◆調�h�T果の��要

　マイクロマシン�\術の�W(w┌ng)��は情報通信分野、�O動�Z、バイオ、インダストリアル、医��など、�H��(sh┫)�Cに広がっている。��にデバイスが小型化された「MEMS」�\術の進歩が著しく、携帯電�Bにはマイクロ加�]度センサ、マイクロ照度センサ、シリコンマイクなどが搭載されはじめ、ナビゲーション、��(d─ng)度調�D、高音��などの機�Ω��屬帽弩イ靴討い襦�また�O動�Zには圧��センサや加�]度センサなどが搭載され�W��性が向�屬掘���適な運転を可�Δ箸靴討い襦�

　MEMS�x場がマイクロマシン�x場の�Hくを��めているが、��(j┤ng)来的にはメカ的マイクロマシンの実��化が進み、双��(sh┫)の融合が進んで行く。現�Xのメカ的マイクロマシンで�x場が形成されているのはデスクトップファクトリーなどのプラントである。今後は小型のケミカルプラントやマイクロロボット、マイクロモータなども徐々に実��化に向かうとみられる。さらに、プラントがマイクロマシンを?y┐n)��]することも期待される。メカ的マイクロマシンの�x場はまだ小さいものの、今後モノづくりの変化を�任靴討い�ことは確実である。

　MEMS���]����も現�Xでは�J�Tの半導�����]����の流��が可�Δ覆燭畚j(lu┛)きな�x場にはなっていない。MEMSファウンドリーサービスは当初、余剰�攵��ξ�の�~効����という�T味合いが��(d┛ng)かったが、現在は戦�S的にMEMS���]ノウハウを?q┗)���する考え�?sh┫)に変わっている。今後、半導��ファウンドリーのように�k定のポジションを確立すると考えられる。現�Xでは�x場が顕在化しているMEMS�x場を中心に構成されているが、�Zい��(j┤ng)来マイクロマシンの�x場は、周辺�x場を巻き込んで、デバイスと����のマイクロ化の連鎖によって拡�j(lu┛)していくと予�Rされる。

◆�R�`�x場

（1）シリコンマイク
国内�x場��模　2006�Q見込　21億��　2010�Q145億��　（�P長率690%）

　小型マイク�x場は現在、ECM（エレクトロ・コンデンサ・マイク）が主流となっているが、携帯電�BやPDA、デジタルカメラなど、モバイル機�_(d│)の普及に伴い、マイクの小型化が�k段と進んでいる。ECM代������としてシリコンマイクが期待されており、携帯電�Bなどのモバイル機�_(d│)を中心に採��が進んでいる。シリコンマイクは音圧を感��(m┬ng)するセンサで、Si薄膜とキャパシタの��電容量変化から音�m信��(gu┤)を読み�Dる。ECMと�j(lu┛)きく異なる点は、はんだリフローにより表�C実�△�可�Δ覆海箸如▲愁吋奪箸鮖箸���要がない分���]コストを低��(f┫)できる。ただし、ECMは���]工��が確立されているため低コスト化が進んでおり、トータルコストでは現在のところ�{�JECMが割�Wである。

　�x場は2002�Q頃から形成され始め順調に推�，靴討い襦９馥瞻x場ではノウルズ・エレクトロニクス・ジャパンが参入している。�x場拡�j(lu┛)に伴い、今後は国内ECMメーカーも参入してくるとみられる。ワールドワイドでは、Akoustika（��(sh━)）、Sonion（デンマーク）などが参入しているが、実績はまだ少ない。現�X、価格はECMより0.2ドルほど高いが、量��が進み、参入企業が�\えるに��い、低価格化が進むとみられる。携帯電�Bへの採��が本格化したことから、今後出荷量が�\加していくと予�Rされる。

　アプリケーションとしては、携帯電�B向けが90%（数量ベース2006�Q見込）を��めている。機�_(d│)の薄型化に伴いマイクの小型化が��に求められている����である。他のアプリケーションとしてはデジタルカメラ、ゲーム機、ICレコーダーなどであるが、小型化のニーズが低く、コスト�Cなどがネックとなり、�k�陲竜○|への採��にとどまっている。今後�~望��される分野は、�Zい��(j┤ng)来にパソコンOSに搭載されると見込まれる音�m認識ソフトの音�xサポート��である。また、シリコンマイクは��来のECMと比較して�a(b┳)度劣化しにくいという��性を�eつことから、�O動�Zへの搭載も充分可��性がある。さらなる量��により、�O動�Z電����メーカーなどへの�W定供給���U(ku┛)が確立されれば同分野の構成比が高くなっていく。

