�Dり、����の�iにセットする。このロボットは�oに�aられたレールを認識、それに�pって動く。レールの�iに異�顱⇔磴┐仗祐屬麗Bなどがあると�t座にロボットは停�Vする。�Bをよけるとロボットは再び動き出す。
図3 ウェーハステーションのロボットアームがカセットの行き先を再調�Dする 出�Z：Infineon Technologies
図4 ����の�iでカセットを出し入れするロボット 出�Z：Infineon Technologies
このクリーンルームでは、人はカセットの�X況をモニターで見たり、�U御��の機械をモニターしたりしているだけである。ウェーハは1分間に7万��が動いている。時には、カセットが数時間待ち、他のカセットと同時に処理されることもあるという。ただし、��ぎ、いわゆる������の場合は人が運ぶこともあるとしている。
クリーンルームはクラス1の���Cダウンフロー�擬阿如�基本的に人�}を介さない設��にしている。クリーンルームの湿度や�a度、気圧、ダスト数などの�R定は�k定の場所ではなく、さまざまな場所で行う。そのためのロボットもある（図5)。このロボット「AMOR�\」はパーティクルのサイズも�R定する。�`の�霾�が時々動いて、心の�Nしになる。�R定�T果において、問��があれば�t座に�瑤蕕擦襦�
図5 クリーンルームの�X��をモニターするロボット 出�Z：Infineon Technologies
300mmラインは、基本的にはミニエンバイアロンメントシステムであり、他社のクリーンルームとそれほど�jきな違いはないとしている。クリーンルームの�{浄度はクラス1000であり、密閉したFOUPカセットを�W��する。ここでも��田機械の搬送システムを使っている。このラインでは人が�Zくだと����から����に運べるようになっており、ロボットはそれほどいない。300mmウェーハを25��満載したFOUPの�_さは8.5kgであり、人間が運べる�_量ではある。300mmラインはSEMIスタンダードに�pって作られている。
Infineonのパワー半導��ウェーハは、最後の工��で裏�C研磨して40µm��度に薄く削る。Infineonの300mmラインは、オーストリアのフィラハにもあり、そこはむしろ開発拠点となっている。300mmのラインの構築は2008�Qにフィラハで検討をはじめ、パイロットラインを構築した。ドレスデンでは、2011�Qに300mm量��ラインを完成させた。2014/2015�Q度にも�攵��ξ�を�屬欧襪燭瓩�300mmラインとIGBTに�_点投�@する。
