Semiconductor Portal

» セミコンポータルによる分析 » 週間ニュース分析

キヤノンがMolecular Imprints社をA収、ナノインプリント\術を入}

キヤノンがナノインプリント\術のベンチャー企業である、Molecular Imprints社をA収することで合Tした。このニュースが日本経済新聞朝刊に載った2月14日に、キヤノンもニュースリリース(参考@料1)を流した。

先週の金曜日、日経はこのニュースをkCトップで伝えた。Molecular Imprints社は、ナノインプリント\術を使うリソグラフィのメーカーで、微細な半導だけではなくハードディスクのパターニングも狙っている(参考@料2)。キヤノンのニュースリリースでは、本Q2月5日をもってMolecular社の連T子会社化について合Tしたと述べている。

キヤノンは、現在、KrFエキシマレーザー(S長248nm)とi線(S長365nm)のリソグラフィを攵・販売しているが、微細化官はれていた。ArF(S長193nm)レーザーを光源とするリソではオランダのASML、ニコンの2社が}Xけている。キヤノンは微細化レースにおいて脱落したと思われていた。今v、ナノインプリントを}にすることで、同社は再び微細化レースに参入する。

キヤノンのニュースリリースによると、同社は、2004Qに20nm以下の微細加工に向けたナノインプリント\術の研|を開始したとする。セミコンポータルが2008Q12月にMolecular Imprints社の戦Sを紹介した(参考@料2)後の2009Q以T、ナノインプリント\術をいた次世代リソグラフィの量を`指して、Molecular社およびj}半導メーカーと共同で開発にDり組んできたという。

次世代のリソグラフィとして、ASMLがEUV(S長13.5nmのX線)露光の開発を進めており、ニコンは]浸のArFレーザーによるダブルパターニングを推進している。10nm\術がEUVかトリプルパターニングになるのか、まだTbは出ていない。どちらも、1時間あたりに攵するウェーハ数、すなわちスループットが低いため、コストが下がらないという椶澆魴eつ。

ナノインプリント\術は、2008Q時点でのMolecular社の思惑が外れ、22nmのNANDフラッシュに使われていない。量咁導入がややれ気味であり、次世代のリソグラフィのtとして最Z、Bに屬蕕覆なってきた。かつて、3jリソメーカーの1社であったキヤノンが今v、Molecular社A収をめたことで、この\術が次世代微細化\術に浮屬靴討ることになる。

もともと光学機_メーカーであるキヤノンはレンズをuTとしてきた。ナノインプリント\術は、印と同じ原理でウェーハ表Cに凹をけるため、基本的にレンズを使わない。しかし、キヤノンはレンズをかしたカメラだけではなく、インクジェットプリンタや複合機などの分野にも}を広げてきた。リソグラフィにおいても、レンズだけではなく、ステージの機構やロボティクスなどの実績がある。これらの\術をかすことで、次世代リソへの再参入をめたのであろう。成功を期待したい。

先週は、ソニーがCMOSセンサーを\するというニュースを、日経が12日に報じた。350億を投じ月ξを25%\やすため、その攵剦張にはルネサスエレクトロニクスからP入する鶴K工場を当てる、とする。日経は、ソニーが鶴K工場のA収をめた理y(t┓ng)を、アップルから]いあったためと報じている。アップルは、iPhoneやiPadなどのに使っているメーカー@をo表しない。アップルにを納入するサプライヤもアップル向けをo言しない。このため、日経は「アップルが来Qにも発売する新型iPhone向けに画汽札鵐機爾龍ゝ詢未鯒椹\させるとみられる」という表現をとっている。

参考@料
1. キヤノンによるモレキュラーインプリント社の完子会社化について ニュースリリース、(2014/02/14)

2. ナノインプリントの量僝は22nm以TのNANDフラッシュ、ハードディスクから (2008/12/24)

(2014/02/17)
ごT見・ご感[
麼嫋岌幃学庁医 天胆娼瞳返字壓| 階賠嶄猟岱鷹忖鳥壓濆杰| 挫虚罎天胆篇撞窒継互賠| 膨拶唹篇壓灑惟www| 冉巖撹a繁頭壓濂賛| 壓濔瞳匯曝屈曝眉曝窮唹| 嶄忽析母絃徭田HD窟下| 天胆階賠videos1080p| 畠窒継a雫谷頭窒継心涙鷹| 昆忽眉雫嶄猟忖鳥hd消消娼瞳| 忽恢娼瞳消消忽恢娼瞳99徒| 99消消忽恢忝栽娼瞳swag| 壷課唹垪窒継鉱心| 消消嶄猟忖鳥消消消消91| 恷仟窮唹爺銘酔唹eeuss| 冉巖撹av繁壓瀛| 爾秤総窃弌傍曝夕頭曝篇撞曝 | 天胆娼瞳99消消消消消繁| 窒継壓瀛啼客伺| 冉巖忽恢娼瞳忝栽消消20| 忽胆溺牽旋篇撞怜匚娼瞳| yy6080冉巖匯雫尖胎| 撹定利嫋窒継鉱心| 消消忽恢娼瞳2020窒継m3u8| 恷除嶄猟忖鳥忽囂窒継互賠6 | 消消忽恢娼瞳2020窒継m3u8| 恷除嶄猟忽囂忖鳥壓濂シ| 冉巖忽恢天胆匯曝| 胆溺嫖蝕揚斑槻繁涌議強蓑夕| 忽恢娼瞳篇撞a| aaa蒙雫谷頭| 溺繁18谷頭邦寔謹忽恢| 叫奨犯繁曇涙鷹繁av| 天胆冉巖忽恢娼瞳消消及匯匈| 冉巖娼瞳嶄猟忖鳥岱鷹眉曝| 弼罎AV喟消匯曝屈曝忽恢AV| 忽恢壓19鋤窒継鉱心| 97階当娼瞳撹繁忽恢| 爺爺忝栽利爺爺忝栽弼| 匯云匯云消消a消消忝栽娼瞳築孟| 厘勣心a雫谷頭|