（2）マイクロ圧��センサ
国内�x場��模　2006�Q見込　375億��　2010�Q520億��　（�P長率139%）

　マイクロ圧��センサは、ピエゾ�B�^型、��電容量型などがあるが、現在はピエゾ�B�^型が�Hい。ピエゾ�B�^型は、応��に伴い拡�g歪ゲージの�B�^率が変化し電気信��(gu┤)を�u(p┴ng)る。�O動�Z����中心の�x場で、数量ベースでは93%（2006�Q見込）を��めており、エンジンコントロール、��圧コントロール、カーエアコン��として採��されている。また、タイヤの空気圧検��(m┬ng)��としてすでに��(sh━)国を中心に採��が始まっており、今後は国内での普及も期待される。他のアプリケーションでは、医����やＦＡ関連、�Q�|���R�_(d│)などで採��されているものの、�j(lu┛)幅な採��には至っておらず、現�Xは�O動�Z����中心である。デンソー、ボッシュなど�Z載電����メーカーが�O社電����向けに内��するケースが�Hく、この内��化の動きは今後も��(d┛ng)まって行くとみられる。他の����にも研�|開発が進んでいるが当�Cは�O動�Z����がメインとみられる。

◆マイクロマシン関連�x場のアプリケーション

　主な����は携帯電�Bと�O動�Zである。この分野は高��加価値化が���]に進んでおり、アプリケーション�O��の進化も著しい。��(j┤ng)来的には携帯電�Bはウェアラブル化や、リモート�U(ku┛)御のコア的なツールへの進化、�O動�Zは�O動運転システムへと進化するなど、さまざまな可��性を�eっている。

　携帯電�Bは、すでにマルチバンド化、TV、音楽プレーヤーとしてのメディア�W(w┌ng)��、省電��／長時間�W(w┌ng)��、高音��、ナビゲーション機�Δ覆鼻⇒諭垢���(sh┫)向からの開発が進められている。今後もあらゆる機�Δ魴eち合わせた����となっていく。そのため、常に新しい発�[が�Dり入れられ、それを現実化していくためにマイクロマシン�\術は無くてはならないものとなっており、今後も携帯電�Bの進化を�Г┐討い��\術である。現在のところフラッグシップ機、ハイエンド機への採��となっているが、GPS機�Δ虜Y��搭載などの動きもあり、今後3軸地磁気センサなどはミドルレンジ向けへの採��も�\えていくとみられる。また、ナビゲーション機�Δ任�6軸モーションセンサなどの3軸加�]度センサと3軸地磁気センサのハイブリッドタイプも開発されており、高�@度の電子コンパスとしてハイエンド機を中心に搭載されていく��(sh┫)向にある。

　�O動�Z向けとしては、マイクロ加�]度センサ、マイクロ圧��センサ、マイクロジャイロの採��が�\えている。あくまでも�Z両運転における�W��を�`的とした�W(w┌ng)��がメインとなっているが、最�Zではカーナビなどの電子機�_(d│)に組み込まれるケースも�\えてきている。�W��・�W心に加え、��適といった�菘世�らの採��も�\えていくとみられる。高級�Zなどのハイエンド向け�Z�|へ�Hく採��されており、�O動�Zメーカーとしても�W��・��適を�i�Cに出し、差別化を図っている。最�Zではミドルレンジの�Z�|などへの採��もでてきており、また、バイクへの応��もでてきている。�k�陲�750ｃｃクラスの�j(lu┛)型�Z�|で横転時のエンジン�U(ku┛)御��などにマイクロ加�]度センサやマイクロジャイロが採��されている。

　他のアプリケーションで今後期待されるのは、AV機�_(d│)、OA機�_(d│)、白�餡氾電�のアプリケーションである。現在の採��率は低いものの、アプリケーションの��要量から見てもポテンシャルが高い。アプリケーションの��徴としては2つに�j(lu┛)別される。�kつはMEMS機�Δ�����のキーテクノロジーとなって�i�Cに出てくるもので、ゲーム機などがこれにあたり、任�W堂「Wii」のようにマイクロ加�]度センサなどの機�Δ鮠W(w┌ng)��しバーチャルリアリティを実現している。もう�kつは����の高��加価値化に貢献するが表�Cには出てこない採����(sh┫)法である。白�餡氾鼎凌絨霧���(m┬ng)、�O動�Zの空気圧検��(m┬ng)、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラの�}ブレ����などの機�Δ任△襦�マイクロマシン機�Δ鱠��C的にあるいは裏��(sh┫)的に�W(w┌ng)��するなどでアプリケーションの可��性は�j(lu┛)きく広がり、��(j┤ng)来的には、アプリケーション単��としての高��加価値化が進むとともに、ホームオートメーションなどのネットワークと連動するなどして機�Δ靴討い�。

　在�甍綢�機�_(d│)や携帯型オーディオは、すでにマイクロマシンの採��率は高いが、ネットワーク化などでアプリケーションの可��性が広がり、マイクロマシンの採��が拡�j(lu┛)していく可��性をもっている。

◆調�h����(j┫)

　本報告書では、マイクロマシンを『小さなデバイスから小さな����』という広�Iで捉えている。現�Xでは、小さなデバイス（=MEMS）の�x場が先行し、ナノテクノロジーへと進化を�~げ、�x場が形成されているが、小さな����（=狭�Iのマイクロマシン）はまだ模索の段階である。小さなデバイスを?y┐n)��]する����（=MEMS�攵摚�◆砲蓮▲廛蹈札更���のため小型化はあまり求められていないのが実情である。

フルレポートはhttps://www.fuji-keizai.co.jp/report/index.html?keyword=140607814にて�P(gu─n)入可�Α