IMECの売り�屬欧呂困辰���肩�屬�り

IMECの売り�屬欧呂海譴泙任困辰���肩�屬�りでやってきたが、「これは参加パートナー企業による��(d┛ng)いコミットメントによって成長してきたものだ」とバンデンホッフ��(hu━)は言う。設立した1984�Q当時は、ベルギーのフランダース地��(sh┫)���Bが半導��分野を��(d┛ng)化しようという��画を提案していたが、実際に設立に動いたのは��(sh━)国スタンフォード�j(lu┛)学から戻ったロジャー・ヴァンオーバーストレーテン教�bだった。当初は欧�Δ砲�ける半導���噞の��(d┛ng)化が狙いだった。

今はグローバルな半導��企業が参加しているIMECだが、最初からグローバル化を�`指したわけではなかった。設立して5�Q経った1989�Qごろから国際化が始まった。リュック・バンデンホッフ��(hu━)によると、「����メーカーとの関係を密にする��要があったからだ」と言う。その�Qに最初のディープUVステッパのPAS5000を導入した。以来、ラムリサーチや東�Bエレクトロン、ASMLなど、日��(sh━)欧の����メーカーと協��して����を開発してきた。国というよりも半導��企業や�����噞との協��を主眼に��き、IIAP（IMEC Industrial Affiliation Program）という�@のプログラムを進めてきた。�T果的にグローバルな企業が集まってきた。

1999�Q7月、ベルギー　ルーベン�j(lu┛)学のギルバート・デクラーク教�bが、オーバーストレーテン教�bが�|去された後を引き�M(f┬i)ぎCEOとなった。2000�Q�i半は200mmウェーハラインから300mmラインへスケールアップするのにどうしても�H�Yの投�@が��要になった。このためグローバル化を��(d┛ng)め、より�Hくのパートナーシップを��要とした。このようにしてグローバル化が��(d┛ng)化された。2004�Qには300mmのクリーンルームが完成、2006�QにはフルCMOSの研�|開発���U(ku┛)が出来�屬�った。この�T果16nmのCMOSプロセスまで���]可�Δ砲覆辰拭�

2008�Qには��湾の半導��企業と協��するため、IMEC Taiwanを新�膵�業団地に設立した。このオフィスは��湾の半導��メーカーがIMECの研�|開発プログラムを容易にアクセスすることで互いにウィン-ウィンの関係を築くとしている。

これまでのプログラムを総括すると、今も動いているR&Dプログラムが385�P、�j(lu┛)学とのコラボレーションが100�魄��屐▲好團鵐�フで誕�擇靴心覿箸�29社、フランダース地��(sh┫)のパートナーが400社、参加国は60カ国、�擇泙譴晋枌�は4000人、にもなった。

しかし、バンデンホッフ��(hu━)は、「これまでの成功でさえ、未来の成功を保証するものではない」と言い切り、これからの成長戦�Sを�Wいた。IMECは「新しい半導��をベースとするソリューションこそが、ICTやエネルギー分野で��要とされ、21世紀の�j(lu┛)きな問��を解��する」と認識している。�e��可�Δ蔽狼紊鮨靴燭��擇濬个垢燭瓩忘��擴��Δ淵┘優襯�ー源は�g��を要しており、このために消�J電��の削��(f┫)、インテリジェントな輸送�}段や通信�}段、もっと身�Zなヘルスケアサービスが求められると考えている。�陵杆�発電はその�kつであると同時に、エネルギーハーベスタもまた地球�a(b┳)暖化防�Vに�L(f┘ng)かせない�\術だ。通信�}段はいつでもどこでも個人がつながる��(sh┫)向に向かっている。

半導���\術の微細化が�駘�限�cを迎えるのにつれ、More MooreだけではなくMore than Moore�\術の����がさらに�_要な役割を��(j┤)すと見ている。これをIMECはCMORE�\術を称している。��湾のTSMCとCMORE�\術で提携したことは、この��(sh┫)向の�k環である。

ただし、バンデンホッフ��(hu━)は、イノベーションも景気の影�xを�pけるため、コスト効率の良い研�|開発が�_��されるだろう、と述べた。それでも成長するためのチャンスは�Hい。��にコンピュータと通信を使ったモバイルやGUIなどの改良などは�j(lu┛)きく進歩してきたが、「これからの問��の�kつは高齢化社会に�△┐織悒襯好吋△澄廚汎���(hu━)は述べる。2050�Qまでには地球�屬凌邑�の21%以�屬�60歳以�屬砲覆襪噺世錣譴討い襦�

そこでIMECは、ヘルスケアを念頭に入れたBAN(ボディエリアネットワーク）によって人間の健康�X��をモニターするといったワイヤレスの通信センサーモジュールを開発している。心拍や�p圧などを運動中あるいは仕��中などに�R定し、そのデータをワイヤレスでコンピュータや医�vのもとへ送る。人��にワイヤレスセンサーを�mめ込む応��もある。さらには�Nの仕組みを理解するため、頭の周りにセンサーを�H数配��し�Nの��動�X��をモニターするという応��にも��を入れている。

BANを通して人間の��をモニターする

ヘルスケアと並んで�j(lu┛)きなもう�kつの問��は地球�a(b┳)暖化に�瓦垢詁Dり組みだ。�陵枦澱喘�のシリコン�T晶をこれまでよりも薄く切りだす�\術の開発にも��を入れていく。現在の厚さ200μmを120μm��度に削る�\術はほぼ達成できているが、これを80μm、さらには40μmに薄く削り�Dる�\術も開発する。

ディスコなどが�u(p┴ng)�Tなこれまでのカット�\術では80μmが限�cだろうとして、「Layer transfer process」と�}ぶ?j┼n)?sh┫)法で薄いウェーハを切り出すとしている。これは表�Cから40μm��度の深さのところに何らかのひずみを加えて、パリっとはがすような�\術を考えていると�陵枦澱喘甘�のジェフ・プートマンズ��(hu━)はセミコンポータルの��問に答えた。

�陵枦澱咾鯒�くカットする�\術に���}

IMECはさらに�~機材料を使った�陵枦澱咼札襪粒�発にも���}しており、�陵枦澱咾簓���発電、スマートグリッド、電気�O動�Zなどを加味したスマートホームのアイデアを�Wいている。

スマートホームのイメージ

こういった新しい�陵枦澱咾筌丱ぅ�、More than Moore (CMORE) プロジェクト、などのプログラムを本格的に始めるための研�|棟の建設に���}、2010�Q6月に完成する予定である。

総じて、IMECは時代に合わせて、研�|開発テーマをフレキシブルに変えていく。バンデンホッフ��(hu━)によると、「�陵枦澱咾任気╂里�らIMECのテーマに�屬�っており、研�|�vもいた。最�Zになって地球�a(b┳)暖化のテーマと合致するようになったため、IMECが��を入れるテーマとして採り�屬欧襪茲Δ砲覆辰拭廚判劼戮討い襦�こういった地�Oな研�|が顧客の要求に見合うようになって初めて浮�屬気擦襪箸い辰拭▲�スタマオリエンテッドな研�|開発の�e勢こそが、成功するためのカギといえるかもしれない。