図1　高�]・高耐圧テスタのプローブIsoVu　オシロスコープの�iにある����がコントローラで光ファイバ(�靴だ�)を経て��のセンサヘッドからプローブを当てる　出�Z：Tektronix

Tektronixがリリースした�R定�_は2�|類ある。�kつは、SiCやGaNなど新しい半導��材料を使ったパワートランジスタの高耐圧・高�]のドライバ�R定�_��のプローブ「IsoVu」である。高電圧のトランジスタを高�]で立ち�屬欧襪肇離ぅ困�乗り��確な立ち�屬�り�S形を�莟Rできない。GaNやSiCが高�]・高耐圧が�jきな��長であるが、差動信�､里茲Δ縫哀薀鵐廟橙�されない場合には、信���S形にノイズが�_�Qされ、��確な信���S形を把�曚任�ない。この新型プローブは、光ファイバでノイズを遮��しているため、1000Vの信�､�1GHzで動作させても劣化しない。

もう�kつは、トランジスタのDC/ACパラメータを�R定するパラメータアナライザだが、トランジスタの初心�vでも�]時間でI-VカーブやC-Vカーブを�k度に�R定できる。MOSトランジスタの4端子を�R定�_に接��すると、グラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を見ながら設定・�R定を�~単にできる�屬法�配線を複雑につなぐ��要は��くない。

最初の����「IsoVu」をまず紹介する。SiCやGaNなどのパワートランジスタの最�jのメリットは高耐圧で高�]、低��失という点だが、高電圧のスイッチング�S形を見ることがこれまでは不可�Δ��Zかった。というのは、��来のプローブでは��峻な立ち�屬�り�S形を見るために��要な周�S数帯域が不�科�、CMRR（同相信�ｽ�去比：差動入��のような二つ信�､貌瓜�に載るノイズなどを除去する�ξ�）が高周�Sになるほど劣化する、といった問��があった。例えば､1000Vの交流信�､�2MHz辺りから低下していき100MHzでは1V��度に落ちていた。また、CMRRは直流では120dB以�屬△辰討蘯��S数と共に遮���ξ�は落ちてゆき、100MHzではわずか20dBしかなくなった。この�T果、高周�Sになるほどノイズが現れ、��確な信�､魃R定することが�Mしかった。

IsoVuは、プローブの先端はこれまでと同様MMCXコネクタを使って立ち�屬�り�S形を�R定するのだが、電気ケーブルが�]く、その電気信�､鮓�に変換する。このため電気-光変換�_の入ったセンサヘッドから�R定�_までの光ファイバケーブルは3m、10mと長くてもノイズの影�xを�pけない。このため、周�S数�覦茲�1GHz、コモンモード電圧ピーク2000V、CMRRはDC〜100MHzでも120dB、1GHzでも80dBを確保した。

図2　IsoVuの基本構成　ノイズが乗りやすいケーブルを光ファイバにする変換�_　出�Z：Tektronix

センサヘッドは、扱いやすくするため小型にする��要がある(図2)。プローブ先端の電気信�､鮓�信�､吠儡垢靴燭里繊▲灰鵐肇蹇璽薀椒奪�スに送り光を電気に変換し�R定�_に電気信�､箸靴篤���する。センサヘッドとコントローラとの間は光だけのケーブルにしているため、センサヘッドへの給電も光ファイバで送りセンサヘッド内で電気に変換し給電している。

プリント�v路基��にスクエアピンが立っている��所へプローブを当てる場合、スクエアピンとMMCXコネクタとの変換����も���Tしている。この�T果、直�`接��されたGaNあるいはSiCトランジスタのハイサイド�笋離押璽�-ソース間の立ち�屬�り電圧�S形はシミュレーションと同様の信���S形が�uられている。

IsoVu光絶縁プローブは周�S数帯域が最�j1GHzから500MHz、200MHz、ケーブル長は3mと10mの����シリーズがある。価格は、プローブの先端からセンサヘッド、コントローラを含め158万��〜306万��(税�sき)。

もう�kつの新����について紹介する。パラメータアナライザは、トランジスタ開発�vなら誰でも�k度は使ったことがあるだろうが、この新����はI-Vカーブ、C-Vカーブを�R定�_�屬農擇���えるだけで�~単に�R定できるというもの(図3)。DUT（device under test）のMOSトランジスタのドレイン、ソース、ゲート、サブストレートの4端子をパラメータ�R定�_に接��しておき、�R定�_�笋�I-VとC-Vを切り��えることができる。

図3　新パラメータアナライザ�R定�_　��の箱はトランジスタの端子を接��するマルチスイッチ　出�Z：Tektronix

このため、配線を接��し直す��要はない。また、ウェーハ�X��でも�R定できる。このパラメータ�R定�_の出��が4端子2セットあり、入��にはSMU（Source measurement unit）、CVU（C-V unit）を接��する端子がある。

このパラメータアナライザの画�Cはタッチスクリーン�擬阿里燭瓠∋悗妊好�ロールして�瑤蠅燭ざ\術情報を�~単に探すことができる。またClariusと�}ぶ新しいユーザーインターフェース(図4)を導入しており、Select、Configure、Analyzeという項�`からテストを��び、設定し解析することができる。Selectには450ものテスト、プロジェクト、デバイスのライブラリを指でスクロールして���Iする。

図4　新UIのClariusではSelect、Configure、Analyzeを�~単に設定・解析できる　出�Z：Tektronix

Select画�Cではテストを早く構築するための��要や、ビデオ、図、アプリケーションノートなどのツールが���Tしているため、トランジスタの初心�vでもテスト時間を�]くできる。Configureでも電流、電圧モードの設定や主要なパラメータを画�C�屬農瀋蠅任�る。Analyze画�Cでは、��てのトランジスタ�R定の履歴を保�Tし、�Q履歴の�R定�T果にレーティングを与えることができる。またハードウエア的にPCIインターフェースの��いたモジュールを差し換えることでバージョンアップも可�Α�

このアナライザはReRAMやMRAM、PCRAMのような新しいストレージクラスメモリのテストも可�Δ如⊇颪�込み、読み出し、消去、の繰り返しエンデュアランスの試�xにも使えるという。価格は364万��(税別)から。