1��のウェーハを単�T晶の引き�屬欧�ら、スライス、ポリッシュを経て��(d┣)�Cウェーハを1��作るのに��要な電��をAMATが見積もったところ、2,100kWhにも達する。もし5��のウェーハを?y┐n)��]すると、��(sh━)国の1世帯が1�Q間に消�Jする電��に匹�發垢襪箸いΑ�これに�瓦靴董▲螢汽ぅ�ルウェーハは200kWh以下、すなわち1/10以下の電��ですむ。もし、半導��プロセス工場で使うためのウェーハを代表的な�攵��ξ�として、月��4万5000��とすると、1�Q間で��(sh━)国の家庭10万世帯分の電��を削��(f┫)することに相当するという。

AMATが出�@しているPhoenix Silicon社は新�腓砲△襪�、今�v�o開した��南工場は100%AMATが出�@した工場である（�^真）。��南に設立した理�y(t┓ng)は、新�腓砲△詒焼���企業の敷地がもはや限�cに来ている企業は最�Z、��南の工業団地に進出しているため。世�c最�j(lu┛)のファウンドリ企業のTSMCやUMCなどがすでに進出している。

ウェーハリサイクルビジネスでは日本のラサ工業がすでに実績を�eつが、��南のリサイクルセンターでは、300mmウェーハのリサイクルに専念し、120nmプロセス向けのウェーハから始める。リサイクルするウェーハは、ラサ工業と同様、���]����内のダミーウェーハやパーティクルチェックや膜厚チェックなどに使ったウェーハを使う。さらに、65nm〜120nmプロセスに集中していく。

AMATはすでにユーザーの認定を�Dり始めている。認定試�xが終わるまでに3~6か月かかるため、キーカスタマの認定は�Q��に終わり予定。

AMATの��(d┛ng)みは、これまで形成やエッチングしてきた膜を�]時間で除去すること。��に、銅配線とLow-k材料を何層も�_ねて使うロジック�Uのウェーハが�u(p┴ng)�Tだという。Low-k材料としてBlack Diamond膜を使っているウェーハは除去することが�Mしいと、��湾AMATのApplied Global Services�靆腓琉怺�(du━)良��(hu━)は言う。共�~�T合ががっちり�Tびついているダイヤモンドだからだとしている。AMATがBlack Diamondを除去するプロセスでは、除去する厚さはわずか9μmしかない。このため、775μmのウェーハを削って、��容される680μmまで削っても11�v��度使えるというメリットがある。ただし、最初のウェーハ表�Cに�aがあれば除去する�霾�はもっと厚くなり、使��頻度は落ちる。

��南のリサイクルセンターは、�C積3120m2の2階建ての建�颪任△襦�1階には4つのエリアがあり、それぞれ除去工��を�pけ�eつ。まず、除去すべきウェーハは、片�Cだけ研磨する、両�C研磨する、銅を研磨する、の��つに分かれる。最初に、たとえば銅配線プロセスならウェーハの銅を除去し、次に�i��浄を行う。ここではスラリーなどが残っているため、それを徹�f的に除去する。次に、クラス10というクリーンルームでクリーニングする。最終のクリーニングでは、クラス１というゴミのないところで行うが、ここではミニエンバイアラメントを�W(w┌ng)��する。最後にKLAの����を使い、表�Cの�{(l│n)浄度や厚さなどを�R定する。

Black Diamondの除去は、��来の��(sh┫)式と比べシリコンのロスが少なく、�]時間にシリコンを�aつけることなくできるとしている。その除去にはCMPは使っていない。というのは時間がかかりすぎるためだという。基本的にはサンドホィールを使うようだが、その詳細は��らかにしない。1��の価格は40〜90ドル。�Z型例では、ほぼ4日間で��(d┣)�C研磨のウェーハを出荷できるという。ウェーハ処理�ξ�は当初4万5000��/月だが、最�j(lu┛)12万��/月まで可�Δ世箸靴討い襦�

今後は、先端の微細パターンを形成したウェーハの加工も進め、IPを守りながら、シリコンのロスも��(f┫)らしていく。加えて、リサイクルサービスだけではなく、シリコンベンダーともコラボを組んでいきたいとしている。