半導��設��や設��ツール、ファブレスなどで圧倒的な�咾気鮓�せる�盜颪涼罎罵��kの弱点ともいうべき半導�����]を�啣修垢詁阿�がIntelやSkywaterなどのファウンドリ、�f国企業の�盜餽�場設立や拡張などで見える。それに向け、日本企業もビジネスチャンスと捉えている。丸�k�^管がテキサス�Δ鉾焼������]設��向けの�^管を���]する子会社を8月に設立すると発表、��菱ガス化学は半導�����]に使う薬��を�盜颪濃\��する。

丸�k�^管は、子会社の丸�kステンレス�^管と共同で半導����のBA（Bright Annealing）管を���]する。145万平�汽侫�ートの敷地内に、16万平�汽侫�ートの工場を設立する。�盜馥發能j型の半導��工場建設��画が��数����化していることに�官�した。BA管は内�Cを滑らかにしてパーティクルの�]�里鮑鑿�している配管で、半導��や�]晶���]などに使う。

��菱ガス化学は、500億����模を投じ、��純���┣戎總任鮑８�10�Q間で�攵盋を現�Xの14万トンを3倍�Zくに�\やす。高性�Δ糧焼������]時の��浄�]として使う。オレゴン�Δ旅�場で���]ラインを�\やすほか、新工場の建設も検討する。2017�Qに約70億��を投じて�盜颪膿傾�場を2 カ所設けたばかりだが、�盜颪�520億ドルのCHIPS法案が議会を通�圓靴燭海箸��pけ、�{加投�@となった。

�盜馘蟀@だけではない。日本国内でも次のピーク時を狙い、積極的な投�@が�`立つ。8月5日の日本経済新聞は、経済�噞省が4日、2023�Q度予�Qの���Q要求に関する基本�疑砲鮟o表したと報じた。�噞構�]審議会で��らかにしたもので、経済社会課��解��への�j胆な官�c投�@と��して、「炭素中立社会の実現（10�Q150兆��のGX）」、「データ主導のデジタル社会の実現」、そして「経済�W��保障の実現」の3つを掲げ、さらに人材やスタートアップ、中小企業への�мqなども含む。��に「データ主導のデジタル社会の実現」で、次世代半導��・量子・ソフトウエアなど基盤構築/データセンター･5G�D�△覆匹魑鵑欧討い�。

図1　プラスチックBGAパッケージ基��　出�Z：新光電気工業

プリント�v路基��をICパッケージの基��とする高集積LSIのパッケージング�\術に�咾�、新光電気工業は、「新�觚���高�xにある新井工場内に新棟を建設し、半導��メモリー向けプラスチックBGA基��を�\��する」と4日の日刊工業新聞は報じた。投�@�Yは280億��で、2024�Q度に��工し、26�Q度に�n働予定。BGA基��の�攵��ξ�は現行の2倍に拡�jするという��新光電気のニュースリリースによると、プラスチックBGA基��（図1）の�H層配線には、��来のエッチングではなくセミアディティブ法によるメッキで形成するとしており、�k�|のビルドアップ基��に�Zい�桔，箔H層配線を形成するようだ。

3日の日経は、昭和電工が�H層配線の平たん化�\術で使われるCMP（Chemical-Mechanical Polishing）スラリーの�攵��ξ�を2割高めると報じた。日本と��湾で200億��を投�@、設�△箙�場棟を�\�咾垢�。2023�Qから順次�n働させる予定だ。��湾には連�T子会社があり、ここでスラリーの�攵��ξ�を23�Q1月から高めるとしている。TSMCが扱っているロジックは、�H層配線を�~使するチップなので、��湾のファウンドリ向けに�\�咾垢襪茲Δ�。

リソグラフィ光源を���]しているギガフォトン（コマツの100%子会社）は、光源��の新しい�攵欻に��工した、と日刊工業が報じた。投�@�Yは約50億��。栃�v県小�處xにある同社の敷地内で7月から��工しており、23�Q6月に完成予定。2020�Q度比で約2.5倍の�攵��ξ�を�屬欧襪海箸砲覆�。���o�C積は7537平�汽瓠璽肇�。世�c的に半導����要が高まることを見越しての投�@だと見ている。