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EUVレジストのf国への輸出を経愱が可した背景

日f易Coがくすぶる中、経済噞省は、半導材料のk陲瑠f国向け輸出を可した、と8月9日の日本経済新聞が報じた。この背景は後述するようにサプライチェーンのグローバル化がjきく、半導を舞にした易Coは無T味になりつつある。別のBだが、東メモリがストレージクラスメモリを開発したと発表した。

日経によれば、「可したのは半導のv路形成などに使うレジスト(感光材)で、信越化学工業のとみられる」としている。EUVレジストが半導材料の輸出U限をpけた`のkつだが、信越化学のレジストが可されたのはなぜだろうか。世耕弘成経旔は「f国Bから『禁輸措』との批判があり、例外的にo表した」と8日のV議後の記v会見で述べた、と日経は報じている。

f国から禁輸だと言われたから、そうではないことをすために今vレジストを可したという。ところがEUVレジストのサプライチェーンを見れば、別の見気見えてくる。微細化プロセス向けのレジストメーカーは、JSR、東B応化工業、信越化学工業、住友化学工業、富士フィルム、そしてデュポンがいる。この内、JSRはベルギーIMECと合弁でEUVレジスト]会社をeち、欧ΔらSamsungへ供給できる。また東B応化はf国内にレジスト工場をeちSamsungに供給していることから\すれば済む。そして、日本の工場しかない信越化学が日本からの輸出となる。

こういったサプライチェーンのX況では、日本からの輸出}きがれて不Wを被るのは信越化学と住友化学、富士フイルムといったメーカーであり、レジストでj}のJSRと東B応化は輸出Uの影xはあまりない。こういった日本企業の不o平を是するための今vの措ともいえないことはない。

フッ化水素は、森田化学工業とステラケミファなどが]しているが、f国メーカーも]しているという情報はある。ただし、日本のメーカーの現地攵ではなさそうだ。9日の日経は森田化学の森田康夫社長とのインタビュー記を掲載しており、同社長は「当社の2018Q6月期の売峭117億のうち、f国向けの半導高純度フッ化水素は3割咾量40億だ。1カ月の輸出停Vは単純に3億分に相当する。f国向けの高純度フッ化水素の日本企業のシェアは約60%だが、今vのPで日本企業のシェアが低下しかねない」と述べており、今vの易Coでe機感を募らせている。

さらに同社長は、中国の浙江省に設立した、森田化学と中国笋箸旅臺杞場で高純度フッ化水素の攵を立ち屬欧襪箸靴討り、中国からf国へ高純度フッ化水素を供給できるUを作るとしている。同社はもともと2Qiから、半導の攵がf国から中国へシフトすると見込んで合弁工場を設立した。日本からの輸出をUすると、日本の工場が外国へ‥召掘▲哀蹇璽丱襪淵汽廛薀ぅ船А璽鵑魍領することで、c間企業は国のUに眼^しようとしている。

トランプj統襪皺攬戮ZTEとの易Coによって盜餞覿箸aつくことをようやく理解したことで、易Coは緩まってきつつある。日本のyが関とBが半導ではグローバルなサプライチェーンができていることを理解すれば、E問を通商問に転化することなく、すべき課であることに気がつくのは時間の問ならよいが。

先週は東メモリが3D-NANDフラッシュをSLC(1ビット/セル)擬阿砲靴董読み出しの高]化を図ったストレージクラスメモリ(SCM)を開発したと発表した。詳細は不だが、96層の3D-NAND構]を使いながら、駘プレーンを16設け、それらを並`動作することで高]化しているらしい。これまでのJTのTLC(3ビット/セル)擬阿3D-NANDと比べ、読み出し]度が10倍]い5&micrp;sのレイテンシとなり、SCMと位けた。SCMはDRAMとNANDストレージとの中間の]度に位するメモリ、とIBMが定Iしたが、IntelはSCMとは言わずパーシステントメモリと}んでいる。

ただし、東のSCMがストレージデバイスとは異なり、絶えず読み書きを行うRAM動作をさせて]いかどうかについてはらかにしていない。Intelのパーシステントメモリ(3D-Xpointメモリ)は書き込み]度も]いRAM動作を使う場合と、ストレージとして使う場合の2つの場合を[定して、高]のストレージメモリとパーシステントメモリという2レベルのメモリと位けている。今vのメモリの動作はどの位にくるのかはまだらかではない。

(2019/08/13)
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