図1　MicronがシンガポールでNANDフラッシュの新工場拡張を祝う式�Zを開��

Micron CEOのSanjay Mehrotra��(図2)は、Singapore工場はMicronの中でNANDフラッシュの最�jの工場となる、と述べた。MicronはNANDフラッシュの��来を見据えており、今は不況時であるが、NANDフラッシュのようなストレージデバイスは、AIやIoT、5G、�O��化などに向けたデータ社会でデータ保�Tの主要デバイスとなる。Micronはデータを指向して�咾ご覿箸任△�、�咾�なっている企業である、とMehrotra��は何度も�喞瓦靴�。

図2　Micron Technology CEOのSanjay Mehrotra��

シンガポールではEDB（経済発�t局）が�k企業を�мqしており、ここが日本の経済�噞省とは�jきく違う。日本���Bは企業がまとまれば�мqするが、�k企業のためには�мqしない。シンガポール���Bの副��相であり財���j臣のHeng Swee Keat��（図3）は、「今やシンガポールは半導��プロセスの�攵��ξ�で見ると世�c�x場の11%にも達するとみられている」として、「半導��企業60社が集まり、この�噞はシンガポールのGDPの7%にも達する」と述べている。

図3　シンガポールのHeng Swee Keat副��相

同���Bは、RIE（Research, Innovation and Enterprise）2020��画を策定しており、半導��を未来に向けた�噞、と位����けている。シンガポールにおける半導���噞には3万5000人が働いており、Micronはそのうちの8000�@の��業�^を�eつ。Fab 10Aが�n働すると8500�@になると見込んでいる。

今�v、工場を拡張したのは、プロセスの�攵��ξ�を�屬欧襪世韻任呂覆�。現在の量��では64層の3Dメモリセル構�]で、試作やサンプル段階では96層ができているが、その先には128層が�呂┐討い�。3D-NANDフラッシュは3次元の奥行を深くすることでメモリ容量を�nごうとする��向が�咾���「層数を�屬欧襪里亦�い、プロセスステップ数が�\えるため、同じウェーハ��数を�攵�する場合でも���]����がもっと��要になる」と同社CTOのManish Bhatia��は語る。Mehrotra��は、「3D NANDは、もっと先進的なテクノロジーが��要となるため、この工場を拡張した」と言う。この��来�妓�を見据えて、��来の浮�^ゲート�擬阿�ら最�Z、チャージとラッピング�擬阿�Micronは変えた。

Micronは、このシンガポール工場をNANDフラッシュのCoE（Center of Excellence：中核となる研�|開発拠点）と位����けており、今�vのFab 10AとFab 10Xの二つのプロセス工場と、�kつのアセンブリおよびテストの工場がある。工場の詳細は、後��(参考�@料1)で紹介する。

参考�@料
1. Micronがメモリ不況中にNANDフラッシュ工場を拡張する理�y (2019/08/23)