図1　MEMSの��来を語る専門家たち　左からボッシュ、ADI、カイオニクス、AMAT、コベンタの責任�v

MEMSはこれまで、深くエッチングしたり、薄いメンブレン膜やカンチレバーを作��したりするなど、プロセス中心の�\術に��点が当たってきた。シリコンの圧��センサーをはじめとするMEMSデバイスは、巨�jで高価なクリーンルームを��要としない�j学でさえも作��できた。深いエッチングをいかに�]い時間で均�kに削るか、あるいはスループットを�屬欧茲�、などプロセス開発に�_点が��かれていた。

��21�vマイクロマシン/MEMS�tでフランスの�x場調�h会社ヨール・デベロップメントが発表したように（関連記��2）、これからのMEMSデバイスはこれまでの�O動�Zの加�]度センサーや�c�效�のゲームやスマートフォンなどから、工業��や医����などの新分野に使われるようになりそうだ。そうなると、これまでのようなセンサーからの信�､鬟蓮璽疋Ε┘��v路で�pけて信�ｽ萢�するといった�桔，任�Time-to-marketに間に合わなくなる。MEMSからの信�､鬚い錣罎�、組み込みシステム的に扱い、MEMSを中心にソフトウエア開発、OSやミドルウエアあるいはソフトウエアドライバ開発、EDAツールの�W��など、もっとシステム指向の考えが��要になってきている。

今後のMEMS�\術、MEMS�x場をどう見るか。MEMSの専門家たちは今後のMEMSは�H���|・��雑になってくるため、コラボレーションは��須だと考えて�k致した。実績のあるボッシュ、ADI(アナログデバイセズ)、新興ベンチャーのカイオニクス(Kionix)、MEMS���]�\術のAMAT(アプライドマテリアルズ)、そしてMEMS向けCADツールのコベンターが��来を語り合った。

�O動�Z��のMEMS加�]度センサーを開発、13億個ものデバイスを販売してきたドイツのボッシュ・センサーテックは、加�]度センサーや圧��センサーで実績を�eつ。これまでボッシュは加�]度センサーなら小型・低消�J電��、圧��センサーなら高�@度・低消�J電��に�R��してきた。が、これからはソフトウエアやアプリケーションがもっと�_要になってきたと見ている。このため、アンドロイドやいろいろなOSをベースとしてソフトウエアドライバをサポートする��要が出てくる。デバイスの高性�Σ修閥Δ縫愁侫肇Ε┘△離汽檗璽箸��_要になると見る。

ボッシュと同様、エアバッグに搭載して20�Qの実績を�eつアナログデバイセズ社は加�]度センサーから始まり、3軸ジャイロセンサーやマイクロフォンなど広い�J囲のMEMS����を�eつと同時に、加�]度センサーだけでも50~60���|もあるような広�J囲の����を�eっている。この先MEMSがさらに成長し、幅広い分野に使われていくためには、高����のセンサーとソフトウエアの融合が�_要になると考えている。これまでの�O動�Z��加�]度センサーを��1の�Sとすると��2の�SはiPhoneやWiiのような�c�效�のスマートフォンやゲームの分野だと、同社VP＆GMのマイク・マーティン��は�D理した(図2)。そして今後��こりうる��3の�Sは、幅広い応��だろうとする。工場のオートメーション、���R�\術、ヘルスケア、ナビゲーションなど工業��と医����の応��が拡がっていくとする。

図2　MEMSの��3の�Sが来る　出�Z：アナログデバイセズ

昨�Q、セミコンポータルで紹介した（関連記��3）数カ月あとにロームに�A収されたカイオニクス（Kionix）社では、�O動�Zやスマートフォンは今後も成長を��けるだろうが、センサー信�､鯑匹澆匹ι集修垢襪�、もっと�O��の人間の動きを表現できるかということも�_要だと、同社セールス＆マーケティング担当エリック・アイゼンハット��は述べる。MEMSとCMOSLSIやメモリーを1パッケージに入れる場合にもユーザーの求めるソリューションを提供することが�_要だという。また、MEMS信�､鱆~効に����するためにシンビアンやウィンドウズモバイルなどのOS�屬覇虻遒垢襯愁侫肇Ε┘▲疋薀ぅ个鬚匹��Wくか、どのソフトを使うと開発�vはアクセスしやすいか、モバイルアプリケーションからヘルスケア�x場まで広げて要求に応えていく��要があるとする。さらに開発ツールセットも��要だと指�~する。

MEMS専��の設��ツールを開発しているコベンター（Coventor）社は、MEMSメーカートップ15社のうち11社が同社の3次元CADを使ってきたという。これまでのMEMSはいわゆるIDM（設��から���]までの�貭湘�合企業）が主��でやってきたが、これからMEMSの���|が�\えていくと、コラボレーションを通じてサプライチェーンを確立し、開発効率を�屬欧襪海箸��_要だと説く。デジタルコンパスやマイクロフォンなど新しい応��には設���}法から���]�\術に至るまでIDMともアイデアを共�~してMEMSインフラを作りたいと、同社社長のマイク・ジャミオルコフスキー��は言う。すでにEDA企業とも�Bを始めている。デザインハウスや、IP、検証ツール、MATLAB&Simulink、ファブレス、システムハウスなどが参加するインフラが��要だとする。

図3　MEMSの開発効率を�屬欧襪燭瓩砲魯┘灰轡好謄犢獣曚���須　出�Z：コベンター

昨�Qセミツール社を�A収したアプライドマテリアルズもMEMS分野に進出してきた。2012�QまでにMEMS���]�����x場は5億ドルになろうという。��に,iPhoneなどの�c�旱x場がMEMSを採��したこと、半導��プロセスが成�^してきたこと、1パッケージに��数の半導��チップを入れる�\術の進�t、などが進出した理�yだと、同社200mm����＆エンハンスメンツ�靆腓離献礇奪�・ブヘイラ��は言う。��にムーアの法�Г�らMore than Mooreという�妓�にMEMSは位����けられるようになってきたが、さらなる応��が�\えてくる今後は、今以�屬俣Hくのパートナーと共同で開発する��要があると見ている。

関連記��
1) これからのMEMSデバイスは信�ｽ萢�と賢いアルゴリズムが��加価値をもたらす (2009/04/01)
2) 2015�Qに165億ドルに成長するMEMS�x場、仏ヨールが予�Rを発表 (2010/08/09)
3) MEMSモーションセンサーを�W��、12個のコマンドをプログラムできるASIC (2009/05/07)