ISMI/SEMATECHが環境負荷を削��(f┫)するESH Technology Centerを設立へ
SEMATECHの組�Eの�k�陲任△�ISMI（International SEMATECH Manufacturing Initiative）が、ESH Technology Centerを開設する��画があることを、ハイアットリージェンシー東�Bにおいて開��されたISMI/SEMATECH Symposium Japan 2008で��らかにした。ESH（Environment, Safety, Health：環境、�W��、健康）問��は世�c中で気にしなくては半導���噞を��(j┤ng)来にわたって�e��させる�屬拍L(f┘ng)かせなくなってきている。ISMIはESH問��をリードするアイデアを発表した。
このプロジェクトは、ISMIの会�^企業ではない半導��メーカーや����メーカー、材料メーカーに�瓦靴討皀�ープンにしていく��画で、詳細はまもなく��らかにする。欧�Δ�REACH（Registration, Evaluation, Authorization of Chemicals）���U(ku┛)とも歩調を合わせ、環境に�K影�xを及ぼす材料、化学����を削��(f┫)し、プロセスを改��していく。ESHへのインパクトができるだけ少ないような新しい化学����や材料、プロセスを���]に使うようにしていく。
ユニークな点は、KEPI（Key Environmental Performance Indicator）と�}ぶ環境負荷を表す指数を導入することだ。この指数を�Y����格として半導���噞の環境負荷の削��(f┫)�`�Yを立て削��(f┫)を実行していく�屬任凌�値とする。例えば、省エネの場合にはkW/時/デバイスとか、デバイスやウェーハなど何らかの数量でノーマライズして省エネや�~害����など環境負荷の度合いを半導�����]���~の指数で�Rろうとする。KEPI（ケピと発音）を半導�����]���~の環境指数として、原材料からプロセス、アセンブリ工��に至るまで半導�����]のすべての工��に適��できるようにする��画だ。
この指数をもとにESHの監�hを導入することも��画しており、ISO14001のように環境負荷の削��(f┫)��画を実行し、それを監�hしていくような���U(ku┛)を構築していく考えだ。
ESHを守ることは、���]で使��する電��エネルギーや水、化学����の量をできるだけ��(f┫)らしていくことからコスト削��(f┫)にもつなげていくとしている。ISMIの統括�vでSEMATECHのManufacturing Technologyのバイスプレジデントである、Scott Kramer��は、「450mm工場を作る場合には最初からグリーン工場にしなければいけない」としている。
このESH Technology Centerの最初の設��場所はまだ��まっていないが、世�c中に設��していく考えを�eっている��「世�cの半導���噞にいるみんなが環境負荷の削��(f┫)に�Dり組み企業価値を�屬欧討い韻襪茲Δ砲靴燭ぁ廚�Kramer��はセミコンポータルの��問に答えた。
