セミコンジャパン2012に向け、���]����の発表��く
今週、半導��プロセス最�jのイベントである、セミコンジャパンが幕張メッセで開��される。このイベントに出�tする半導�����]����メーカーの発表が相次いだ。クアルコムが100ドルスマホ向けのソリューションを中国などで進めているという記��もある。
�j日本スクリーン���]が厚さ80μmのウェーハを��浄できる����式��浄����「SU-2000」を開発したと日経�噞新聞が報じた。裏�C照�o型CMOSイメージセンサやパワー半導��などシリコンウェーハを薄く削る半導��チップの��浄に向く。��来はロジックチップやメモリのTSV（through silicon via）を�W��した3次元ICにも応��できる可��性があり、�t��予定のセミコンジャパンでも�R�`を集めそうだ。
日刊工業新聞は11月28日〜30日の3�vに渡り、半導�����]����・検�h����の連載インタビューを掲載した。現�Xではパソコン業�cに陰りが見えているが、スマートフォンやタブレット�x場が好調で半導��メーカーの設��投�@が拡�jすると、アドバンテストの松野晴夫社長は見ている。ディスコの関家�k�[社長もノートパソコンからスマホやタブレット、�O動�Zという新しい主役に交代する�X況を把�曚靴討�り、半導����要が縮小する理�yはない、と述べている。これらと�款氾�に、アルバックは、�陵枦澱咾筌侫薀奪肇僖優襯妊�スプレイから半導��へ戻ってきたが、同社の小日向久�E社長は、TSMC以外の半導��メーカーは投�@を抑えると見ている。長�Q、半導���噞に集中して世�cと戦ってきた����メーカーと、半導���噞と�陵枦澱�、�]晶�噞と�}を広げてきたメーカーの見�気�異なるところが�C白い。
ディスコは中古����のビジネスも�啣修垢襪�、その狙いについても関家社長は述べている。同��は、中古業�vのメンテナンス��不�Bによって、ディスコのイメージダウンが��きる可��性を懸念しており、�O社がメンテナンスして売る�気�その�e険は少ないとする。中古ビジネスが始まった2000�Q代はじめに、金融・サービスのある企業が中古����ビジネスを�}�Xけ、エッチング����を�p�Rしたのにスパッタ����を売った、というしゃれにもならないﾍ�Bを、�盜颯瓮妊�アが伝えたことがあった。
半導�����]����やクリーンルームに使われるウェーハ搬送ロボットとして、ダイヘンが接地�C積と消�J電��を抑えた����「アクトランスRD5700」を、また平田機工が450mmウェーハ�官�の搬送ロボット「AR-Wnシリーズ」を、発表している。
サムコはSiCパワー半導��向けのドライエッチングRIE����「RIE-600iP」を発表、セミコンジャパンで紹介する。SiCのパワーMOSFETは、そのオン�B�^を削��するためトレンチ構�]を設ける動きがある。SiCにトレンチ構�]を、高い量�掚で形成するためのエッチング����となる。
セミコンジャパン以外のニュースとして、ファブレス半導��トップのクアルコムが100ドルスマホキットを提供し、中国などの新興国�x場を狙うという記��を日経�噞が12月3日に掲載している。最�Z、半導��メーカーがユーザー企業（OEM企業）に�瓦靴謄船奪廚鬟愁侫肇Ε┘�、サービスと共に販売するソリューションビジネスへと変身している。
これまで中国の携帯電�B�x場は2Gが主��で、�兀謬，扉}ぶ模倣��電�B機が普及しておりチップを��湾メディアテックが提供していた。このためクアルコムは2Gの中国�x場では�咾�なかった。しかし、3Gではクアルコムが基本����を�eつCDMA�擬阿砲覆襪燭瓠�同社はこれまでの実績を元に3GのCDMAチップと開発環境「QRD（クアルコムリファレンスデザイン）」を提供し、中国�x場を席巻しようとしている。3Gはクアルコムの����を使わなければメディアテックでさえ設��できない。携帯電�B機メーカーにとっては、この開発環境があれば�~単に設��できる。クアルコムのサポートも�pけられる。クアルコムの成長は今後も��く。
