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EUVの売幢Yが初めて光リソをsく、オランダASMLの3QQ

光リソグラフィの限cからEUVリソの開発をけてきたオランダのASMLの2020Q3四半期(3Q:7〜9月期)において、初めてEUVの売り屬欧他のリソグラフィ売幢Yをsいた(図1)。3Q におけるEUVの売幢Yはの売幢Y30億9600万ユーロ(1ユーロは約125)の66%に及んだ。

Net system sales breakdown (Quarterly)

図1 EUVがASMLの売幢Yの半数を初めてえた 出Z:ASML


ASMLはEUV開発のk人旅だった。リソグラフィで世cの1位、2位を争っていた日本のニコンとキヤノンは開発早々に白旗を屬欧拭E蟀@Yに耐え切れないという理yだった。かつてはニコン、キヤノンをぎ見ていたASMLは、微細化を進めるIntel、TSMC、Samsungなどからも出@をぎ、IMECと共同開発を進め、できるだけ投@を分担することでEUV\術の実化にこぎつけた。

2020Q3QにおけるEUVの出荷数は14とこれまでで最もHい。売幢Y30億9600万ユーロの66%がEUVだから、EUVの平均売幢Yは20.4億ユーロ、すなわち2554億だから1平均182億の単価になる。売幢Yそのものは、iQ同期比で32.5%\となっている。営業W益率は30.7%と絶好調だ。

また、別の指Yでも見てみよう。EUVだけではないが、ASMLの売幢Yの79%がロジックで残りの21%はメモリというT果だった(図1)。また地域別では湾が47%とHく、f国の26%、中国の21%となっている。盜颪5%、欧1%である。

また1Q〜3Qの売嵎Yは97億2400万ユーロとなり、2017Qの売幢Yをすでにえた(図2)。このままいくと、史嶌嚢發稜笋屬欧箸覆蠅修Δ澄F閏劼のpR数も発表しており、新のリソグラフィは67、中古6である。そのiの2Q(4〜6月期)では新28、中古6のpRだった。こういったpRYの数Cを加味することで半導]メーカーは次四半期の見通しを立てることができる。


Total net sales € million by End-use

図2 これまでの売幢Yの推 〆cQの3Qまでに2017Qの売幢Yをえた 出Z:ASML


4Qの見通しは、36億~38億ユーロになりそうだと予[している。3Qまでの売幢Y97億2400万ユーロに4Qの見通しの数CをBすと、133~135億ユーロ(約1兆6625億〜1兆6875億)と約23%i後\の成長となる。

(2020/10/22)
ごT見・ご感[
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