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攵掚向屬肋噞cのためになると信じるISMIが450mm動X況をらかに

「200mmから300mmウェーハへ々圓垢襪箸もそうだったが、Mしい問にぶち当たるとすぐにできない、という人がいるが、エンジニアはイノベーティブな}法を開発しM問を解した。そのときのM問はリソグラフィのスループットだった。しかし、300mmスキャナーが発されたことで200mmと同じスループットを}に入れた。何もしないうちからデキナイという人は好きじゃない」。SEMATECH傘下のISMI(International SEMATECH Manufacturing Initiative)の]\術靆腑丱ぅ好廛譽献妊鵐箸Scott Kramerは言い切る。

ISMI ]\術靆腑丱ぅ好廛譽献妊鵐箸Scott Kramer


300mmから450mmウェーハへの々圓瓦靴撞震するmは咾い、450mmウェーハを使った]プロセスはそう~単には構築できない。しかし、「XTのあるエンジニアはず解する」と同は語る。450mmウェーハへの々圓鮨篆覆垢ISMIと、反瓦靴討いSEMIという肝軸の中で、ISMIが推進してきた450mmウェーハ画の進tX況がらかになった。SEMICON Japan開時期に合わせて幕張メッセで450mmプロジェクトの進tX況報告会が開された。

現在、インテルTSMCサムスンの3社が450mmウェーハへの々圓鬟灰潺奪箸靴討り、ISMIはQ社のコラボレーションを推進するという立場になっている。ISMIが450mmを推進する根拠は、これまでの半導が歩んできた歴史からわかるように、j口径化はコストダウンにつながってきた、半導噞はこれからも成長する、攵掚向屬Lかせない、\術的な問はずそれに挑戦して解してきた、という4つの理yからだ。に、攵掚向屬魯泪好箸任△襦ISMIのフィロソフィとして、攵掚向屬魏]することであり、流れに任せて徐々に攵掚を屬欧討いという立場はとっていない。

ISMIは、テストウェーハを作りをし、最初のウェーハを]してみること、そのためのロードマップを作る。2009Qに450mmテストウェーハを作成し300mmと同等に作れること、32nmのξをeつプロセスおよび検hを2010~2012Qで作ること、2012Q以TにICメーカーのパイロットラインに導入できるような量(22nmまで拡張可Α砲鮑遒襪海函△箸靴討い襦このようなタイムラインで進めていけばコストを最小にできるという。


Development & Technology Intercept Targets for 450mm


そのテストウェーハは、まずHT晶シリコン、次に単T晶シリコン、次の段階で、┣祝譴鬟僖拭璽縫鵐阿靴臣苑T晶シリコンを使う。

次に、EPM(性Δ亮榲)を策定する。これは450mmのを開発するのに当たり、_要なプロセス性Δ鯢修梗榲戮鬲め、試作したのh価に使えるようにする。まず、どのを試作すべきかサプライヤが優先順位をつける。2010~2012Qに試作するに使えるようにする。

その尺度をめるために次の}順で行う。ISMIがまずをリストアップ、メンバー企業がの優先度をつける、それを元にISMIが尺度とR定桔,里燭燭を作る。メンバー企業はそれをT、サプライヤと議bし、最終的に尺度と桔,鬲めo表する。

EPMとしての条Pは、般的に450mmでも半導噞が成長できるようなコスト構]を維eすること、境c条Pとして300mmよりも攵掚が高いこと。ITRSの攵掚向崋画によれば、300mmウェーハの攵掚は、2008Q時点における1時間あたりのスループットを基に毎Q4%向屬靴討いとしている。

その他、k般的にEPMに要求されることとして、450mmウェーハのカセットはもはやeち運ぶことをせず、PGV(Personal Guided Vehicle)をWして、FOUPの〜やロード/アンロード作業をする。さらに450mmは、300mmの小模改良でできるようにするため、jきすぎないように設する。


450mm Person Guided Vehicle (PVG) Guidline


陲寮尺度をめるのは2009Qi半までに完了する。そのためのサプライヤ向けワークショップを2009Q1四半期に画している。そして、450mm試作のテスト}法の開発、450mmテストウェーハの作成を経て、2010Q以Tに試作を完成させる。

これまでのISMIの主な動は、ウェーハバンク擬阿鬚箸蝓▲ΕА璽呂魎浜し、それを使った実xをサポートしている。まずシリコンウェーハをP入し、ISMIが管理する。サプライヤはそのウェーハをISMIから借りて実xデータを採る。その実xデータをISMIは共~する。現在、厚さ925μm+/-25μmのHT晶Siウェーハを150ストックしている。厚さを775μm、825μm、875μm、1mmを変えたHT晶ウェーハもあるが、少ししかない。単T晶ウェーハもまだ少ししかないが、2009QQ1にはj量に入}可Δ砲覆襦8什漾155のウェーハを20社にし出し中だとしている。

まずウェーハの機械的な性をR定h価するため、比較的]しやすいHT晶シリコンウェーハを使い、振動や加]度の影xを調べ、出荷i後で性変化のないことを確認する。データを解析し、SEMIYのシリコンスペックにフィードバックする。

例えば、_の影xによるたわみをHT晶ウェーハでR定したところ、ウェーハХeE困箸燭錣澆箸隆愀犬確にあるが、厚さとの関係は少ないことがわかった。また、単T晶ウェーハでも同様な向はあるが、絶潅佑呂笋箴なかった。

ウェーハを使い、ロードポートやウェーハキャリヤ、ロボット、EFEM(Equipment front-end module)、PGVなどに使えるかどうかというh価も20社以屬噺‘い靴討い襦@iのo表をす企業には、Asyst Technologies、Brooks Automation、CyberOptics、Entegris、Fixeon、Genmark Automation、Gudeng Precision Industrial、H-Square、Nikko、SUMCOがある。


EFEMS, Robots, Loadports


450mmはESH(環境・W・健康)問にも最初からDり組む。450mmへの々圓蓮環境問をC的に見直すよいタイミングだとし、エネルギーや水、薬、材料について検討していく。そのT果を300mmにもフィードバックし適していく。

少量攵のデバイスの攵に450mmウェーハを使うT味は今のところない。このため、「みんながみんな450mmへと々圓垢要はない。今でも300mmウェーハを使わずに200mmウェーハでビジネスしW益を屬欧討い覺覿箸發△襦廚汎は450mmを無理やり押しけるわけではなく、企業のT向を尊_する。「あくまでも450mmへのフィージビリティや経済性を検討し、いろいろな企業とBし合い、よく聞き、理解に努め、プランを立てることがjだ。いろいろなT見があり、450mmへの々圓昧^反瓦任盪神でもない。SEMIともSEMIメンバーとも直接Bし合いをしている」と今のXを説する。「とはいえ、攵掚向屬肋噞cのためになる」と同は信じている。


(2008/12/09 セミコンポータル集室)

ごT見・ご感[
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