IGBTの光廬步に羹け2鹼梧のイオン廟掐劉彌をアルバックが券卿
染瞥攣瀾隴劉彌もニッチ輝眷で盡砷する箕洛といえそうだ。アルバックは、IGBTパワ〖染瞥攣に潑步した裁廬エネルギ〖が2keV×30keVと你い裁廬排暗と、呵絡(luò)2400keVと端めて光い裁廬排暗の2鹼梧のイオン廟掐劉彌を券卿する。それぞれ栗い、考いpn儡圭を侯るのに蝗う、尉端眉のニッチ羹け劉彌だ(哭1)。
哭1 アルバックが券卿する你裁廬(焊)ˇ光裁廬(寶)のイオン廟掐怠 叫諾¨アルバック
この劉彌の秦肥にあるのはIGBTである。候海、SiCやGaNなど糠しいワイドギャップトランジスタが判眷し、IGBTを室兒に納いやろうとしているが、IGBTも風(fēng)爬を詭繩し欄き荒りを哭る。SiのIGBTの呵絡(luò)のメリットはSiCなどと孺べて擦呈の奧いこと。このためSiCは悸のところ鵝里を動(dòng)いられており、その粗にIGBTは風(fēng)爬を詭繩しようとしている。
IGBTの風(fēng)爬は部といってもSiCやGaNのMOSFETと孺べて瓢侯廬刨が覓いこと。その菇隴がnチャンネルMOSFETのドレインN+霖にさらにP+霖を納裁してバイポ〖ラ(排灰と賴(lài)功の企つのキャリア端拉)を網(wǎng)脫して排萎を籠やせるようになっている。瓤燙、瓢侯覺(jué)輪(オン)から排萎を賄めるオフ覺(jué)輪に磊り侖えると、N-霖に廟掐された賴(lài)功がいつまでも荒っていてなかなか久えずにテ〖ル排萎として賂哼するため、スイッチング廬刨を懼げられない、という風(fēng)爬がある。いわゆる警眶キャリヤの眠姥箕粗が墓い。そこで、その箕粗を沒(méi)教するため、賴(lài)功がすぐに排灰と浩馮圭して久えるようにライフタムキラ〖を掐れる。萍などの腳垛擄は染瞥攣面にキャリヤを梳懲するトラップ潔疤を券欄するが、排灰とすぐに浩馮圭して排丹鳥(niǎo)鉤が懼がってしまうという風(fēng)爬がある。そこで垮燎やHeのような傅燎をイオン廟掐してSi馮窘の辦嬸を蟬し風(fēng)促を罷哭弄に侯り、トラップ潔疤を妨喇するのである。
哭2 呵糠のIGBTのトランジスタ菇隴と海攙のイオン廟掐怠の脫龐 叫諾¨アルバック
垮燎は、N+霖の稍姐濕プロファイルと票屯にイオン慮ち哈みし、300×400°Cの你補(bǔ)で寵拉步させると、N+ド〖パントとして怠墻するらしい。デンソ〖の潑釣攫鼠によると(徊雇獲瘟1)、N≤霖の稍姐濕プロファイルと垮燎付灰のプロファイルを路える(阜泰にはプロファイルの染猛升を路える)ことによって、リ〖ク排萎も負(fù)るという。呵奪では、IGBT菇隴のp房コレクタ撾拌を答饒とするのではなく、N-霖を答饒とすることが驢い。ここに微燙からB∈ボロン∷を廟掐してp房コレクタを妨喇しさらにN+フィ〖ルドストップ霖を妨喇する菇隴が肩萎になっているという(哭2)。そのためには山燙の排腸跟蔡トランジスタ撾拌が窗喇した稿で、N-答饒を100µm鎳刨まで猴り、微燙婁にP+/N+霖を妨喇することになる。山燙にAl排端がすでに妨喇されているため、你補(bǔ)で妨喇せざるを評(píng)ない。微燙排端はもちろん呵稿に妨喇。
アルバックが海攙券卿するニッチのイオン廟掐劉彌は、IGBTの微燙のP+/N+霖を妨喇するための企つの劉彌である。
你裁廬排暗の≈SOPHI-30∽は、P+霖の栗い儡圭を妨喇するための綏駝及劉彌。綏駝及にしたのは、驕丸のような剩眶綏のウェ〖ハを絡(luò)きなディスクに磨り燒けて攙啪される數(shù)及だと、100µmのような泅いウェ〖ハだとハンドリングが豈しくが充れる恫れがあるからだ。また、驕丸のイオン廟掐劉彌は、イオン富からウェ〖ハまでの調(diào)違が墓く、ビ〖ムが弓がってしまいウェ〖ハ燙での排萎を絡(luò)きく艱れなかった。你裁廬漓脫だと、裁廬するための調(diào)違を墓くする澀妥がない。驕丸怠だとイオン富からウェ〖ハまでの調(diào)違が6mもあったが、海攙は50cmに沒(méi)教した。この馮蔡、靜燙姥も驕丸の1/3と井さくなり、2∵10の15捐イオン/cm2の排萎で慮ち哈むのに、驕丸の10尸から10擅ですむようになった。
光裁廬排暗の≈SOPHI-400∽は、N+霖を妨喇するのにPや垮燎の慮ち哈みに蝗う。PN儡圭の鄂順霖が痰綠に弓がらずに祿己を負(fù)らすためのフィ〖ルドストップN+霖を微燙から妨喇するためには2400keV (2.4MeV)という光い裁廬排暗でのイオン廟掐が滇められている。ここも端泅ウェ〖ハでの借妄のため綏駝及を何脫し、考いN+霖を妨喇する。N+霖に垮燎を慮ち哈むと、戮のド〖パントよりも付灰染仿が井さいため考くまで葡く。このため腆4µmの考さのプロファイルができるとしている。N+廟掐は你補(bǔ)では寵拉步しないため、レ〖ザ〖アニ〖ルを蝗うが、垮燎は350×400°Cのファ〖ネスでアニ〖ルできる。
イオン廟掐劉彌は光排暗を蝗うため、劉彌そのものにIGBTやSiCを蝗うことが驢い。アルバックの海攙の劉彌も裁廬排富だけではなく件跋の姬佬脫の排富など驢くの排富を蝗っており、しかも光卵暗が澀妥となるため、IGBTやSiCダイオ〖ドを蝗って劉彌の井房步に大涂しているという。
徊雇獲瘟
1. 潑釣≈冷憋ゲ〖トバイポ〖ラトランジスタおよびその瀾隴數(shù)恕∽、デンソ〖、圭拍夫呂、叫搓泣2014鉗10奉6泣、給倡泣2015鉗5奉21泣
