シリコンビジネスは劉彌任卿だけではない、アプライドの糠里維
アプライド マテリアルズ ジャパンは、シリコン染瞥攣ビジネスをさらに裁廬させるためのビジネスモデルを臘妄、浩菇蜜し幌めた。寥駿を絡(luò)きく4つにまとめ、シリコンシステムズ、ファブソリュ〖ションズ、ディスプレイ、エネルギ〖&茨董とした。
呵奪券山が攔んな呂哇排糜禍度は4戎謄のエネルギ〖□茨董だが、シリコン染瞥攣を面看に企つの嬸嚏にしっかりとフォ〖カスすることを浩千急している。
2007鉗刨媽2煌染袋の卿懼光はシリコン染瞥攣の2嬸嚏で91◇を貍め、糠しい減廟光は94%も貍める。これは閉窘をはじめとするフラットパネルディスプレイ禍度の減廟が負(fù)警しているため。
染瞥攣供眷で銳やされる肩な銳脫を絡(luò)きく3つに尸けると、炮孟氟濕、劉彌、蒼漂箕の久套墑に尸かれる。このうち炮孟氟濕は10帛ドル、劉彌は30帛ドル、蒼漂箕の久套墑は60×80帛ドルにも茫する。染瞥攣プロセス供眷で呵も光馳の銳脫が、染瞥攣羹けガスや嬸亨、嬸墑などの久套墑や蒼漂するためのユ〖ティリティなどのコストである。ここがこれからのシリコン染瞥攣ビジネスにとって絡(luò)きなビジネスチャンスとある。
アプライドにとって、ファブソリュ〖ションズˇビジネスは、劉彌の材脫拉(アベイラビリティ)を懼げるため、劉彌柒麗爵のMWBC∈ある麗爵泣と肌の麗爵泣までの粗に借妄できるウェ〖ハ綏眶∷を懼げる度壇にも蝸を廟いでいる。劉彌の柒噬に燒緬した濕劑の尸老や麗爵、燒緬させないための浩コ〖ティングなどがサ〖ビスメニュ〖としてあり、杠狄にもよるが、50%×900%の猖簾がみられている。
裁えて、墑劑瓷妄やごみ浮漢、補(bǔ)刨盧年などで蝗うダミ〖ウェ〖ハの浩欄にも蝸を掐れている。2007鉗6奉に駱涎にウェ〖ハ浩欄センタ〖を侯り、ダミ〖ウェ〖ハの山燙を猴り、獨(dú)燙甫酸ウェ〖ハに浩欄するというビジネスでも浩欄ウェ〖ハの綏眶を驕丸よりも3擒に籠やすことができたという。
糠房劉彌の倡券に緘を卻くわけではない。7奉勢柜のサンフランシスコで倡かれたSEMICON Westでも糠しい劉彌を2鹼梧券山した。辦つは、45nm笆慣で何脫が塑呈步するとみられているHigh-kゲ〖ト亨瘟とゲ〖ト垛擄を妨喇するための劉彌である。もう辦駱はダブルパタ〖ニング禱窖に蝗う孿姥ˇエッチング劉彌である。
CMOSロジックの答塑攙烯に蝗うHigh-ｋゲ〖ト投排攣遂は、帽馮窘山燙に敗瓢刨を懼げる腸燙霖、SiONx霖、HfO2霖からなり、その懼にゲ〖ト垛擄を妨喇する。nチャンネルとpチャンネルのMOSトランジスタでゲ〖ト垛擄が佰なるため∈ゲ〖トしきい排暗をそろえるため∷、ゲ〖ト冷憋遂の孿姥、ゲ〖ト垛擄の孿姥、ゲ〖ト冷憋遂/垛擄スタックのエッチングという辦息の供鎳をそれぞれ漓脫の劉彌で乖うことになる。エッチング脫に海攙、糠たにCarina Etchと鈣ぶ劉彌を倡券、鷗績した。この劉彌はHigh-k荒偽濕やシリコンのリセスがないように光補(bǔ)でエッチングするという潑魔をもつ。濕妄弄に庫木に猴る侯脫と補(bǔ)刨を擴(kuò)告する禱窖がカギだという。
ダブルパタ〖ニングは裁供潰恕を腆染尸に腮嘿步できる緘恕で、リソグラフィ禱窖で菇喇したレジストパタ〖ンに極甘臘圭弄に婁噬を侯り、その婁噬を荒してパタ〖ンとする禱窖である。レジストパタ〖ンを閃いた稿に、レジストパタ〖ンを猴って嘿くしておく澀妥がある。コンフォ〖マル拉の光い婁噬を妨喇するための孿姥劉彌ACEを海攙、鷗績した。
