図1　ルネサスの甲�B工場　出�Z：ルネサスエレクトロニクス

旧150mmの工場はすでに��(g┛u)地になっており、200mm工場の建屋だけが残っていた。今�v残された工場（図1）に300mmウェーハの設�△�入れられるかどうかを検討してみたところ、搬入・設��できることがわかった。もちろん、使われてない工場の建屋なので、クリーンルーム、水や電気、ガス、薬��などの施設を�kから作り直さなければならないが、�mい土地はルネサスの所�~であるから、ここに300mmウェーハラインを作ることはできる。むしろ200mmライン向け���]����は入�}困�Mで中古でも�Dり合いになっている。

新工場で�攵�するのは、IGBT（絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）やパワーMOSFETなどのパワー半導��。日本で300mmウェーハのパワー半導���攵�ラインの設��を��式に発表しているのは、東��の加賀工場（加賀東��エレクトロニクス）だけで、今�Qの2月に発表し2024�Q度内の�n働開始を予定している。加賀工場は200mmウェーハラインを�n働させているが、同じ敷地内に300mmライン工場を設立する��画だ。ルネサスの300mmラインはこれに次ぐもの。

パワー半導��も経済�噞省の���\金����(j┫)となる����分野に採り�屬欧蕕譴討い襦�ルネサスは古い甲�B工場を再�擇気擦襪燭瓩�900億����度を投�@し、経済�噞省とも�g密に連携し、2022�Q中に実施する予定である。クリーンルームの�C積は1万8000平��(sh┫)メートル。

�L(zh┌ng)外のパワー半導��メーカーとして、ドイツInfineon Technologiesや��(sh━)ON Semiconductor、スイスSTMicroelectronics、オランダNXP Semiconductorなど欧��勢が��(d┛ng)いが、��て半導��専業メーカーであるのに�瓦靴董�日本のパワー半導��メーカーはほとんどが親会社の電���靆腓�����を収めるキャプティブマーケットだ。外販が少ないため、200mmラインで�科�だった。ルネサスとロームだけが半導��専業メーカーだけである。

これまでパワー半導��は工業��、�噞��が�Hく、クルマ��といえども�U(ku┛)御�Uに使われるだけで�Q率4〜5%成長に�里泙辰討い拭�それでも期待は�j(lu┛)きく、�x場調�h会社はパワー半導��の予�[を毎�Q下��(sh┫)�T��していた。しかし、クルマが今後EV/HEV、�\料電池�Zなどモーター�~動やオンボードチャージャー、DC-DCコンバータ、バッテリ管理システムなどパワー半導��が新たに使われる�v路（ECU）が�Hい。工場でも�H関�Iロボットが��躍するようになると共に工場でのモーターなどの�@密な�U(ku┛)御が求められる時代に入りつつあり、やはりここでもパワー半導��が�L(f┘ng)かせなくなる。

ルネサスは半導��専業メーカーだが、パワー半導��、入��ゲートを�~動するドライバIC、ドライバに指令を出すマイコンなど、パワー半導��を�~動するためのチップセットソリューションとして����ポートフォリオを�eっている。これがルネサスの��(d┛ng)みとなる。そして��(sh━)国シリコンバレーの経営陣たちと共に世�c�x場に����を売れる���U(ku┛)を�eっている。

甲�B工場への投�@は今の所、建屋の再�W(w┌ng)��だが、��(g┛u)地も�Hい。このため、さらにパワー半導���攵�への投�@を�\やして�\��(d┛ng)する場合でも、拡張は容易になりそうだ。