図1　SkyWater社のMPW向けの90nmプロセスPDK　出�Z：SkyWaterホームページ

ローテク�_��のトランプ��権誕�擇砲茲�、オバマ元�j(lu┛)統�襪�2度3度と�Bを運んだニューヨーク�Ε▲襯丱法爾離魯ぅ謄�地区から、GlobalFoundriesが�eを消し、アルバニーの��動が停�]していた。今�Qになり、ハイテク地区を復��させるべく�盜颪鉾焼������]業を�啣修垢���動が高まっている。2017�QにSkyWater社は独立�UのファウンドリとしてCypressから工場を�A収、少しずつ微細化を進めている。ミネソタ�Δ離屮襦璽潺鵐肇鵑砲△�SkyWater社は、今�Qの9月には�盜駛描躱福�DoD）から1億7000万ドルで工場拡張に��工し、ミクストシグナルICやパワーマネジメントIC、耐放�o線IC、3D-ICなどの����向けプロセスを揃え始めた。Cypress時代、2005�Qに65nmの認定プロセスまで進めていた。SkyWaterは130nmプロセスから始め、今�vは90nmプロセスのPDKを揃え、顧客へのアプローチを始めることになる。

2021�Q�i半にサービスを開始する90nmの耐放�o線ICプロセス（RH90）プラットフォームを顧客のIP開発にMPWサービスを提供する。RH90の設��キットを作成するために、��Trusted Semiconductor Solutions社と提携、ASIC設��やアセンブリ、テストなどで協��する。RH90プロセスは、FDSOI（完��空��化Silicon on Insulator）のCMOSプロセスを使い放�o線に�咾と焼���デバイスを���]する。SkyWater社はMIT（マサチューセッツ工科�j(lu┛)学）のLincoln研�|所からFDSOI�\術のライセンスを�pけ、防ﾅ向けだけではなく�k般�噞向けの����開発にも提供する。

RH90のプロセスデザインキットには、PDKに加え、放�o線に�咾ぅ札襯薀ぅ屮薀蠅筌灰△�IPブロックを�△┐討い�。SkyWaterのデザインキットを使って、CuベースのBEOL（配線工��）向けのDRM（設��リファレンスマニュアル）を改良し、1.2V、1.8V、3.3Vトランジスタ向けの新モデルやPCell、MIMキャパシタ、ツェナーダイオード、ポリ/シリサイド�B�^などを創り出す。放�o線に�咾ぅ妊献織襯薀ぅ屮薀蠅砲�、ASIC向けのI/OセルやPLL（位相ロックループ）、デュアルポートメモリなどがある。

SkyWaterの�\術開発兼実現可��設��担当のエグゼクティブVPであるJohn Kent��は、「RH90 PDKとIPライブラリの開発でTrusted社に�}伝ってもらった。早期開発パートナープログラム最初のMPWシャトルサービスの立ち�屬欧�RH90プロセスの�k�f塚になる。顧客のMPWシャトルを走らせることにより、RH90 PDKとIPブロック、設��・プロセスを�h価する絶好の機会となる」と�T欲的だ。

�盜馮�の独立�Uファウンドリが誕�擇靴�3�Q、ようやくビジネスにこぎつけた。設��に�咾��盜颪����]でも�咾�なろうとしている。筆�vには日本勢よりも��れてプロセス開発を始めた1990�Q代の��湾TSMCの�eと今�vのSkyWaterが�_なって見えた。

参考�@料
1. SkyWater Releases Early Access PDK and Partners with Trusted Semiconductor Solutions to Enable Design Kit for 90 nm Strategic Rad-Hard by Process Platform (2020/12/02)