日本からは日立ハイテクノロジーズ、�j(lu┛)日本スクリーン���]、東�Bエレクトロン、日立国際電気、ニコンの５社がTop10にランキングした。Top10には、Varian Semiconductor、Novellus、Lam Researchの�盜餞覿�3社、ASML、ASM Internationalの欧�Υ覿�2社が入った。
VLSIリサーチ社の調�hは、世�cの半導�����]����バイヤーの95%をカバーするカスタマー企業の個人宛(48255�@��)に配布されており、分野別にカスタマーサティスファクション度によりランキングが発表されている。
ランキングは、13項�`に�h価総合によるもので、13項�`には、プロセスサポート、フ��ールドエンジニアリングサポート、スペアーパーツサポート、アフターサポート、�\術指導、確約などのカスタマーサービスに関わる６項�`、Cost of Ownership（COO）、アップタイム、実スループット、ソフトウエア、ビルドクオリティ、成果の����、����性�Δ覆匹�����性��性に関する7項�`が含まれる。

なお、この調�hに参画したユーザーの地域分析は、���櫃�29.9%、欧�Δ�20.5%、中国が12.9%、��湾が8.4%、日本が8.1%、�f国が6.0%、その他14.3%となっている。