メンタ〖、65nm笆布のCMPの芹俐バラつきを你負する肋紛ツ〖ルCalibreを動步
メンタ〖ˇグラフィックスは、芹俐霖のバラつきによってタイミングの恃瓢が絡(luò)きくなってくる65nm笆布のプロセスにおいて、プロセス懼でバラつきを負らすのではなく肋紛懼からプロセスばらつきを負らすための肋紛ツ〖ルCalibre platformの怠墻を動步し、その拒嘿を湯らかにした。45nm、32nmと腮嘿步が渴むにつれ、CMP∈chemical mechanical polishing∷による芹俐の升や粗持などの裁供バラつきはもはや釣推認跋に箭まらなくなってくる。この瀾墑は裁供バラつきを肋紛懼から負らそうという條だ。
LSIの驢霖芹俐禱窖では、CMPを蝗って士貿(mào)步を哭るが、Cu芹俐の粗持が弓い眷疥と豆い眷疥で、猴られる翁が恃わり、芹俐が呂いとディッシングと鈣ばれる冊娟な猴負が斧られる。このため、ダミ〖フィルと鈣ばれるCu芹俐を蜂粗に掐れておき、芹俐泰刨をほぼ辦年にしておこうという數(shù)恕を何脫してきた。しかも賃掐し撕れたために芹俐更のバラつきが籠裁することを幅うため、やたらとダミ〖フィルを芹彌してきた。しかし、この數(shù)恕では、塑丸の慨規(guī)脫Cu芹俐とダミ〖フィル芹俐との粗にキャパシタンスが券欄し、光廬瓢侯やシグナルインテグリティに逼讀を第ぼす。肋紛奶りのタイミングが評られない恫れも叫てくる。
90nm鎳刨くらいまでなら部とか驕丸のダミ〖フィルでも灤借できた。しかし、65nm笆布と腮嘿步するにつれ、芹俐の更さのバラつきは絡(luò)きくなる。芹俐が腮嘿になるにつれ、墓さ、升、更さともほぼ票じような充圭で教井していかなければならないためである。更さのバラつきは∞10nm笆布であるため、65nmプロセスでは9%のばらつきが45nmでは14%に籠え、32nmノ〖ドでは20%にも茫してしまう。更さがこれだけバラつくと芹俐鳥鉤もバラつく。こうなると肋紛奶りのタイミングを塔顱できなくなる恫れがある。肋紛し木さなければならなくなる。できるだけバラつきを負らしたい。
そこで、メンタ〖が倡券したこのCalibre platformに3つの禱窖を瞥掐し、これからの啼瑪に灤借した。まず辦つはSmartFill。これは鄂いている疥にやたらと掐れるのではなく、タイミングといった拉墻に簇犯する疥にだけ芹彌するという禱窖である。芹俐泰刨や芹俐パタ〖ンの件跋墓などによって掐れ數(shù)や掐れる眷疥を恃えるという≈腑い(smart)∽數(shù)恕だ。
企つ謄は、芹俐更のバラつき尸邵を渾承步し、呵も驢くの翁を猴られた≈ホットスポット∽を浮叫する。これにはCalibre CMPシミュレ〖タ、あるいはファウンドリが料るモデルに答づいたシミュレ〖タを網(wǎng)脫する。このCMPモデルでは、まずCuを猴る漣の雖め哈まれた覺輪の2肌傅尸邵、ある箕粗猴った箕の尸邵、さらに猴ったときの尸邵、呵姜弄な尸邵を2肌傅のカラ〖尸邵で山わすことで呵も泅く猴りすぎたような眷疥を浮叫する。
この稿、芹俐の更さ尸邵に答づいてタイミングや排丹潑拉のシミュレ〖タにかけ、啼瑪がないかどうかをチェックする。そして、啼瑪がありそうな眷疥の泰刨と更さに答づき、モデルベ〖スで紛換したフィルを納裁してみる。これを帆り手し、啼瑪ないタイミングと排丹潑拉が評られたら、それを呵姜の芹俐パタ〖ンとする。
染瞥攣メ〖カ〖やファウンドリは稱家稱屯のプロセスを蝗っているため、≈プロセスモデルは稱家で侯ってもらうことにしている∽、と票家プロダクトマ〖ケティングマネジャ〖のJeff Wilson會は咐う。それも芹俐霖ごとに稱家柒嬸でも般うことが驢いという。票じCMPマシンを蝗うとしても、チュ〖ニングしたり、たとえしていなくてもスラリ〖の緯仿が佰なるとか、メッキ掘鳳が般うとか、プロセス掘鳳は般うため、モデル侯喇を稱家にお搓いするというわけだ。絡(luò)緘措度の面には、90nmを掘鳳奶りに欄緩倡幌しても翁緩面にCMPの掘鳳をチュ〖ニングして恃えていくこともあるという。モデルは撅にアップデ〖トしたものにしなければ糠瀾墑の1券窗瓢できない。
メンタ〖はこのツ〖ルにより、バ〖チャルCMPモデルを捏丁していることになる。このCalibre DFMプラットフォ〖ムを蝗って、毖柜のファブレスCSR家が肋紛した65nmデバイスは1券窗瓢したとWilson會はいう。この眷圭は、CalibreをファウンドリであるTSMCが蝗って芹俐更のDFM輸賴しタイミングシミュレ〖ションを額蝗し、呵姜マスクデ〖タをTSMCが彈こした。CSR家は濕妄肋紛にまでは簇涂しないため、RTLデ〖タをTSMCに緘畔し、スペックを塔たしていることを澄千するだけ。GDS IIフォ〖マットのマスクデ〖タはメンタ〖のツ〖ルを蝗ってTSMCが侯喇する。
泣塑のIDMに灤しては、極家でモデルを侯り、メンタ〖のCalibreを蝗ってこれまではダミ〖フィルを侯ってきた。この糠瀾墑で、これからのLSIにはCMP-awareなダミ〖パタ〖ンを侯るのに呵努とメンタ〖ˇグラフィックスˇジャパンのテクニカルˇセ〖ルス塑嬸墓の濫騰竭辦會はいう。
