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図1　メルクエレクトロニクスの���K��業所　出�Z：Merck

Merckはヘルスケアで定�hのある化学薬��メーカーだが、日本法人のメルクエレクトロニクスの���K��業所は1984�Qの設立以来、半導��・ディスプレイ���]��フォトレジストおよび電子材料関連薬�� （現�級]、シンナー、リンス�]、���`�]、反�o(j━)防�V膜剤、密���\剤、絶縁膜形成剤、保護膜剤）などの �H岐にわたる����を開発してきた。日本の拠点は、メルクのグローバルな半導��材料��業に貢献しており、2021�Q1月には約 2,000万ユーロ（約27億��）を投じ、���K県���陲練X川�xで最�j(lu┛)��模をもつ�C積 6,000平��(sh┫)メートルの新施設を�A工した（図1）。

この���K��業所は研�|開発から���]までのラインが揃っており、「�W��操業と�W定供給」がこの��業所の価値となる、とメルクエレクトロニクス代表�D締役社長の�P田�M��は語っている。

Merckが扱う半導��プロセス材料は図2に��すように、パターニング、デポジション、平たん化�\術、エッチング、��浄、ドーピング、パッケージングなどのプロセスに及ぶ。この内、日本法人が扱うのは、パターニングとデポジションである。

図2　半導��プロセスを広くカバーする　日本法人の���K��業所ではパターニングとデポジションを扱う　出�Z：Merck

パターニングでは、フォトレジストだけではなく、プロセス改良ソリューション材料やプロセス薬��、DSA（Directed Self-Assembly）�\術などの材料を�eつ。

フォトレジストでは、エキシマレーザー向けのKrF/ArF��、リフトオフ��、イオン中のマスクとなる厚いレジストなどがある。プロセス改良ソリューションでは、反�o(j━)防�V膜や、パターン崩れを抑えるArF��浄�]、EUVリンスなどを揃えている。プロセス薬��では現�級]やエッジビードリムーバーなどを�eつ。

デポジションでは、CVD��のプリカーザーとなる材料に加え、SiO2をスピンオンガラスで形成するための材料を�eっている。メルクエレクトロニクスによれば、CVDの材料だけではなく、スピンオン絶縁材料と両��(sh┫)を�eつ化学��メーカーはMerckだけだという。

現代社会は先進デジタル����様式（Advancing Digital Living）になっている、とMerckは見ており、そのために��要な半導����要が拡�j(lu┛)すると共に半導��不�Bも当�C��くと予�[する。さらに2020�Qから始まった新型コロナのパンデミックとデジタルライフは新しい��要を作り出しているため、半導����要はますます高まると見ている�����K��業所には現在250�@いるが、最終�Qの2025�Qまでに30�@を�\�咾靴�280�@に�\やしていきたいと�T気込んでいる。