図1　MEMSおよびセンサの工場への投�@�Yが成長 出�Z：SEMI

MEMS（Micro- Electro- Mechanical System）は機械的なセンサはもちろん、アクチュエータとしてビデオプロジェクタやインクジェットプリンタヘッドにも使われてきたが、IoT時代には加�]度やジャイロ、圧��などのセンサとしての使��が�\えることは間違いない。

SEMIは、230社以�屐�400カ所以�屬竜鯏世砲弔い董�MEMSとセンサ（光センサ含む）の�攵��ξ�（200mmウェーハに換�Qした��数）を2012�Qから2023�Qに渡って調�hした。これによると、MEMSのファブは、2023�Qには����の46%に達することになりそうだ。また、イメージセンサのファブは����の40%になると見ている。残りの14%はイメージセンサ以外のセンサでMEMSを使わないものとなる。

ファブの���]����への投�@�Yは2018�Qから2023�Qの間にほぼ40億ドルに達するとして、そのうちの70%が300mmのイメージセンサ工場への投�@になるという。この中にソニーが長崎に1000億��の新工場を建設する分が含まれているのかどうかは不��。

地域別に見ると、日本のファブへの投�@�Yが最も�j(lu┛)きく2018�Qにはトップになり、��いて��湾、��(sh━)国、欧��/中東、さらに中国、という順番になりそうだという。2020�Qには日本は20億ドルに達しトップだが、23�Qには��湾がトップになり16億ドルを投�@し、中国が��3位になると見ている。2023�Qでも��湾と日本が��1位と2位をキープすると予�Rする。

2018�Qから2023�Qまでに新しい量�妌場は14工場が建てられるとしており、8インチから12インチまでのウェーハをプロセス処理する。この内で中国が最も�Hくの工場を建てると見ている。