Semiconductor Portal

» セミコンポータルによる分析 » \術分析

3次元SiP集積化\術がシステム問Dり組みに向かい始めた

シリコンチップを3次元に_ね合わせて、kつのICパッケージに集積する\術、3次元SiP\術が新しいフェーズに入った。TSV(through silicon via)と}ばれる楉姪填法△修譴鉾爾Ε┘奪船鵐亜電極穴mめといったこれまでの]プロセスに点が当たっていた3D集積\術の応が見え始め、設や信頼性h価、テストへとシステム的な広がりを見せてきた。ASET(先端電子\術開発機構)が主したInternational 3D System Integration Conference (3D SIC) 2008においてこういった向が見えてきた。

初日最初の基調講演で、Intel社Microprocessor Technology研|所のShekhar Borkarは、3次元に集積することの最jのメリットがCPUやI/Oの高]のデータレートに瓦靴董▲瓮皀蝓爾厘いデータレート、すなわちバンド幅とのギャップをmめるためのキーテクノロジだと述べた。しかもI/OピンではGbps当たりの消J電はまだjきいため、これも下げる要がある。このための3D実△め}になるという。例えば、チップ間の信、5mm以巛`れるとインダクタンス成分が効いてきて分布定数的な振る舞いをするためインピーダンスマッチングの要やシグナルインテグリティが問となってくる。しかし、チップ間{`が2mm以下だとインダクタンス成分を無でき集中定数v路でDり扱えるため、高]化に向くとしている。


Solution


さらにマルチコアやマルチプロセッサシステムではコアとL1およびL2キャッシュとのバンド幅を広くできるため、L2キャッシュとバルクメモリーとの間に3Dメモリーを搭載すれば、高]化だけではなく低消J電化も可Δ砲覆蝓100Gバイト当たり25Wだったのが2W度に収まると見積もっている。Intelは以i80コアの並`プロセッサを発表していたが、そのコアごとに256Kバイトのローカルメモリーをeたせるというアーキテクチャを3Dスタック構]で実現できる。ここに並`マルチコアプロセッサのシステムが擇てくるとしている。

いてベルギーIMECのEric Beyneは、3D集積化ではコストダウンが実化のカギを曚襪燭瓠3D実△WLP(ウェーハレベルパッケージ)やワイヤボンドによる来のスタック実◆TSVによる実△覆匹糧羈咾鮃圓辰拭そのT果、やはりTSVがコスト的に見合うこと、できるだけ楉鵡Δ鮠さくすることなどを述べた。TSVの最jの問は、配線のルーティングであると指~した。ルーティングはこれまで以屬吠雑になり、へたをするとメタル層を{加したり、チップをjきくしなくてはならなくなる恐れさえあるとしている。TSVだけなら、半田ではなくCuを使った20μm度の薄いウェーハの楉魅咼△高密度化できるという。

メモリーメーカーのドイツQimonda社Backend Innovation靆腓亮臉淵┘鵐献縫△任△Harry Helderは、メモリー3D集積化のメリットはメモリーのバンド幅をさらに広げることだと述べた。やはりIntelと同様な考えでメモリーの3D化を進めている。同は、Qimonda\術の詳細はBせないとしながらもCuマイクロバンプがHピン化のめ}になるとしている。これはCu電極の屬SnあるいはSn-Ag合金をコーティングしているが、w相反応で電極同士がT合するSOLID(solid liquid interdiffusion)\術と}んでいる。

UCLAのJason Congは、放X設屬TSVはXを逃がす_要な役割を果たすことをシミュレーションで検証し、フロアプランニングやH層スタック屬離檗璽箸離僉璽謄ショニング、配線の折り返しデザインなどがXB^を考慮したX設の指針になることをした。

高]化に瓦靴討蓮▲轡螢灰鵑離ぅ鵐拭璽檗璽供淵船奪廚鮑椶擦覺韶)の妓へ向かうことを沖電気工業や噞\術総合研|所などが指~している。

ASETは平成19Q度に「次世代次元積層\術開発の先導研|」と称して3次元SiP集積化\術の調hを行ってきたが、その調hT果を3D-SIC終了後に発表した。その成果報告をpけ、2008Q度から3次元集積化\術プロジェクトの通称「ドリームチップ画」をNEDOに申个掘現在検討中で本格的な3D SiP集積化\術プロジェクトがまもなく始まると見ている。

ごT見・ご感[
麼嫋岌幃学庁医 胆溺谷頭壓濘| 91娼瞳爺胆娼叫築孟勧箪秘笥| 晩昆娼瞳嶄猟忖鳥涙鷹廨曝 | 晩云復住寄頭涙孳飢| 冉巖忽恢娼瞳撹繁怜匚壓濆杰| 槻溺涙孳飢互賠來篇撞岷殴| 膨拶忽恢娼瞳撹繁窒継消消| 醍狭唹篇篇撞互賠壓濆杰 | 忽恢娼瞳患咳秉斤斛濆杰| av曝涙鷹忖鳥嶄猟弼| 孤罎利窒継篇撞| 戟諾議膏絃3壓濆杰| 晩昆天胆互賠弼鷹| 冉巖岱鷹匯曝av敢勞互咳 | 天胆撹繁鉱心篇撞壓| 繁曇倫繁悶弼WWW詔弼倫| 娼瞳涙鷹匯曝屈曝眉曝壓| 涙鷹av戯忽頭壓濂シ| 冉巖av涙鷹匯曝屈曝眉曝來弼 | 触匯触屈触眉窒継廨曝2| 勸雑郊利互賠壓濆杰簡啼5| 忽恢天胆総窃消消娼瞳91| 538壓瀛啼| 壓瀾盃湮(啼| gay易沃槻膿崙畝鰯篇撞利嫋| 撹繁怜匚娼瞳消消消消消消弌傍 | av曝涙鷹忖鳥嶄猟弼| 挫槻繁挫唹篇壓濂シ| 嶄忽繁xxxxx69窒継篇撞| 天胆來弼仔寄頭www| 冉巖忝栽励埖爺天胆| 槻溺値倉涙孳飢怜匚篇撞| 怜匚丞魁1000| 胆溺闇蝕挺凛斑槻繁涌訪篇撞 | 晩昆天胆嶄猟娼瞳窮唹| 冉巖av喟消涙鷹娼瞳| 間羽hd総窃総窃| 亜赱亜赱艶唯亜赱喘薦亜窒継| 弼忝栽消消爺爺忝栽| 忽恢替岱涙鷹坪仍| 昆忽尖胎窮唹怜匚眉雫717|