図1　�t��会「インターフェックス」に出�tしたNECファシリティーズ

かつての半導��工場では、ウェーハを処理するプロセス工��での歩�里泙蠅筌好襦璽廛奪箸慮��屬覆匹��R��しているエンジニアがいる�k�気如⊃紊簗���、ガスなどの施設にも人�^が張り��いていた。この施設の�霾�をアウトソースして、本来の半導���攵掚向�屬暴乎罎垢襦△箸い�考え�気�最�Zは�\えてきた。施設の管理や運��では、半導���\術そのものとは異なる独��のノウハウがあり、高いスキルを�eつ人材を確保することが�Mしい。現在の人�^が高齢化しているのに、採��も育成もできない。設�△離肇薀屮襪��v�cして�W定に�n働させたくても人�}不�Bが最�jの問��となっている。

そこで、水・薬��・ガスなどのファシリティをアウトソースするための業�vとしてNECファシリティーズがある。だからといって、同社も人�^が満たされているわけではない。人�^不�Bを解��するため、研�Tなどを積極的に����し育成している。研�Tするための施設「FM-Base」も設立する（図2）。2024�Q5月の�n働予定だが、�{�^期間を��来の半分に��らすことを�`的としている。様々な設�△貌Dり��けた警報が出た時の訓�aを行い、��故などに素早く�棺茲垢襪海箸鯀世Α８��Tを終えたら、人材を顧客の工場に派遣し常駐させる。これによって24時間交代�Uを採りながら顧客の工場を常に見守っていく。

図2　早期育成を狙った研�T施設「FM-Base」　出�Z：NECファシリティーズ

実際の運��管理では、30分に1�v保守要�^が巡�v点検を行うが、この巡�v点検の約7割が�`��による点検だという。メータの読み�Dりや、バルブの開閉�X��、�U御盤のランプの点�i確認、設�△良戎�パネルの内容確認などを�`��で検�hしてきた。

そこで、�`��検�hを�O動化しようという動きも出てきた。2022�Q4月には3Dビューと振動����を組み合わせた設�△琉枉鑞獣�検�凜轡好謄燹�NEC DFM Presagio」を発表、半�Q後にはリアルタイム映�飢鮴呂鮖箸辰唇枉鑞獣�検�凜轡好謄燹屐�NEC DFM Presagio II」を構築した（図3）。映�飢鮴呂任蓮��`��データだけではなく複数のデータを�W��した異常判定のロジックを設定している。����的には、モータや軸�pけのスペックや施設が設��されている基礎の�|類など�^�a�\術�vが�eつ振動�|値のデータをAI（機械学�{）でトレーニングさせ、学�{データを基に�|値の予�R値を��める。

図3　カメラベースで����や設�△琳`��や振動センサで工場設�△良n働�X況を把�曄―儘Z：NECファシリティーズ

BCP（Business Continuity Plan：��業�M����画）�мqも行っており、これまでも地震や���uなどの��故に�瓦靴��мqを行い、素早い復旧を実現させてきた。地震や���u、洪水などの�u害に�瓦靴董∪��△�����を行い、施設の���唸���や���uのマニュアル作成など���iの�敢�を�]つ。

NECファシリティーズのビジネスは、施設の運��管理だけではない。工場��地の確保から工場建設、リスク管理、管財管理、工場�v収、工場解��、��地売却なども�pけ�eつ。実�z的なシステム教育も行っている。

また、クリーンルームは半導��以外にも医薬�����]や食�����]などの工場でも広がっている。そこで、この7月には医����や化粧��など���]に関する�t��会「インターフェックス」に出�t、半導��ファシリティーズの経�xを�擇�したビジネス�t開を行っている。