光件僑MEMSスイッチを柜柒2家が鷗績、マルチ件僑眶に灤炳
MEMS∈micro electro mechanical system∷ビジネスが弓がっている。畝腮嘿な怠常裁供をシリコン懼で乖ってきたMEMS禱窖だが、その年盜も弓がっており、答饒はシリコンとは嘎らず、佬毖、ステンレスなど、答饒を啼わなくなってきている。7奉25-27泣に澎疊ビッグサイトで倡かれた≈マイクロマシン】MEMS鷗∽では、この緩度の弓がりをみせ、答饒鹼梧の弓がりだけではなく、MEMS裁供劉彌や肋紛ツ〖ル、紛盧達、亨瘟、さらにはファウンドリサ〖ビスまで弓がっている。丸眷莢眶は冊殿呵光の1它2424客と灤漣鉗孺6◇籠、叫鷗莢は347家と候鉗の313家よりも11%凱ばした。
答饒の鹼梧が弓がってきたとはいえ、シリコンで裁供するメリットは悸は絡きい。排灰攙烯も礁姥できるからだ。シリコンのMEMSデバイスでは、10鉗笆懼も漣から裁廬刨センサ〖や暗蝸センサ〖が輝眷で蝗われており、テキサスインスツルメンツ家のDLPディスプレイに蝗われてきたデジタルミラ〖デバイスも悸烙がある。呵奪は、畝井房マイクロフォンとしてのMEMSデバイスが睛墑步されており、啡掠排廈の泅房步や松熱脫の不暗センサ〖としての脫龐がある。シリコンを蝗うためアンプも柒壟でき、ノイズの逼讀を減けやすい光インピ〖ダンス掐蝸を你インピ〖ダンスに恃垂することで、ゲイン籠裁とノイズ卵拉を尉惟できる。
海攙の鷗績柴では、光件僑の流減慨スイッチとしてのMEMSを話嫂排怠とオムロンの2家が斧せていた。これまでの啡掠排廈では、GaAsFETを蝗った流減慨スイッチが辦忍弄であるが、MEMSを網脫した怠常弄スイッチはオン/オフのアイソレ〖ションが絡きくとれ、流慨と減慨あるいはマルチ件僑眶の流減慨でも拉墻昔步はそれほど你布しない。たとえば話嫂排怠が鷗績したMEMSスイッチでは件僑眶20GHzの奶慨でも19dB笆懼のアイソレ〖ションがとれる。木萎から20GHz鎳刨までは蝗えるスイッチである。
付妄弄にこれらのスイッチはシリコンのカンチレバ〖を瑯排丹で瓢かし、オン/オフ瓢侯させるもの。怠常及のリレ〖スイッチと擊ている。儡爬嬸尸に垛擄遂をスパッタなどで孿姥し、その嬸尸の儡卡/潤儡卡でオン/オフ瓢侯をする。ただし、戮のMEMS炳脫デバイスと票屯、瑯排丹を網脫するため排暗が10V笆懼と光くなるという風爬はある。
この光件僑脫MEMSスイッチは、その稿檬に材恃フィルタを脫いることで、マルチ光件僑眶攙烯を井房にできるというメリットがある。毋えば、坤腸面どこでも蝗える啡掠排廈やモバイルテレビなどに羹く。モバイルテレビのワンセグは泣塑でしか蝗えない。菠劍や躥柜、これからの勢柜などの憚呈とは佰なるためだ。しかし、このMEMSスイッチは蝗脫件僑眶認跋が弓いため、坤腸面のどこにでも圭わせることができる。
いずれのメ〖カ〖も活侯檬超での鷗績となったが、オムロンは2008鉗の1奉に睛墑步を謄回すという謄篩を積っている。
