High-NAのEUVリソグラフィ劉彌の肌となるか、Hyper-NAのEUV倡券紛茶
リソグラフィ呵絡緘ASMLはIntelのオレゴン供眷にHigh-NA∈Numerical Aperture¨倡庚眶∷のEUV劉彌を介叫操したが、長嘲剩眶のメディアによると、玲くも肌のHyper-NAのEUV劉彌倡券が幌まりそうだ。驕丸のEUV劉彌のNAは0.33でHigh-NA劉彌は0.55、そしてこれから倡券するHyper-NAは0.75となり、これまで笆懼に腮嘿裁供が材墻になる。
哭1 imecのイベント、ITF World2024がベルギ〖のアントワ〖プから幌まった
ベルギ〖の坤腸弄な染瞥攣甫墊怠簇Imecの鉗肌イベントであるITF World 2024において、ASMLの家墓敷CTOで附哼もアドバイアリを壇めるMartin Van den Brink會がHyper-NAの倡券紛茶を湯らかにした。ITF Worldはimecが塑眷ベルギ〖でのイベントを乳磊りに坤腸稱孟で倡號される。泣塑でも髓鉗11奉に倡號が徒年されている。
附哼呵黎眉のHigh-NA EUVリソグラフィ劉彌は1駱腆4帛ドルと光擦だが、糠しいHyper-NAの劉彌はさらに光くなると斧ている。瓤紀ミラ〖のサイズや綏眶が籠えるからだという。
そこで、劉彌のスル〖プット∈1箕粗碰たりのウェ〖ハ借妄綏眶∷を懼げることでチップコストを布げることができると斧ている。そのために、附哼、200wph∈wafers per hour∷というウェ〖ハ借妄廬刨を2擒笆懼の400×500wphに懼げる、としている。
附哼のNA0.55というHigh-NA劉彌では、僑墓13.5nmに灤して、呵井俐升10nmの泰な芹俐を閃くことにこの4奉に喇根したとASMLはSNSのX∈奠ツイッタ〖∷で揭べている∈徊雇獲瘟1, 2∷。IntelはHigh-NAの劉彌≈EXE:5200∽をオレゴンの瀾墑倡券供眷で瞥掐し、Intel 14Aプロセスノ〖ドで蝗うと斧られている。
附哼の舍第袋であるNA0.33の劉彌は僑墓13.5nmを呵井潰恕としているが、High-NA劉彌では呵井俐升8nmが材墻になるようにASMLは肋紛しているようだ。さらにその黎のプロセスノ〖ドでは、悸潰恕は湯らかにされていない。
徊雇獲瘟
1. ASMLのXのポスト、(2024/04/17)
2. "ASML Sets Density Record with Latest Chipmaking Tools - High-NA EUV Equipment Prints First Patterns", tom∏s HARDWARE, (2024/04/18)
